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기판상에 다이아몬드를 포함하는 시드 입자를 형성하는 단계; 상기 기판 및 필라멘트가 위치하는 반응 챔버에 원료 기체를 주입하는 단계; 상기 기판을 가열하는 단계; 상기 필라멘트를 가열하여 상기 원료 기체를 활성화시키는 단계;가열된 상기 필라멘트에 의한 정전기적 반발력, 상기 원료 기체의 대류 또는 상기 시드 입자의 브라운 운동을 이용하여 상기 시드 입자를 상기 기판으로부터 분리하는 단계; 및활성화된 상기 원료 기체를 이용하여, 상기 기판으로부터 분리된 상기 시드 입자상에 다이아몬드를 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판을 가열하는 단계는, 상기 기판을 630 ℃ 미만의 온도로 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 시드 입자를 상기 기판으로부터 분리하는 단계는, 가열된 상기 필라멘트로부터 방출된 열전자에 의해 상기 기판 및 상기 시드 입자에 전하를 충전하는 단계; 및전하 사이의 반발력을 이용하여 상기 시드 입자를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더의 제조 방법
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제 1항 또는 제 3항에 있어서,상기 시드 입자를 상기 기판으로부터 분리하는 단계는, 상기 필라멘트에 의해 가열된 상기 원료 기체의 대류에 의해 상기 시드 입자를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 다이아몬드를 성장시키는 단계 후에, 상기 시드 입자를 기판상에 석출시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더의 제조 방법
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제 5항에 있어서,상기 시드 입자는 복수 개의 시드 입자를 포함하며,상기 시드 입자를 기판상에 석출시키는 단계는, 상기 복수 개의 시드 입자로 이루어지는 다공성 막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더의 제조 방법
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기판상에 다이아몬드를 포함하는 시드 입자를 형성하는 단계; 상기 기판 및 필라멘트가 위치하는 반응 챔버에 원료 기체를 주입하는 단계; 상기 기판을 가열하는 단계; 상기 필라멘트를 가열하여 상기 원료 기체를 활성화시키는 단계;가열된 상기 필라멘트에 의한 정전기적 반발력, 상기 원료 기체의 대류 또는 상기 시드 입자의 브라운 운동을 이용하여 상기 시드 입자를 상기 기판으로부터 분리하는 단계; 및활성화된 상기 원료 기체를 이용하여, 상기 기판으로부터 분리된 상기 시드 입자상에 다이아몬드를 성장시키는 단계에 의하여 제조되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더
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제 7항에 있어서,상기 다이아몬드 파우더는 나노 결정질 다이아몬드로 이루어진 것을 특징으로 하는 다이아몬드 파우더
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