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다이아몬드결정의 입자크기 제어방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015122264
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자와 이온 충돌을 유도하여 다이아몬드결정 박막을 형성하는 기상 다이아몬드결정 합성 방법에 있어서, 해당 방법을 구현하는 장치의 음극(cathode)과 양극(anode) 사이의 전계(interelectrode electric field)를 제어함으로써 다이아몬드결정의 입자크기를 제어할 수 있는 다이아몬드결정의 입자크기 제어방법 및 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드결정의 입자크기 제어방법은 음극과 양극에 전원을 인가하여 전구체 가스를 전자와 이온으로 전환시켜 다이아몬드결정을 합성시킴에 있어서, 상기 음극과 양극 사이의 전극간 전계(IEEF)가 커지면 다이아몬드결정의 입자크기가 작아지고, 전극간 전계(IEEF)가 작아지면 다이아몬드결정의 입자크기가 커지는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01) C01B 31/06 (2006.01)
CPC C30B 29/04(2013.01) C30B 29/04(2013.01)
출원번호/일자 1020120059373 (2012.06.01)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1318236-0000 (2013.10.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.01)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이욱성 대한민국 서울 노원구
2 이학주 대한민국 인천 계양구
3 백영준 대한민국 서울특별시 노원구
4 김인호 대한민국 서울 노원구
5 이택성 대한민국 서울 성북구
6 이경석 대한민국 경북 포항시 남구
7 정두석 대한민국 강원 원주시 송림길
8 박종극 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2012-0442038-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0054762-66
4 등록결정서
Decision to grant		 2013.10.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0684942-25
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
음극과 양극에 전원을 인가하여 전구체 가스를 전자와 이온으로 전환시켜 다이아몬드결정을 합성시킴에 있어서, 상기 음극과 양극 사이의 전극간 전계(IEEF)가 커지면 다이아몬드결정의 입자크기가 작아지고, 전극간 전계(IEEF)가 작아지면 다이아몬드결정의 입자크기가 커지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드결정의 입자크기 제어방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 음극과 양극 사이의 전극간 거리(IED)가 증가하면 상기 전극간 전계(IEEF)의 세기는 감소하고, 전극간 거리(IED)가 감소하면 상기 전극간 전계(IEEF)의 세기는 증가하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드결정의 입자크기 제어방법
3 3
제 1 항에 있어서, 다이아몬드결정이 성장되는 기판은 상기 양극 상에 구비되고, 상기 음극은 상기 기판 상부의 이격된 위치에 구비되며, 음극과 양극의 전원 인가에 의해 생성된 전자는 기판을 향하여 이동되며, 이온은 음극을 향하여 이동되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드결정의 입자크기 제어방법
4 4
전구체 가스가 공급되어 다이아몬드결정 합성 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버의 하부 및 상부에 각각 구비되어 전원 인가에 의해 전구체 가스를 전자와 이온을 전환시키는 역할을 하는 양극과 음극; 및상기 양극 상에 구비되어 다이아몬드결정이 성장되는 공간을 제공하는 기판을 포함하여 이루어지며, 상기 양극과 음극 사이의 전극간 거리(IED)는 조절 가능하며, 상기 전극간 거리(IED)가 증가하면 상기 전극간 전계(IEEF)의 세기가 감소하여 다이아몬드결정의 입자크기가 커지고, 상기 전극간 거리(IED)가 감소하면 상기 전극간 전계(IEEF)의 세기는 증가하여 다이아몬드결정의 입자크기가 작아지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드결정 입자크기 제어장치
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