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주석을 함유하는 제1 화합물, 갈륨을 함유하는 제2 화합물, 인듐을 함유하는 제3 화합물 중 적어도 어느 하나를 함유하는 산화아연(ZnO) 용액,
상기 용액을 안정화하기 위한 용액 안정화제,
상기 용액의 점도를 조절하기 위한 포름아미드를 포함하며,
상기 포름 아미드는 상기 산화아연 용액과 상기 용액 안정화제를 합한 부피의 100~300%의 범위로 포함하는 산화물 박막 제조용 용액
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제1항에서,
상기 용액의 표면 장력은 40mN/m이상 70mN/M이하인 산화물 박막 제조용 용액
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제1항에서,
기판 위에 상기 용액 방울을 적하한 후 상기 용액 방울과 상기 기판의 접촉각은 10°~50° 인 산화물 박막 제조용 용액
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6
제1항에서,
상기 용액의 용매는 2-메쓰옥시에탄올(2-MethoxyEthanol), 이소프로판올(isopropanol), 에탄올(ethanol), 에틸렌 글리콜(ethylene glycol), 부탄디올(butanediol), 1-부탄디올(1-betandiol), 2-부탄디올(2-butandiol) 중 어느 하나인 산화물 박막 제조용 용액
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7
제1항에서,
상기 산화아연 용액은 GIZO, ZnSnO, GaSnZnO 중 어느 하나인 산화물 박막 제조용 용액
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8
제7항에서,
상기 GIZO 용액은 갈륨:인듐:아연의 몰농도가 0
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제1항에서,
상기 용액 안정화제는 모노에탄올아민(MonoEthaolamine)인 산화물 박막 제조용 용액
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제1항에서,
상기 제1화합물은 갈륨염, 수산화아연, 갈륨 알콕시드 및 이들의 수화물에서 선택된 적어도 하나를 포함하고,
상기 제2 화합물은 인듐염, 수산화인듐, 인듐 알콕시드 및 이들의 수화물에서 선택된 적어도 하나를 포함하고,
상기 제3 화합물은 주석염, 수산화인듐, 주석 알콕시드 및 이들의 수화물에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 산화물 박막 제조용 용액
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제10항에서,
상기 제1 화합물은 아연 아세테이트 수화물을 포함하고,
상기 제2 화합물은 인듐 아세틸 아세토네이트를 포함하는
산화물 박막 제조용 용액
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제1항에서,
상기 용액은 졸-겔 방법으로 제조하는 산화물 박막 제조용 용액
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