맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치

  • 기술번호 : KST2015128409
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 소프트 리소그래피 공정에 사용되는 미세접촉 인쇄장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치에 관한 것이다. 본 발명은 하부에서 상부로 거동하는 미세접촉 스탬핑 방식으로 개선함으로써, 패턴 형상의 파괴없이 보다 미세한 패턴을 전이시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 볼 스크루 또는 모터에 의해 변위 제어하는 종래기술과 달리 피에조 엑츄에이터(Piezo actuator)를 이용함으로써 변위를 보다 미세하게 제어한다. 또한, 본 발명은 CCD 카메라를 이용함으로써 탄성중합체 스탬프와 기판과의 위치를 보다 정교하게 정렬할 뿐 아니라, 다층(multi-layer)공정을 가능하게 한다. 소프트 리소그래피, 탄성중합체, 미세접촉인쇄, 스탬프, 압전 엑츄에이터, 정렬시스템, 상하거동, 다층공정
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020070043126 (2007.05.03)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0873516-0000 (2008.12.04)
공개번호/일자 10-2008-0097807 (2008.11.06) 문서열기
공고번호/일자 (20081215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.03)
심사청구항수 15

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조정대 대한민국 대전광역시 유성구
2 이응숙 대한민국 대전 유성구
3 김광영 대한민국 경남 창원시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0332815-81
2 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0430454-78
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0135251-01
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.05.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0337311-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2008-0337310-32
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2008.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0296829-66
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.07.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0491839-40
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0491837-59
9 등록결정서
Decision to grant		 2008.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0606320-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탄성중합체 스탬프를 체결 고정하는 스탬프 척;상기 스탬프 척의 하방에 위치하면서 상기 탄성중합체 스탬프와 마주하도록 기판을 체결 고정하는 기판 척;상기 스탬프 척을 설정된 높이로 지지하는 프레임;상기 기판 척의 하방에 배치되면서 상기 기판 척을 승강시키는 변위 이동부; 및상기 기판 척과 상기 변위 이동부 사이에 배치되면서 상기 기판 척의 이동시 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정부를 포함하고,상기 스탬프 척은 그 일측이 상기 프레임에 대해 힌지 결합되고, 힌지 결합지점을 중심으로 회전하여 상기 기판 척과 마주하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 프레임에는 스톱퍼가 부착되고, 상기 스톱퍼는 힌지 회전된 상태의 상기 스탬프 척이 하방으로 더 이상 회전되지 않게 지지하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 변위 이동부는 평면 상에서 제1 방향 및 제2 방향으로 거동하는 수평 변위 이동부와, 상기 수평 변위 이동부에 적층되면서 상하 거동하는 수직 변위 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 수평 변위 이동부는 제1 방향을 따라 거동하는 제1 변위 이동부와, 상기 제1 변위 이동부에 적층되면서 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 거동하는 제2 변위 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 제1 변위 이동부와 상기 제2 변위 이동부 사이의 접촉면에는 크로스 롤러 베어링(Cross Roller Bearing)이 위치하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 수직 변위 이동부는 상기 기판 척을 향하여 상하 거동하는 제3 변위 이동부와, 상기 제3 변위 이동부에 맞물려 지지하는 제4 변위 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 제3 변위 이동부는 압전현상에 의한 상하 거동 변위가 측정되고, 상기 상하 거동 변위를 궤환(feedback)하여 제어되는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
9 9
제 1 항에 있어서,상기 하중 측정부는 하중을 측정하기 위한 하나 이상의 로드셀(load cell)를 구비하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
10 10
제 1 항에 있어서,상기 스탬프 척의 상방에 위치하면서 상기 스탬프 척에 장착되는 상기 탄성중합체 스탬프의 위치를 파악하는 위치정렬 감시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
11 11
제 10 항에 있어서,상기 위치정렬 감시부는 상기 탄성중합체 스탬프의 위치를 파악하기 위한 CCD(Charge Coupled Device) 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
12 12
제 11 항에 있어서,상기 위치정렬 감시부는 상기 CCD 카메라를 지지하는 지지부재를 더 구비하며,상기 지지부재는 상하방향으로 직립되게 설치되면서 설정된 각도 내에서 회전하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
13 13
제 11 항에 있어서,상기 스탬프 척에는 상기 CCD 카메라가 위치하는 상하 정렬선 상에 관통 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
14 14
제 1 항 또는 제 3 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 변위 이동부를 거동시키고 위치변화를 감지하며, 상기 하중 측정부에서 측정되는 하중변화를 감지하는 작동 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
15 15
제 1 항 또는 제 3 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스탬프 척의 상부측에 설치되어 상기 탄성중합체 스탬프에 잉크를 공급하는 잉크 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
16 16
제 1 항 또는 제 3 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스탬프 척이 위치한 방향으로 공기를 분사시키는 건조기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 한국기계연구원 기본사업 유연성스탬프를 이용한 대면적 미세금속박막전극 패터닝기술이전