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란타늄 전구체, 스트론튬 전구체, 및 망간 전구체를 수계 혼합 용매에 용해시켜 전구체 용액을 제조하는 단계;
상기 전구체 용액을 전계 분무 장치 내로 이송하여 노즐에 주입하는 단계;
전계 분위기 하에서 상기 노즐을 이용해 전구체 용액을 분무하여 액적을 형성하는 단계; 및
상기 액적을 미리 가열된 기판 상에 균일하게 흡착시켜 건조하는 단계
를 포함하는 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 란타늄-스트론튬-망간 산화물은 하기 화학식 1로 표시되는 것인 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법:
[화학식 1]
LaxSr1-xMnO3
(상기 식에서, 0003c#x003c#1이다)
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제1항에 있어서,
상기 란타늄 전구체, 스트론튬 전구체, 및 망간 전구체는 스트론튬, 망간, 또는 란타늄을 각각 포함하는 알콕사이드, 염화물, 수산화물, 옥시수산화물, 질산염, 탄산염, 초산염, 옥살산염 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것인 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 란타늄 전구체는 란타늄 나이트레이트 헥사하이드레이트이고, 스트론튬 전구체는 스트론튬 클로라이드 헥사하이드레이트이고, 망간 전구체는 망간니즈 나이트레이트 헥사하이드레이트를 사용하는 것인 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 수계 혼합 용매는 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 또는 부탄올 중에서 선택된 1종의 저급 알코올과 물과의 혼합 용매인 것인 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 전계 분위기는 0
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제1항에 있어서,
상기 노즐은 내경이 0
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제1항에 있어서,
상기 분무시 기판은 127 내지 330℃로 전가열하여 수행하는 것인 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 분무시 노즐과 기판과의 거리가 3∼8cm가 되도록 조절하여 수행하는 것인 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 분무시 전구체 용액의 유량이 2
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제1항에 있어서,
상기 단계 전체는 1분 내지 16분 동안 수행하는 것인 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,
추가로 800∼950℃에서 열처리하여 페로브스카이트 (perovskite) 구조를 갖는 란타늄-스트론튬-망간 산화물 박막의 제조방법
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