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적층형 나노 어퍼쳐 구조체, 이를 채용한 근접장 광 발생장치 및 정보 기록재생 장치

  • 기술번호 : KST2015125472
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 적층형 나노어퍼쳐 구조체, 이를 채용한 근접장 광 발생장치 및 정보 기록 재생 장치가 개시된다. 개시된 나노어퍼쳐 구조체는 입사광의 분포를 변화시켜 회절 한계 이하의 빔 스폿을 형성하는 것으로, 각각에 적어도 하나의 개구가 구비된 복수의 금속막을 포함하며, 상기 복수의 금속막은 이격되어 나란하게 배열된 것을 특징으로 한다.
Int. CL G11B 7/1387 (2006.01) G11B 7/1381 (2006.01)
CPC G11B 7/1387(2013.01) G11B 7/1387(2013.01) G11B 7/1387(2013.01) G11B 7/1387(2013.01) G11B 7/1387(2013.01) G11B 7/1387(2013.01)
출원번호/일자 1020090066387 (2009.07.21)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1102554-0000 (2011.12.28)
공개번호/일자 10-2011-0008846 (2011.01.27) 문서열기
공고번호/일자 (20120103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.21)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박승한 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0443959-96
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0044092-91
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0582776-79
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0124740-15
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0124741-50
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0492801-24
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2011.09.30 수리 (Accepted) 7-1-2011-0036713-80
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0856569-16
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2011.10.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0856570-63
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2011.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0702081-73
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
입사광의 분포를 변화시켜 회절 한계 이하의 빔 스폿을 형성하는 것으로, 'C'형 개구가 구비된 제1금속막; 상기 제1금속과 나란하게 이격 배치된 것으로, 상기 제1금속막에 구비된 'C'형 개구와 좌우가 바뀐 형상의 'C'형 개구가 구비된 제2금속막; 상기 제1금속막과 제2금속막 사이에 배치된 것으로 유전물질로 이루어진 중간층;을 포함하는 나노 어퍼쳐 구조체
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 복수의 금속막 사이의 거리 및 개구의 형상은 상기 빔 스폿의 형상이 원형이 되도록 정해진 나노 어퍼쳐 구조체
4 4
삭제
5 5
제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 금속막은 Al, Ni, Cu, Ru, Rh, Pd, Pt, Ag, Os, Ir, Pt, Au 중에서 선택된 어느 하나의 금속으로 이루어지거나, 이들 중 어느 하나를 포함하는 합금으로 이루어지는 나노 어퍼쳐 구조체
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 개구는 상기 중간층과 동일한 물질 또는 다른 물질로 채워진 나노 어퍼쳐 구조체
8 8
광원; 상기 광원에서 출사된 광의 분포를 바꾸어 회절 한계 이하의 빔 스폿을 형성하는 것으로, 'C'형 개구가 구비된 제1금속막, 상기 제1금속과 나란하게 이격 배치된 것으로, 상기 제1금속막에 구비된 'C'형 개구와 좌우가 바뀐 형상의 'C'형 개구가 구비된 제2금속막, 및 상기 제1금속막과 제2금속막 사이에 배치되고 유전물질로 이루어진 중간층을 포함하는 나노 어퍼쳐 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 광 발생 장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 광원과 상기 나노 어퍼쳐 구조체 사이에 마련되어, 상기 광원에서의 광을 상기 나노 어퍼쳐 구조체로 가이드하는 광학계를 더 포함하는 근접장 광 발생 장치
10 10
제9항에 있어서, 상기 광학계는 광도파로를 포함하는 근접장 광 발생 장치
11 11
제9항에 있어서, 상기 광학계는 적어도 하나의 렌즈를 구비하는 근접장 광 발생 장치
12 12
삭제
13 13
제8항에 있어서, 상기 광원은 수직 공진기형 면발광 레이저(VCSEL)이고, 상기 수직 공진기형 면발광 레이저의 발광면이 상기 나노 어퍼쳐 구조체의 개구와 마주하도록 배치된 근접장 광 발생 장치
14 14
삭제
15 15
제8항에 있어서, 상기 광원은 복수의 발광영역을 갖는 수직 공진기형 면발광 레이저 어레이로 구성되고, 상기 복수의 발광영역은 상기 나노어퍼쳐 구조체의 복수의 개구 각각과 마주하도록 배치된 근접장 광 발생 장치
16 16
제15항에 있어서, 상기 수직 공진기형 면발광 레이저 어레이와 상기 나노 어퍼쳐 구조체는 중간층을 사이에 두고 적층된 구조를 갖는 근접장 광 발생 장치
17 17
삭제
18 18
제8항 내지 제11항, 제13항, 제15항, 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노어퍼쳐 구조체의 복수의 금속막 사이의 거리 및 개구의 형상은 상기 빔 스폿의 형상이 원형이 되도록 정해진 근접장 광 발생 장치
19 19
삭제
20 20
제8항 내지 제11항, 제13항, 제15항, 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노어퍼쳐 구조체의 복수의 금속막은 Al, Ni, Cu, Ru, Rh, Pd, Pt, Ag, Os, Ir, Pt, Au 중에서 선택된 어느 하나의 금속으로 이루어지거나, 이들 중 어느 하나를 포함하는 합금으로 이루어지는 근접장 광 발생 장치
21 21
자기기록매체에 정보를 기록하거나 기록된 정보를 재생하는 정보 기록 재생 장치에 있어서, 상기 자기기록매체의 소정 위치에 열에너지를 인가하는 것으로, 제8항 내지 제11항, 제13항, 제15항, 제16항 중 어느 한 항의 근접장 광 발생 장치; 가열된 상기 소정 위치에 자기장을 인가하는 기록헤드부;를 포함하는 정보 기록 재생 장치
22 22
삭제
23 23
제21항에 있어서, 상기 나노어퍼쳐 구조체의 복수의 금속막 사이의 거리 및 개구의 형상은 상기 빔 스폿의 형상이 원형이 되도록 정해진 정보 기록 재생 장치
24 24
삭제
25 25
제21항에 있어서, 상기 나노어퍼쳐 구조체의 복수의 금속막은 Al, Ni, Cu, Ru, Rh, Pd, Pt, Ag, Os, Ir, Pt, Au 중에서 선택된 어느 하나의 금속으로 이루어지거나, 이들 중 어느 하나를 포함하는 합금으로 이루어지는 정보 기록 재생 장치
26 26
광기록매체에 정보를 기록하거나 기록된 정보를 재생하는 정보 기록 재생 장치에 있어서, 광원; 상기 광기록매체에 상기 광원에서 조사된 광의 회절 한계 이하의 빔 스폿을 형성하는 것으로, 'C'형 개구가 구비된 제1금속막, 상기 제1금속과 나란하게 이격 배치된 것으로, 상기 제1금속막에 구비된 'C'형 개구와 좌우가 바뀐 형상의 'C'형 개구가 구비된 제2금속막, 및 상기 제1금속막과 제2금속막 사이에 배치되고 유전물질로 이루어진 중간층을 포함하는 나노 어퍼쳐 구조체;를 포함하는 정보 기록 재생 장치
27 27
제26항에 있어서, 상기 광원과 상기 나노 어퍼쳐 사이에 마련되어, 상기 광원에서의 광을 상기 나노 어퍼쳐 구조체로 가이드하는 광학계를 더 포함하는 정보 기록 재생 장치
28 28
제26항에 있어서, 상기 광기록매체에서 반사된 광을 광검출기 쪽으로 분기하는 빔스프리터를 더 포함하는 정보 기록 재생 장치
29 29
제26항에 있어서, 상기 광원은 수직 공진기형 면발광 레이저(VCSEL)이고, 상기 수직 공진기형 면발광 레이저의 발광면이 상기 나노 어퍼쳐 구조체의 개구와 마주하도록 배치된 정보 기록 재생 장치
30 30
제26항에 있어서, 상기 광원은 복수의 발광영역을 갖는 수직 공진기형 면발광 레이저 어레이로 구성되고, 상기 복수의 발광영역은 상기 나노어퍼쳐 구조체의 복수의 개구 각각과 마주하도록 배치된 정보 기록 재생 장치
31 31
시료에 대해 조사광의 회절 한계보다 작은 크기의 구조에 대한 정보를 수집하는 근접장 광학 현미경에 있어서, 'C'형 개구가 구비된 제1금속막, 상기 제1금속과 나란하게 이격 배치된 것으로, 상기 제1금속막에 구비된 'C'형 개구와 좌우가 바뀐 형상의 'C'형 개구가 구비된 제2금속막, 및 상기 제1금속막과 제2금속막 사이에 배치된 것으로 유전물질로 이루어진 중간층을 포함하는 나노 어퍼쳐 구조체를 구비하는 광학 탐침;을 포함하는 근접장 광학 현미경
32 32
광의 회절 한계보다 작은 선폭을 갖는 구조를 패터닝하는 나노 리소그라피 장치에 있어서, 광원; 'C'형 개구가 구비된 제1금속막; 상기 제1금속과 나란하게 이격 배치된 것으로, 상기 제1금속막에 구비된 'C'형 개구와 좌우가 바뀐 형상의 'C'형 개구가 구비된 제2금속막, 및 상기 제1금속막과 제2금속막 사이에 배치되고 유전물질로 이루어진 중간층을 포함하는 나노 어퍼쳐 구조체를 포함하는 나노 리소그라피 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.