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1
광원;
상기 광원으로부터 조사된 백색광을 제1경로로 진행하는 제1파장광, 제2경로로 진행하는 제2파장광, 및 제3경로로 진행하는 제3파장광, 및 제4경로로 진행하는 제4파장광으로 분리시키는 광 분리 유닛;
상기 제1경로 상에 배치된 제1격자;
상기 제2경로 상에 배치된 제2격자;
상기 제3경로 상에 배치된 제3격자;
상기 제4경로 상에 배치된 제4격자;
상기 제1파장광, 제2파장광, 제3파장광, 제4파장광을 동일한 경로로 진행하도록 하는 광 합성 유닛;
상기 광 합성 유닛을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부를 포함하고,
상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자가 격자 주기가 같고, 각 격자 배열이 1/4 주기만큼씩 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치
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2
제 1항에 있어서, 상기 광 분리 유닛은,
상기 광원으로부터의 광 중 제1파장광과 제2파장광을 투과시키고, 제3파장광과 제4파장광을 반사시키는 제1다이크로익 필터;
상기 제1파장광을 투과시키고, 제2파장광을 반사시키는 제2다이크로익 필터; 및
상기 제3파장광을 반사시키고, 제4파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,
상기 제1파장광을 반사시키는 제1반사미러;
상기 제1파장광을 투과시키고, 상기 제2파장광을 반사시키는 제4다이크로익 필터;
상기 제3파장광을 반사시키는 제2반사미러;
상기 제3파장광을 반사시키고, 상기 제4파장광을 투과시키는 제5다이크로익 필터; 및
상기 제1파장광과 제2파장광을 반사시키고, 상기 제3파장광과 제4파장광을 투과시키는 제6다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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4
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,
상기 제1파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제4다이크로익 필터;
상기 제2파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제5다이크로익 필터;
상기 제3파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제6다이크로익 필터;
상기 제4파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제7다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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5
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 광 분리 유닛과 상기 제1 격자 사이에 배치된 제1밴드 패스 필터;
상기 광 분리 유닛과 상기 제2 격자 사이에 배치된 제2밴드 패스 필터;
상기 광 분리 유닛과 상기 제3 격자 사이에 배치된 제3밴드 패스 필터; 및
상기 광 분리 유닛과 상기 제4 격자 사이에 배치된 제4밴드 패스 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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6
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 영상 감지부는,
상기 제1파장광에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자;
상기 제2파장광에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자;
상기 제3파장광에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자; 및
상기 제4파장광에 의한 영상을 촬영하는 제4 영상 감지 소자;를 포함하는 형상 측정 장치
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7
제1파장광을 조사하는 제1광원;
제2파장광을 조사하는 제2광원;
제3파장광을 조사하는 제3광원;
제4파장광을 조사하는 제4광원;
상기 제1파장광과, 제2파장광과, 제3파장광과 제4파장광을 동일한 광경로로 진행하도록 합성하는 광 합성 유닛;
상기 제1광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제1격자;
상기 제2광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제2격자;
상기 제3광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제3격자;
상기 제4광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제4격자; 및
상기 광 합성 유닛을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부;를 포함하고,
상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자가 격자 주기가 같고, 각 격자 배열이 1/4 주기만큼씩 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치
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8
제 7항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,
상기 제1파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제1다이크로익 필터;
상기 제2파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제2다이크로익 필터;
상기 제3파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터;
상기 제4파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제4다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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9
제 7항 또는 제 8항에 있어서,
상기 제1광원과 상기 제1 격자 사이에 배치된 제1밴드 패스 필터;
상기 제2광원과 상기 제2 격자 사이에 배치된 제2밴드 패스 필터;
상기 제3광원과 상기 제3 격자 사이에 배치된 제3밴드 패스 필터; 및
상기 제4광원과 상기 제4 격자 사이에 배치된 제4밴드 패스 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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10
제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 영상 감지부는,
상기 제1파장광에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자;
상기 제2파장광에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자;
상기 제3파장광에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자; 및
상기 제4파장광에 의한 영상을 촬영하는 제4 영상 감지 소자;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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11
제 1항 또는 제 7항에 있어서,
상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자를 통과한 제1, 제2, 제3, 제4 파장광이 상기 피검체에 동시에 격자 무늬를 생성하는 3차원 형상 측정 장치
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