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기하학적 형태의 다이아몬드 쉘 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015123097
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면 기하학적 형태를 갖는 모재입자 전체 표면에 다이아몬드 막이 증착될 수 있는 모재/다이아몬드 복합체를 제조한다. 또한, 본 발명은 상기 복합체를 이용하여 내부가 비어 있는 다이아몬드 쉘(shell)을 제조하는 방법을 제공한다. 상기 모재/다이아몬드 복합체는 마이크로 크기를 갖는 모재입자 표면에 CVD 법으로 다이아몬드막을 증착하여 제조한다. 또한, 이러한 복합체 제조 과정에 모재 표면의 일부에는 다이아몬드 막이 형성되지 않는 열린 곳(opening)이 있는 부분복합체를 제조하고, 열린 곳을 통해 모재를 에칭 시켜 제거함으로써, 내부가 비어있는 다이아몬드 구조물(쉘)을 제조한다. 모재의 모양을 구, 사면체 및 육면체 등으로 변화시키고, 모재의 크기를 변화시킴에 의해 모양 및 크기에 있어서 다양한 모재/다이아몬드 복합체 및 다이아몬드 쉘을 제조할 수 있다. 제조할 수 있는 모재/다이아몬드 복합체 및 다이아몬드 쉘의 크기는 200 nm ~ 2 mm 이다. 다이아몬드, CVD, 나노, 마이크로, 복합체, 쉘, 에칭
Int. CL C30B 25/00 (2011.01) C30B 29/04 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020040083710 (2004.10.19)
출원인 한국과학기술연구원, 헤리엇-와트 유니버시티
등록번호/일자 10-0683574-0000 (2007.02.09)
공개번호/일자 10-2006-0034545 (2006.04.24) 문서열기
공고번호/일자 (20070216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.10.19)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 헤리엇-와트 유니버시티 영국 영국 이에이치 ** *에이에스 에딘브루 리

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울 노원구
2 존필립 영국 영국 이에이치 ** *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 헤리엇-와트 유니버시티 영국 영국 이에이치 ** *에이에스 에딘브루 리
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2004-0475563-20
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2004.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2004-5165504-48
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.05.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0242454-99
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.01.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0003461-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0083397-24
7 의견서
Written Opinion
2006.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2006-0258190-94
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.04.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0258191-39
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0466782-27
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.10.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0729061-27
11 의견서
Written Opinion
2006.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0729060-82
12 등록결정서
Decision to grant
2007.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0072856-67
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
구형 또는 다면체의 기하학적 모양을 가지는 모재입자를 준비하고,기판을 포함하는 진공용기 내에서 상기 모재를 기판에 위치시킨 후, 다이아몬드의 원료가스를 플라즈마 또는 열에너지로 분해하여 상기 모재 위에 막상의 다이아몬드가 합성된 입자형태의 모재/다이아몬드 복합체를 합성하되,다이아몬드막의 합성 중, 모재 입자가 놓여지는 기판에 진동을 인가하여 모재가 움직임으로써 모재 모든 표면에 다이아몬드막이 증착되는 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 모재의 크기는 200 nm ~ 2 mm인 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 다이아몬드의 핵생성 속도 및 밀도를 증진시키기 위해, 모재를 미분의 다이아몬드가 분산된 알코올이 담겨진 비커에 모재를 담가, 초음파배쓰에서 일정 시간동안 진동시켜 모재의 표면에 스크래치 또는 잔류물을 형성시키는 전처리 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 모재 위에 합성되는 다이아몬드 막의 표면 조직을, DNA 등 바이오 분자의 접촉이 용이한, (100)면이 구성된 조직이나 나노다이아몬드조직으로 형성시키는 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
5 5
구형 또는 다면체의 기하학적 모양을 가지는 모재입자를 준비하고,기판을 포함하는 진공용기 내에서 상기 모재를 기판에 위치시킨 후, 다이아몬드의 원료가스를 플라즈마 또는 열에너지로 분해하여 상기 모재 위에 막상의 다이아몬드가 합성된 입자형태의 모재/다이아몬드 복합체를 합성하되, 상기 모재 표면의 일부에 다이아몬드막이 형성되지 않은 열린 곳이 있는 부분복합체를 제조한 후,상기 복합체를 모재가 에칭되는 용액에 담가, 모재를 녹여 제거하는 단계를 포함하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 다면체의 모재 입자를 준비하고, 상기 모재의 한 면이 기판에 위치된 상태에서 다이아몬드 막을 합성함으로써, 기판에 닿은 면이 열린 곳이 되는 부분복합체를 제작하고, 상기 복합체의 모재를 에칭시켜 제거하여 속이 비어 있는 다이아몬드 쉘을 얻는 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
7 7
제5항에 있어서, 다이아몬드의 핵생성 속도 및 밀도를 증진시키기 위해, 모재를 미분의 다이아몬드가 분산된 알코올이 담겨진 비커에 모재를 담가, 초음파배쓰에서 일정 시간동안 진동시켜 모재의 표면에 스크래치 또는 잔류물을 형성시키는 전처리 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 모재 입자의 전처리 과정동안, 모재의 일부분을 접착테이프 위에 부착시켜, 접촉부분에는 미분의 다이아몬드가 닿지 않아 다이아몬드 막이 형성되지 않게 함으로써 열린곳을 형성시키는 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
9 9
구형 또는 다면체의 기하학적 모양을 가지는 모재입자를 준비하고,기판을 포함하는 진공용기 내에서 상기 모재를 기판에 위치시킨 후, 다이아몬드의 원료가스를 플라즈마 또는 열에너지로 분해하여 상기 모재 위에 막상의 다이아몬드가 합성된 입자형태의 모재/다이아몬드 복합체를 합성하되, 기하학적 형태의 모재 위에 다이아몬드 핵입자를 생성시킨 후, 막 형성 이전에 합성을 중단하고, 모재를 에칭시켜 제거함에 의해 다량의 CVD 다이아몬드 입자를 얻는 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
10 10
제9항에 있어서, CVD 다이아몬드 입자의 크기는 10 nm에서 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 기하학적 형태의 다이아몬드 제조방법
11 11
제6항의 방법에 의하여 제조되며, 일부분이 열려(open) 있고, 내부는 비어 있는 기하학적 형태의 다이아몬드 쉘
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07815969 US 미국 FAMILY
2 US20080166479 US 미국 FAMILY
3 WO2006043780 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 US2008166479 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7815969 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2006043780 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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