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광원;
상기 광원으로부터 조사된 백색광을 제1경로로 진행하는 제1파장광, 제2경로로 진행하는 제2파장광, 및 제3경로로 진행하는 제3파장광으로 분리시키는 광 분리 유닛;
상기 제1파장광, 제2파장광, 제3파장광을 동일한 경로로 진행하도록 하는 다이크로익 프리즘;
상기 제1경로 상에 배치된 제1격자;
상기 제2경로 상에 배치된 제2격자;
상기 제3경로 상에 배치된 제3격자; 및
상기 다이크로익 프리즘을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부를 포함하고,
상기 제1격자, 제2격자 및 제3격자가 격자 주기가 같고, 상기 제2격자의 격자 배열이 상기 제1격자에 비해 1/3 주기만큼 쉬프트되고, 상기 제3격자의 격자 배열이 상기 제2격자에 비해 1/3 주기만큼 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 광 분리 유닛은,
상기 광원으로부터의 광 중 제1파장광을 반사시키고, 나머지 파장광을 투과시키는 제1다이크로익 필터;
상기 제1다이크로익 필터를 투과한 광 중 제2파장광을 반사시키고, 나머지 파장광을 투과시키는 제2다이크로익 필터; 및
상기 제2다이크로익 필터를 통과한 광 중 제3파장광을 반사시키고, 나머지 파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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제 1항에 있어서,
상기 다이크로익 프리즘과 피검체 사이에 적어도 하나의 렌즈가 배치되는 3차원 형상 측정 장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 영상 감지부는,
상기 제1파장광에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자;
상기 제2파장광에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자; 및
상기 제3파장광에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자;를 포함하는 형상 측정 장치
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제1파장광을 조사하는 제1광원;
제2파장광을 조사하는 제2광원;
제3파장광을 조사하는 제3광원;
상기 제1파장광과, 제2파장광과, 제3파장광을 동일한 광경로로 진행하도록 합성하는 광 합성 유닛;
상기 제1광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제1 격자;
상기 제2광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제2 격자;
상기 제3광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제3 격자; 및
상기 광 합성 유닛을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부를 포함하고,
상기 제1격자, 제2격자 및 제3격자가 격자 주기가 같고, 상기 제2격자의 격자 배열이 상기 제1격자에 비해 1/3 주기만큼 쉬프트되고, 상기 제3격자의 격자 배열이 상기 제2격자에 비해 1/3 주기만큼 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치
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제 5항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,
상기 제1파장광을 투과시키고, 상기 제2파장광과 제3파장광을 반사시키는 제1다이크로익 필터;
상기 제2파장광을 반사시키고, 상기 제1파장광과 상기 제3파장광을 투과시키는 제2다이크로익 필터; 및
상기 제3파장광을 반사시키고, 상기 제1파장광과 제2파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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제 5항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,
제1 파장 광을 반사시키고 나머지 파장 광을 투과시키는 제1필터면과, 제3 파장 광을 반사시키고 나머지 파장 광을 투과시키는 제2필터면을 가지는 다이크로익 프리즘을 포함하는 3차원 형상 측정 장치
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8
제 5항에 있어서,
상기 광 합성 유닛과 피검체 사이에 적어도 하나의 렌즈가 배치되는 3차원 형상 측정 장치
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9
제 5항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 영상 감지부는,
상기 제1파장광에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자;
상기 제2파장광에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자; 및
상기 제3파장광에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자;를 포함하는 형상 측정 장치
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