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플라즈마화학증착법에의한텅스텐박막증착방법

  • 기술번호 : KST2015124626
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음.
Int. CL H01L 21/285 (2006.01)
CPC H01L 21/28556(2013.01)
출원번호/일자 1019910011618 (1991.07.09)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0081643-0000 (1995.01.20)
공개번호/일자 10-1993-0003246 (1993.02.23) 문서열기
공고번호/일자 1019940010158 (19941022) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.07.09)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민석기 대한민국 서울특별시영등포구
2 김용태 대한민국 서울특별시송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination
1991.07.09 수리 (Accepted) 1-1-1991-0065686-14
2 특허출원서
Patent Application
1991.07.09 수리 (Accepted) 1-1-1991-0065684-12
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1991.07.09 수리 (Accepted) 1-1-1991-0065685-68
4 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application
1994.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0028002-97
5 등록사정서
Decision to grant
1995.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0028003-32
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

플라즈마 화학증착법을 이용하여 텅스텐 박막을 증착함에 있어서, 반응기체인 WF6-H2반응계의 H2 : WF6의 분압비를 15 : 1이상으로 유지하고 0

2 2

플라즈마 화학증착법을 이용하여 텅스텐 박막을 증착함에 있어서, 반응기체인 WF6-SiH4-H2 반응계의 SiH4 : WF6 의 분압비를 0

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP05025649 JP 일본 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP5025649 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH0525649 JP 일본 DOCDBFAMILY
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