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Si의 총 함량이 40-90 중량%가 되도록 혼합 비율(X)과 조성(y)을 조절하여 Si 분말 X 중량%와 Al-ySi 합금 분말 (100-X) 중량%를 혼합하고, 혼합된 분말을 소정 형상의 주형에 충진시키고, 충진된 분말을 가압하에서 성형하는 단계를 포함하는 반도체 소자용 박스형 구조재용 Si-Al 합금의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 Si 분말과 Al-Si 합금의 혼합물을 가열하거나 전류를 가하면서 가압 성형시키는 것이 특징인 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 Si 분말과 Al-Si 합금 분말의 입자 크기는 5-500㎛ 범위인 것이 특징인 제조방법
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제 1 항에 있어서, 가압 성형용 피스톤과 기판 형상을 조절하여 3차원 형상을 갖는 Si-Al 박스형 구조재를 직접 제조하는 것이 특징인 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 Al-Si 합금 분말은 5 중량% 이하의 Cu, Mg, Zn 및 Fe의 미량 원소를 포함하는 것이 특징인 제조방법
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Si의 총 함량이 40-90 중량%가 되도록 혼합 비율(X)과 조성(y)을 조절하여 Si 분말 X 중량%와 Al-ySi 합금 용탕 (100-X) 중량%를 준비하고, 소정 형상의 주형내에서 상기 Si 분말에 상기 Al-Si 합금 용탕(melted alloy)을 가압하에서 직접 충진시키는 단계를 포함하는 반도체 소자용 박스형 구조재용 Si-Al 합금의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 Si 분말은, 전류를 가하며 1-50MPa로 가압함에 의해 예비 성형체로 형성된 것인 제조방법
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8
제 7 항에 있어서, 상기 예비 성형체는 Si 분말을 진공 또는 산소/질소/아르곤 등의 기체 분위기하에서 소결시켜 생성된 것이 특징인 제조방법
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제 6 항 또는 7 항에 있어서, Si 분말 또는 예비 성형체를 150-500℃의 온도로 가열시켜 용탕의 침투를 용이하게 하는 것이 특징인 제조방법
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10
제 6 항 또는 7 항에 있어서, Si 분말 또는 예비 성형체로 용탕의 침투를 용이하게 하기 위해 가압 충진시 압력을 1기압 이하로 하는 것이 특징인 제조방법
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11
제 6 항에 있어서, 가압 성형용 피스톤과 기판 형상을 조절하여 3차원 형상을 갖는 Si-Al 박스형 구조재를 직접 제조하는 것이 특징인 제조방법
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12
제 6 항에 있어서, 상기 Al-Si 합금 용탕은 5 중량% 이하의 Cu, Mg, Zn 및 Fe의 미량 원소를 포함하는 것이 특징인 제조방법
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