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(a) 텅스텐 와이어를 전해질 용액에 입수시키는 단계;
(b) 상기 텅스텐 와이어에 (+) 전극을, 전해질 용액에 (-) 전극을 연결하여 전압을 인가하는 단계;
(c) 상기 전해질 용액에 흐르는 전류값을 측정하는 단계;
(d) 텅스텐 와이어의 반경을 예측하는 단계;
(e) 상기(d)단계에서 예측된 텅스텐 와이어의 반경을 통해 텅스텐 와이어의 추출 길이를 계산하는 단계;
(f) 상기 계산된 추출 길이만큼 텅스텐 와이어를 이동시키는 단계;
(g) 상기 (c) 단계에서 측정된 전류값이 설정값보다 크거나 같아질 때까지 (c) 단계부터 (f) 단계까지 반복하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 방법
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청구항 1에 있어서,
상기 (d) 단계에서 텅스텐 와이어의 반경(xi+1)은 다음 수학식
을 통해 구하며, 상기 L은 텅스텐 와이어의 초기 담금깊이, zi는 i번째 제어룹에서의 텅스텐 와이어 추출길이, T는 제어시간간격, Ii는 제어시간간격 T 동안 통과한 전류치, Mw는 텅스텐의 원자량, dw는 텅스텐의 밀도, |n|은 반응에 관여하는 이온의 전하수, F는 패러데이 정수 F, 는 초기 텅스텐 와이어의 반경인 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 방법
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청구항 2에 있어서,
상기 (e) 단계의 텅스텐 와이어의 추출 길이(zi+1)는 수학식 zi+1 = f(xi+1)에 의하여 결정되며, 상기 함수 f는 사용자에 의하여 정의되는 단면 형상 함수인 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 방법
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청구항 3에 있어서,
상기 (b) 단계의 전해질 용액은 NaOH 또는 KOH 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 방법
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텅스텐 와이어부;
상기 텅스텐 와이어부와 연결되어 텅스텐 와이어와 전기화학적 반응을 일으키는 전해질 용액부;
상기 텅스텐 와이어부와 전해질 용액부에 연결되어 전압을 인가하는 전압 인가부;
상기 전압 인가부와 전해질 용액부 사이에 연결되어 흐르는 전류값을 측정하는 전류 측정부;
상기 텅스텐 와이어부와 연결되어 텅스텐 와이어의 담금깊이를 조절하는 와이어 조절부;
상기 전압 인가부, 전류 측정부, 와이어 조절부와 연결되어 이들의 상태를 파악하고 상기 전류 측정부에서 측정된 전류값이 설정값보다 크거나 같아질 때까지 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 제어부는 상기 텅스텐 와이어의 반경(xi+1)을 다음 수학식
을 통해 구하며, 상기 L은 텅스텐 와이어의 초기 담금깊이, zi는 i번째 제어룹에서의 텅스텐 와이어 추출길이, T는 제어시간간격, Ii는 제어시간간격 T 동안 통과한 전류치, Mw는 텅스텐의 원자량, dw는 텅스텐의 밀도, |n|은 반응에 관여하는 이온의 전하수, F는 패러데이 정수 F, 는 초기 텅스텐 와이어의 반경인 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 장치
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청구항 7에 있어서,
상기 제어부는 상기 텅스텐 와이어의 반경(xi+1)을 이용하여 텅스텐 와이어의 추출 길이(zi+1)을 계산하고 상기 추출 길이(zi+1)를 와이어 조절부에 전달하는 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 장치
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청구항 8에 있어서,
상기 텅스텐 와이어의 추출 길이(zi+1)는 수학식 zi+1 = f(xi+1)에 의하여 결정되며, 상기 함수 f는 사용자에 의하여 정의되는 단면 형상 함수인 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 장치
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청구항 8에 있어서,
상기 전류 측정부는 레퍼런스 저항을 포함하여 구성되며, 상기 레퍼런스 저항에 인가된 전압값을 상기 레퍼런스 저항값으로 나눔으로써 전류값을 계산하는 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 장치
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청구항 8에 있어서,
상기 초미세 바늘 전극 제조 장치는 다수의 텅스텐 와이어부를 포함하여 동시에 다수의 초미세 바늘 전극을 제조할 수 있는 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 장치
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