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폴리실세스퀴옥산의 하나 이상의 측쇄를 아자이드화하여, 하기 화학식 1로 표시되는 측쇄에 상기 아자이드가 도입된 폴리아자이드계실세스퀴옥산을 형성하는 폴리아자이드계실세스퀴옥산의 제조단계; 및상기 폴리아자이드계실세스퀴옥산에 자외선을 조사하여 자발적 광경화시켜 표면강도 10 GPa 이상의 필름을 제조하는 단계를 포함하는 고강도 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 아자이드방향족기, 아자이드지방족기, 알킬기, 알릴기, 비닐기, 에폭시기, 아민기, 할로겐, 알킬할로겐, 메타크릴기 및 아크릴기로 이루어진 그룹으로부터 선택되고, R1, R2 및 R3 중 적어도 하나 이상은 아자이드방향족기 또는 아자이드지방족기인 것인 고강도 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 R1, R2 및 R3 중 적어도 하나 이상은 벤질아자이드(Benzyl azide) 또는 프로필아자이드(Propyl azide)인 것인 고강도 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 폴리실세스퀴옥산은 규칙적 사다리형 구조를 갖는 단일 중합체 또는 공중합체인 것인 고강도 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 폴리아자이드계실세스퀴옥산은 수평균분자량(Mn)이 1,000 내지 100,000인 것인 고강도 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 폴리아자이드계실세스퀴옥산의 제조단계는 R1, R2 및 R3 중 적어도 하나 이상은 벤질클로라이드(Benzyl chloride)인 상기 화학식 1로 표시되는 화합물과 아자이드 화합물을 반응시켜 폴리아자이드계실세스퀴옥산을 제조하는 것인 고강도 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 폴리아자이드계실세스퀴옥산으로 포토리소그래피를 이용하여 마이크로급 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 고강도 필름의 제조방법
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제 9항에 있어서,상기 포토리소그래피에 사용되는 현상액은 테트라하이드로퓨란(THF), 메틸렌클로라이드(MC) 및 테트라메틸암모니엄하이드록사이드(TMAH) 수용액으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 고강도 필름의 제조방법
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아자이드(N3) 측쇄기를 갖고, 하기 화학식 1로 표시되는 폴리아자이드계실세스퀴옥산이 자외선에 의해 자발적 광경화된 표면강도 10 GPa 이상의 고강도 필름
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제 11항에 있어서,상기 R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 아자이드방향족기, 아자이드지방족기, 알킬기, 알릴기, 비닐기, 에폭시기, 아민기, 할로겐, 알킬할로겐, 메타크릴기 및 아크릴기로 이루어진 그룹으로부터 선택되고, R1, R2 및 R3 중 적어도 하나 이상은 아자이드방향족기 또는 아자이드지방족기인 것인 고강도 필름
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제 11항에 있어서,상기 R1, R2 및 R3 중 적어도 하나 이상은 벤질아자이드(Benzyl azide) 또는 프로필아자이드(Propyl azide)인 것인 고강도 필름
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제 11항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 폴리아자이드계실세스퀴옥산은 규칙적 사다리형 구조를 갖는 단일 중합체 또는 공중합체인 것인 고강도 필름
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제 11항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 폴리아자이드계실세스퀴옥산은 수평균분자량(Mn)이 1,000 내지 100,000인 것인 고강도 필름
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