| 1 |
1
레이저빔으로 가공물에 패턴을 형성하는 패터닝 장치에 있어서,레이저빔을 생성하는 레이저 광원과,선단이 상기 가공물에 근접하며 상기 선단에는 상기 레이저 광원에서 발생한 레이저빔의 파장보다 작은 직경의 개구부가 형성된 프로브와,상기 프로브의 선단과 상기 가공물 사이의 거리에 따라 변하는 상기 프로브의 진동상태를 측정하는 진동감지기와,상기 가공물 또는 프로브를 상기 프로브의 개구부로부터 조사되는 레이저빔에 대하여 대체로 수직인 방향을 따라 평면이동시키는 스캐너부와,상기 프로브의 선단과 상기 가공물 사이의 거리가 일정하게 유지되도록 상기 진동감지기의 신호에 따라 상기 프로브 또는 가공물을 이동시키는 거리유지부를 포함하며,상기 레이저 광원으로부터 전송된 레이저빔이 상기 프로브의 개구부를 지나 상기 가공물에 조사되는 레이저 패터닝 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 레이저 광원에서 생성된 레이저빔을 상기 프로브로 집속시켜 전송하는 집광렌즈를 더 포함하며, 상기 스캐너부는 상기 가공물을 평면이동시키는 레이저 패터닝 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 레이저 광원은 펨토초 레이저인 레이저 패터닝 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 레이저 광원에서 생성된 레이저빔을 상기 프로브로 전송하는 광도파로를 더 포함하며, 상기 스캐너는 상기 프로브를 평면이동시키는 레이저 패터닝 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 진동감지기는 튜닝포크인 레이저 패터닝 장치
|
| 6 |
6
제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 가공물로부터 반사되거나 가공물을 통과한 레이저빔을 검출하도록 마련되는 적어도 하나의 광검출기를 더 포함하는 레이저 패터닝 장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 광검출기는 아발란체 포토 다이오드인 레이저 패터닝 장치
|
| 8 |
8
레이저빔을 가공물에 조사하여 패터닝하는 방법으로서, 레이저빔의 파장보다 작은 직경의 개구부가 형성된 선단을 구비하는 프로브의 상기 개구부를 통해 레이저빔을 상기 가공물로 조사하는 단계와, 상기 프로브의 선단과 상기 가공물이 근접한 상태를 유지하며 상기 가공물 또는 프로브를 상기 프로브의 개구부로부터 조사되는 레이저빔에 대하여 대체로 수직인 방향을 따라 평면이동시켜 가공물에 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 레이저 패터닝 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 프로브의 선단과 상기 가공물 사이의 거리에 따라 변하는 상기 프로브의 진동상태를 측정하여 상기 프로브의 선단과 가공물의 근접 상태를 유지시키는 레이저 패터닝 방법
|
| 10 |
10
제8항에 있어서, 상기 가공물로부터 반사되거나 가공물을 통과한 레이저빔을 검출하는 단계를 더 포함하는 레이저 패터닝 방법
|
| 11 |
11
제8항 내지 제10항에 있어서, 레이저빔을 상기 프로브로 집속시키는 단계를 더 포함하는 레이저 패터닝 방법
|
| 12 |
12
제8항 내지 제10항에 있어서, 레이저빔을 상기 프로브로 광도파로를 통해 전송하는 단계를 더 포함하는 레이저 패터닝 방법
|
| 13 |
12
제8항 내지 제10항에 있어서, 레이저빔을 상기 프로브로 광도파로를 통해 전송하는 단계를 더 포함하는 레이저 패터닝 방법
|
