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드롭-온-디맨드(ｄｒｏ ｐ ｏｎ ｄｅｍａｎｄ) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 및 그 제조 방법
- 기술번호 : KST2015125763
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명은 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 정전기력 기반의 패터닝이 가능한 프린팅 헤드에 있어서, 상기 프린팅 헤드에 유체를 공급하기 위한 홀(20); 전도성 입자가 포함된 유체를 전기수력학적(electrohydrodynamic) 압력에 의해 분무하는 노즐(21); 상기 홀(20)과 상기 노즐(20)을 이어주는 채널(22)이 내부에 형성된 본체(23); 상기 채널(22) 내부에 형성되며, 노즐(21) 상부에 위치하여 노즐에서의 유체의 메니스커스(meniscus)를 조절하는 열 액츄에이터(thermal actuator) 역할을 하는 마이크로 히터(24); 및 상기 노즐(21)에 형성되어 전기수력학적 분무를 위한 전기장을 형성하는 전극(25);을 포함하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드에 대한 것이다. 전기수력학, 드롭-온-디맨드, 액츄에이터, 마이크로 히터, 채널, 노즐 |
|---|---|
| Int. CL | B41J 2/06 (2006.01) B41J 2/045 (2006.01) H05K 3/14 (2006.01) B41J 2/235 (2006.01) |
| CPC | B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01) B41J 2/06(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090051762 (2009.06.11) |
| 출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1088413-0000 (2011.11.24) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0133065 (2010.12.21) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20111201) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.06.11) |
| 심사청구항수 | 23 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김용준 | 대한민국 | 서울 용산구 |
| 2 | 황정호 | 대한민국 | 서울 용산구 |
| 3 | 김영재 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 4 | 최재영 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
| 5 | 김도형 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인(유)화우 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.06.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0352678-59 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.03.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0020009-05 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.04.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0178821-50 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.06.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0412439-09 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0412438-53 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.10.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0568611-61 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 정전기력 기반의 패터닝이 가능한 프린팅 헤드에 있어서, 상기 프린팅 헤드에 유체를 공급하기 위한 홀(20); 전도성 입자가 포함된 유체를 전기수력학적(electrohydrodynamic) 압력에 의해 분무하는 노즐(21); 상기 홀(20)과 상기 노즐(21)을 이어주는 채널(22)이 내부에 형성된 본체(23); 상기 채널(22) 내부에 형성되며, 노즐(21) 상부에 위치하여 노즐에서의 유체의 메니스커스(meniscus)를 조절하는 열 액츄에이터(thermal actuator) 역할을 하는 마이크로 히터(24); 및 상기 노즐(21)에 형성되어 전기수력학적 분무를 위한 전기장을 형성하는 전극(25);을 포함하며, 상기 마이크로 히터(24)에 전기를 공급하기 위한 전극(33)이 상기 본체(23)에 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 2 |
2 청구항 제 1 항에 있어서, 상기 본체(23)가 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 3 |
3 청구항 제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 히터(24)가 NiCr 또는 TaAl로 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 4 |
4 청구항 제 1 항에 있어서, 상기 채널(22)에 상기 홀(20)을 통하여 공급되는 유체를 저장하기 위한 리저버(reservoir)(30)가 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 5 |
5 삭제 |
| 6 |
6 청구항 제 1 항에 있어서, 상기 채널(22)의 높이가 100㎛ 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 7 |
7 정전기력 기반의 패터닝이 가능한 프린팅 헤드에 있어서, 상기 프린팅 헤드에 유체를 공급하기 위한 홀(20); 상기 홀(20)이 형성되는 실리콘 웨이퍼 기반의 상판(26); 전도성 입자가 포함된 유체를 전기수력학적(electrohydrodynamic) 압력에 의해 분무하는 노즐(21); 상기 노즐(21)이 형성되는 PCB 기반의 하판(28); 상기 홀(20)과 상기 노즐(21)을 이어주는 채널(22)이 구성되도록 내부에 공간이 형성된 포토레지스트(photoresist) 기반의 채널형성판(27); 상기 상판(26)의 채널 측 일면에 형성되며, 노즐(21) 상부에 위치하여 노즐에서의 유체의 메니스커스(meniscus)를 조절하는 열 액츄에이터(thermal actuator) 역할을 하는 마이크로 히터(24); 및 상기 노즐(21)에 형성되어 전기수력학적 분무를 위한 전기장을 형성하는 전극(25);을 포함하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 8 |
8 청구항 제 7 항에 있어서, 상기 포토레지스트(photoresist) 기반의 채널형성판(27)이 SU-8로 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 9 |
9 청구항 제 7 항에 있어서, 상기 PCB 기반의 하판(28)이 FR-4로 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 10 |
10 청구항 제 7 항에 있어서, 상기 마이크로 히터(24)가 NiCr 또는 TaAl로 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 11 |
11 청구항 제 7 항에 있어서, 상기 채널형성판(27)과 상기 하판(28) 사이에 두 판의 결합(bonding)을 위한 PDMS(polydimethylsiloxane) 막(29)이 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 12 |
12 청구항 제 7 항에 있어서, 상기 채널(22)에 상기 홀(20)을 통하여 공급되는 유체를 저장하기 위한 리저버(reservoir)(30)가 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프팅 헤드 |
| 13 |
13 청구항 제 7 항에 있어서, 상기 상판(26)에 상기 마이크로 히터(24)에 전기를 공급하기 위한 전극(33)이 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 14 |
14 청구항 제 7 항에 있어서, 상기 채널(22)의 높이가 100㎛ 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 |
| 15 |
15 1) 하기 a) 내지 d)의 단계들을 포함하며, 홀(20)과 히터(24)가 형성되는 본체 상판(231)을 제조하는 제 1 단계: a) 실리콘 기판에 규소산화막(34)을 형성시키는 단계; b) 상기 규소산화막(34)이 형성된 기판 위에 리소그래피(lithography) 과정을 통하여 히터(24)를 형성시키는 단계; c) 상기 히터(24)가 형성된 기판 위에 패시베이션(passivation) 막(34)을 형성시키는 단계; d) 상기 패시베이션 막(34)이 형성된 기판에 마스킹(masking) 및 벌크 에칭(bulk etching)을 통하여 홀(20)을 형성시키는 단계; 2) 하기 a) 및 b)의 단계들을 포함하며, 채널(22) 부분이 형성되는 본체 중간판(232)을 제조하는 제 2 단계: a) 실리콘 기판에 규소산화막(34)을 형성시키는 단계; b) 상기 규소산화막(34)이 형성된 기판에 마스킹(masking) 및 벌크 에칭(bulk etching)을 통하여 채널(22) 부분을 형성시키는 단계; 3) 하기 a) 내지 c)의 단계들을 포함하며, 노즐(21)이 형성되는 본체 하판(233)을 제조하는 제 3 단계: a) 실리콘 기판에 규소산화막(34)을 형성시키는 단계; b) 상기 규소산화막(34)이 형성된 기판에 마스킹(masking) 및 벌크 에칭(bulk etching)을 통하여 노즐(21)을 형성시키는 단계; c) 상기 노즐(21)에 전극(25)을 형성시키는 단계; d) 상기 전극(25)이 형성된 기판 위에 패시베이션(passivation) 막을 형성시키는 단계; 4) 상기 제 1 단계에서 생성된 본체 상판(231), 상기 제 2 단계에서 생성된 본체 중간판(232) 및 상기 제 3 단계에서 생성된 본체 하판(233)을 결합하는 제 4 단계:를 포함하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 16 |
16 청구항 제 15 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 d) 단계, 상기 제 2 단계의 b) 단계 및 상기 제 3 단계의 b) 단계의 벌크 에칭(etching)이 습식 식각(wet etching)을 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 17 |
17 청구항 제 15 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 d) 단계, 상기 제 2 단계의 b) 단계 및 상기 제 3 단계의 b) 단계의 벌크 에칭(etching)이 RIE(reactive ion etching) 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 18 |
18 청구항 제 15 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 d) 단계 후에 상기 히터(24)의 전선 연결 부분을 오픈시키기 위하여 상기 패시베이션 막(34)에 마스킹(masking) 및 에칭(etching)을 하는 e) 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 19 |
19 1) 하기 a) 내지 f)의 단계들을 포함하며, 홀(20)과 히터(24)가 형성되는 상판(26) 및 채널(22)을 형성하는 채널형성판(27)을 제조하는 제 1 단계: a) 실리콘 기판에 규소산화막(34)을 형성시키는 단계; b) 상기 규소산화막(34)이 형성된 기판 위에 리소그래피(lithography) 과정을 통하여 히터(24)를 형성시키는 단계; c) 상기 히터(24)가 형성된 기판 위에 패시베이션(passivation) 막(34)을 형성시키는 단계; d) 상기 패시베이션 막(34)이 형성된 기판에 마스킹(masking) 및 벌크 에칭(bulk etching)을 통하여 홀(20)을 형성시키는 단계; e) 상기 홀(20)이 형성된 기판에 포토레지스트(photoresist) 층을 형성시키는 단계; f) 상기 포토레지스트 층에 리소그래피(lithography) 과정을 통하여 채널(22) 부분을 형성시키는 단계; 2) 하기 a) 내지 c)의 단계들을 포함하며, 노즐(21)이 형성되는 하판(28)을 제조하는 제 2 단계: a) PCB 기판에 노즐(21)을 형성시키는 단계; b) 상기 노즐(21)에 전극(25)을 형성시키는 단계; 및 c) 상기 전극(25)이 형성된 기판 위에 상판(26) 및 채널형성판(27)과의 결합을 위하여 결합제(bonding agent)를 도포시키는 단계; 3) 상기 제 1 단계에서 생성된 상판(26) 및 채널형성판(27)과 상기 제 2 단계에서 생성된 하판(28)을 결합시키는 제 3 단계:를 포함하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 20 |
20 청구항 제 19 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 d) 단계의 벌크 에칭(etching)이 습식 식각(wet etching)을 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 21 |
21 청구항 제 19 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 d) 단계의 벌크 에칭(etching)이 RIE(reactive ion etching) 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 22 |
22 청구항 제 19 항에 있어서, 상기 제 2 단계의 a) 단계의 노즐 형성이 드릴링(drilling)을 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 23 |
23 청구항 제 19 항에 있어서, 상기 제 3 단계의 결합이 PDMS(polydimethyl siloxane) 결합제(bonding agent)를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 24 |
24 청구항 제 19 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 d) 단계 후에 상기 히터(24)의 전선 연결 부분을 오픈시키기 위하여 상기 패시베이션 막(34)에 마스킹(masking) 및 에칭(etching)을 하는 g) 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 드롭-온-디맨드(drop on demand) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1088413-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090611 출원 번호 : 1020090051762 공고 연월일 : 20111201 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20111004 청구범위의 항수 : 23 유별 : B41J 2/06 발명의 명칭 : 드롭-온-디맨드(ｄｒｏ ｐ ｏｎ ｄｅｍａｎｄ) 구동방식의 전기수력학적 프린팅 헤드 및 그 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20141125 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 471,000 원 | 2011년 11월 25일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.06.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0352678-59 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2011.03.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0020009-05 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2011.04.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0178821-50 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.06.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0412439-09 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0412438-53 |
| 7 | 등록결정서 | 2011.10.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0568611-61 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345165031 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1805 |
| 연구과제명 | 나노마이크로응용기계기술인력양성사업단 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 연세대학교 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345102473 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2008-0062472 |
| 연구과제명 | 고감도나노바이오센서및진단키트개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 연세대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200412~201108 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1415093649 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2008-N-PV08-P-06 |
| 연구과제명 | 실리콘기반MEMS헤드형multie-jetting기술이용고효율유기태양전지제작 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가원 |
| 연구주관기관명 | 연세대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200810~201107 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
| [1020110147496] | 전기화학적 산화를 이용한 고경도, 취성 재료의 기계적 가공장치 및 방법 | 새창보기 |
|---|---|---|
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