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나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치, 및 그 장치를 이용한나노 공진기의 제작방법 및 주파수튜닝방법

  • 기술번호 : KST2015124965
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노 공진기의 제작, 공진 테스트 및 주파수튜닝 등의 모든 일련의 작업을 단일 진공챔버의 내부에서 수행할 수 있는 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치와, 상기 장치를 이용한 나노 공진기의 제작방법 및 이에 따른 영구적이면서 양방향의 정밀한 주파수튜닝방법을 제공한다.본 발명에 따른 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치와, 상기 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치를 이용한 나노 공진기의 제작방법 및 주파수튜닝방법에 의하면, 나노 공진기의 제작, 공진 테스트 및 주파수튜닝 등의 모든 일련의 작업을 단일 진공챔버의 내부에서 수행할 수 있게 되어 공정시간이 크게 단축되는 효과가 있으며, 양방향으로의 정밀한 주파수튜닝이 가능하여 주파수튜닝과정에서의 효율의 극대화를 이룰 수 있다.나노 공진기, 집속 이온빔, 화학 기상 증착, 에칭, 주파수튜닝
Int. CL H01P 7/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC H01P 7/00(2013.01) H01P 7/00(2013.01) H01P 7/00(2013.01) H01P 7/00(2013.01)
출원번호/일자 1020070042186 (2007.04.30)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0861570-0000 (2008.09.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081007) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.04.30)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 서울 서대문구
2 민병권 대한민국 서울 서대문구
3 이상조 대한민국 서울 서대문구
4 장지영 대한민국 서울 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김현수 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 **길 ** 쌍마빌딩 *층(진솔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0326365-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.04.16 수리 (Accepted) 9-1-2008-0024568-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0235274-63
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0472504-71
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0472507-18
7 등록결정서
Decision to grant		 2008.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0452123-67
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
시편에 이온빔을 조사하는 이온빔 조사기와, 상기 시편에 고압의 가스를 분사하는 가스 분사기와, 이온빔의 조사에 의해 상기 시편으로부터 발생되는 2차전자들을 탐지하여 영상으로 만들어주는 탐지기와, 내부를 진공상태로 만들어 주는 진공챔버와, 상기 진공챔버내에 설치된 시편 홀더와, 제어기, 영상 표시기와, 진공상태인 상기 진공챔버의 내부와 대기압인 진공챔버의 외부를 전기적으로 연결시켜주는 연결 커넥터와, 상기 진공챔버의 외부에서 상기 연결 커넥터와 전기적으로 연결됨으로써 상기 진공챔버의 내부에서 상기 연결 커넥터와 전기적으로 연결된 시편에 소정의 주파수를 가진 신호를 인가하는 함수 발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치
2 2
제1항의 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치를 이용하여 나노 공진기를 제작하는 방법에 있어서,기판 상에 전기적으로 절연되도록 소정의 간격을 두고 배치되는 구동 전극과 기반 전극을 형성하는 전극 형성 단계; 및상기 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치의 진공챔버 내부에서 상기 기판의 구동 전극과 기반 전극에 나노진동소자와 고정단을 각각 증착하는 증착 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 제작방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 증착 단계에서 드웰타임(dwell time)은 0
4 4
제 2항에 있어서,상기 고정단과 나노진동소자의 길이 비가 1:3이 되도록 증착하는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 제작방법
5 5
제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노진동소자는 두 단계의 연속적인 점조사(spot irradiation)를 통하여 증착하는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 제작방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 두 단계의 연속적인 점조사(spot irradiation)에는 각각 다른 FOV(field of view)를 사용하는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 제작방법
7 7
제2항의 방법으로 제작되는 나노 공진기를 제1항의 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치를 이용하여 주파수튜닝하는 방법에 있어서,상기 나노 공진기를 상기 나노 공진기 제작 겸 주파수튜닝장치의 진공챔버 내부에 위치시키며, 상기 나노 공진기의 구동 전극과 기반 전극을 각각 와이어 본딩하여 상기 진공챔버의 외부에 설치된 함수 발생기와 연결 커넥터를 통하여 연결하는 연결 단계; 상기 함수 발생기를 이용하여 상기 구동 전극에 소정의 주파수를 가진 신호를 인가하여 나노진동소자의 실제 공진주파수를 확인함으로써 상기 실제 공진주파수가 목표 공진주파수와 일치하는지 여부를 테스트하는 공진 테스트 단계; 및상기 실제 공진주파수가 목표 공진주파수보다 높을 경우 증착을 통하여 상기 나노진동소자의 길이를 증가시킴으로써 낮은 방향으로 주파수를 튜닝하고, 상기 실제 공진주파수가 목표 공진주파수보다 낮을 경우 에칭을 통하여 상기 나노진동소자의 길이를 감소시킴으로써 높은 방향으로 주파수를 튜닝하는 주파수튜닝 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 주파수튜닝방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 증착 단계에서 드웰타임(dwell time)은 0
9 9
제 7항에 있어서,상기 증착 단계에서 상기 고정단과 나노진동소자의 길이 비가 1:3이 되도록 증착하는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 주파수튜닝방법
10 10
제 7항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노진동소자는 두 단계의 연속적인 점조사(spot irradiation)를 통하여 증착하는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 주파수튜닝방법
11 11
제 10항에 있어서,상기 두 단계의 연속적인 점조사(spot irradiation)에는 각각 다른 FOV(field of view)를 사용하는 것을 특징으로 하는 나노 공진기의 주파수튜닝방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.