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초고분해능 주사 광학 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015125137
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 초고분해능 주사 광학 측정 장치가 개시된다. 개시된 주사 광학 측정 장치는, 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 집속시키는 제1 렌즈; 상기 제1 렌즈 다음에 배치되는 제1 핀홀; 상기 제1 핀홀을 통과한 광을 발산시키는 제2 렌즈; 상기 제2 렌즈를 통과한 광을 주사하기 위한 주사 유닛; 상기 제2 렌즈와 주사 유닛 사이에 배치된 제1 빔스프리터; 상기 주사 유닛으로부터 나온 광을 제1 경로상에 배치되는 것으로 피검체를 스캐닝하기 위한 스캐닝 유닛; 상기 스캐닝 유닛을 통과한 광을 피검체에 집속하기 위한 대물 렌즈; 상기 피검체가 놓여지는 슬라이드; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검체를 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 스캐닝 유닛과 대물 렌즈 사이에 배치된 제2 빔스프리터; 상기 피검체와 상기 광학 탐침에서 반사되어 상기 제1 빔스프리터를 경유한 광을 검출하기 위한 제1 광검출기; 상기 제1 빔스프리터와 제1 광검출기 사이에 배치된 제2 핀홀; 상기 피검체와 상기 광학 탐침에서 반사되어 상기 제2 빔스프리터를 경유한 광을 검출하기 위한 제2 광검출기;를 포함한다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01B 9/04 (2006.01) G01N 13/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070106744 (2007.10.23)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0978600-0000 (2010.08.23)
공개번호/일자 10-2009-0041171 (2009.04.28) 문서열기
공고번호/일자 (20100827) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박승한 대한민국 서울 양천구
2 김대근 대한민국 서울특별시 양천구
3 안홍규 대한민국 서울특별시 서대문구
4 이응장 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2007-0758208-56
2 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document		 2007.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-5086695-77
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0058207-79
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0483405-41
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0379583-33
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0692410-16
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0692409-70
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0120925-73
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0224115-77
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2010.04.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2010-0017187-38
12 등록결정서
Decision to grant		 2010.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0236981-51
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 집속시키는 제1 렌즈; 상기 제1 렌즈 다음에 배치되는 제1 핀홀; 상기 제1 핀홀을 통과한 광이 입사되는 제2 렌즈; 상기 제2 렌즈를 통과한 광으로 피검체를 스캐닝하기 위한 스캐닝 유닛; 상기 제2 렌즈와 스캐닝 유닛 사이에 배치된 제1 빔스프리터; 상기 스캐닝 유닛을 통과한 광을 피검체에 집속하기 위한 대물 렌즈; 상기 피검체가 놓여지는 슬라이드; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검체를 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 스캐닝 유닛과 대물 렌즈 사이에 배치된 제2 빔스프리터; 상기 피검체와 상기 광학 탐침에서 반사되어 상기 제1 빔스프리터를 경유한 광을 검출하기 위한 제1 광검출기; 상기 제1 빔스프리터와 제1 광검출기 사이에 배치된 제2 핀홀; 상기 피검체와 상기 광학 탐침에서 반사되어 상기 제2 빔스프리터를 경유한 광을 검출하기 위한 제2 광검출기;를 포함하는 주사 광학 측정 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 스캐닝 유닛은 갈바노 미러를 포함하는 주사 광학 측정 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제1 빔스프리터와 제2 렌즈 사이에 배치된 제1 미러; 상기 스캐닝 유닛과 제2 빔스프리터 사이에 배치된 제2 미러; 상기 제1 미러와 제2 미러가 장착되고 제1 미러와 제2 미러를 이동시킬 수 있는 플립 마운트;를 포함하는 주사 광학 측정 장치
4 4
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학 탐침은 피검체의 근접장 내에 배치되는 주사 광학 측정 장치
5 5
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 광검출기는 상기 피검체의 표면에서 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광이 간섭을 일으켜 생긴 간섭광을 검출하는 주사 광학 측정 장치
6 6
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학 탐침의 반사 영역은 광원에서 조사되는 광의 파장보다 작은 직경을 가지는 주사 광학 측정 장치
7 7
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1 JP2011501184 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP2011501184 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JP4989764 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US2010296097 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US8724116 US 미국 DOCDBFAMILY
6 WO2009054576 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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