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플라즈마 스크러버

  • 기술번호 : KST2015128475
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 플라즈마 스크러버는 전력 소모를 줄이면서, 반응로 내에 높은 온도 분위기를 형성하여, 난분해성 기체를 효과적으로 분해 제거한다. 본 발명의 플라즈마 스크러버는, 난분해성 기체가 공급되는 제1 반응로, 상기 제1 반응로 내에 설치되어 상기 난분해성 기체의 흐름 방향으로 돌출 형성되고, 상기 제1 반응로와의 방전에 의하여 상기 제1 반응로와의 사이로 공급되는 상기 난분해성 기체로 플라즈마를 발생시키는 전극, 상기 제1 반응로에 연결 장착되고 상기 플라즈마가 상기 전극에 부착되어(anchoring) 연속적인 아크젯을 형성하는 제2 반응로, 및 상기 제2 반응로에 연결 장착되어, 상기 제2 반응로에서 전자 및 반응성 높은 화학종(化學種)을 포함하는 고온의 반응부를 형성하여 체류시간 증가 및 반응성을 높여 상기 난분해성 기체를 분해하는 제3 반응로를 포함한다. 플라즈마, 아크, 화염
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080026123 (2008.03.21)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0910875-0000 (2009.07.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20090806) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.03.21)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김관태 대한민국 대전 서구
2 이대훈 대한민국 대전 유성구
3 송영훈 대한민국 대전 유성구
4 차민석 대한민국 대전 유성구
5 이재옥 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0204461-32
2 보정요구서
Request for Amendment		 2008.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0043051-32
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0278034-17
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2008-0077777-61
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0036539-34
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0090933-29
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0090934-75
9 등록결정서
Decision to grant		 2009.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0309940-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
난분해성 기체가 공급되는 제1 반응로; 상기 제1 반응로 내에 설치되어 상기 난분해성 기체의 흐름 방향으로 돌출 형성되고, 상기 제1 반응로와의 방전에 의하여 상기 제1 반응로와의 사이로 공급되는 상기 난분해성 기체로 플라즈마를 발생시키는 전극; 상기 제1 반응로에 연결 장착되고, 상기 플라즈마로 상기 전극에서 시작되는 연속적인 아크젯을 형성하는 제2 반응로; 및 상기 제2 반응로에 연결 장착되어, 상기 제2 반응로에서 보다 에너지가 높은 전자 및 반응성이 높은 화학종을 포함하는 고온의 반응부를 형성하여, 상기 제2 반응로에서 보다 체류시간 증가 및 반응성을 높여 상기 난분해성 기체를 분해하는 제3 반응로를 포함하는 플라즈마 스크러버
2 2
제1 항에 있어서, 상기 제2 반응로는, 상기 제1 반응로측에서 상기 제3 반응로측으로 가면서 내부 통로를 점점 좁아지게 형성하는 플라즈마 스크러버
3 3
제2 항에 있어서, 상기 제3 반응로는, 상기 제2 반응로의 최대 내경보다 더 큰 내경을 가지는 플라즈마 스크러버
4 4
제1 항에 있어서, 상기 전극은, 상기 제1 반응로측에서 상기 제2 반응로측으로 가면서, 상기 제1 반응로의 내면을 향하여 점차 확장 형성되는 확장부와, 상기 확장부 끝에 형성되는 최대 직경부, 및 상기 최대 직경부에서 점차 축소 형성되는 축소부를 포함하는 플라즈마 스크러버
5 5
제4 항에 있어서, 상기 제1 반응로는, 외부에 연결되는 제1 기체 공급구를 구비하고, 상기 제1 기체 공급구는, 상기 확장부를 향하여 형성되는 플라즈마 스크러버
6 6
제5 항에 있어서, 상기 제1 기체 공급구는 상기 제1 반응로의 법선 방향에 대하여 경사지게 형성되는 플라즈마 스크러버
7 7
제4 항에 있어서, 상기 전극은, 외부에 연결되는 제2 기체 공급구를 구비하고, 상기 제2 기체 공급구는, 상기 확장부에서 상기 제1 반응로를 향하여 형성되는 플라즈마 스크러버
8 8
제7 항에 있어서, 상기 제2 기체 공급구는 상기 전극의 법선 방향에 대하여 경사지게 형성되는 플라즈마 스크러버
9 9
제1 항에 있어서, 상기 제1 반응로에 장착되어, 상기 전극과 상기 제1 반응로를 전기적으로 절연시키고, 상기 제1 반응로와 상기 전극 사이를 실링하는 절연체를 포함하는 플라즈마 스크러버
10 10
제1 항에 있어서, 상기 제1 반응로는, 상기 전극이 삽입되는 내측 실린더와, 상기 제2 반응로 반대측에서 상기 내측 실린더의 외측에 결합되는 외측 실린더를 포함하는 플라즈마 스크러버
11 11
제10 항에 있어서, 상기 외측 실린더는, 상기 난분해성 기체를 공급하는 공급라인이 외측에 연결되고, 내측에는 기체 챔버를 형성하며, 상기 내측 실린더는, 상기 기체 챔버로 공급되는 상기 난분해성 기체를 상기 전극을 향하여 공급하는 제1 기체 공급구를 형성하는 플라즈마 스크러버
12 12
제11 항에 있어서, 상기 전극은, 상기 내측 실린더의 일측에서 반대측으로 가면서, 상기 내측 실린더 내면을 향하여 점차 확장 형성되는 확장부와, 상기 확장부 끝에 형성되는 최대 직경부, 및 상기 최대 직경부에서 점차 축소 형성되는 축소부를 포함하는 플라즈마 스크러버
13 13
제10 항에 있어서, 상기 외측 실린더에 장착되어, 상기 전극과 상기 내측 실린더를 전기적으로 절연시키고, 상기 외측 실린더와 상기 전극 사이를 실링하는 절연체를 포함하는 플라즈마 스크러버
14 14
제1 항에 있어서, 상기 난분해성 기체는 과불소화합물(PFC)을 포함하는 플라즈마 스크러버
15 15
제1 항에 있어서, 상기 난분해성 기체는 CF4, C2F6, SF6 및 NF3 중 하나를 포함하는 플라즈마 스크러버
16 16
제1 항에 있어서, 상기 전극은 내부로 냉각수를 공급하여 순환 후, 배출하는 냉각수 공급통로와 냉각수 배출통로를 형성하는 플라즈마 스크러버
17 17
제16 항에 있어서, 상기 냉각수 공급통로와 상기 냉각수 배출통로는 2중으로 형성되고, 상기 냉각수 배출통로 내에 상기 냉각수 공급통로를 형성하는 플라즈마 스크러버
18 18
제1 항에 있어서, 상기 전극은, 물, 산화제, 연료 및 불활성 기체 중 하나를 상기 제1 반응로 내부로 공급하도록 내부에 형성되는 공급통로, 및 상기 공급통로에 연결 형성되는 다공부를 포함하는 플라즈마 스크러버
19 19
제1 항에 있어서, 상기 제1 반응로는 물, 산화제, 연료 및 불활성 기체 중 하나를 상기 제1 반응로 내부로 공급하도록 상기 제1 반응로에 설치되는 제1 노즐을 포함하는 플라즈마 스크러버
20 20
제1 항에 있어서, 상기 제2 반응로는 물, 산화제, 연료 및 불활성 기체 중 하나를 상기 제2 반응로 내부로 공급하도록 상기 제2 반응로에 형성되는 제트홀에 설치되는 제2 노즐을 포함하는 플라즈마 스크러버
21 21
제1 항에 있어서, 상기 제3 반응로는 물, 산화제, 연료 및 불활성 기체 중 하나를 상기 제3 반응로 내부로 공급하도록 상기 제3 반응로에 설치되는 제3 노즐을 포함하는 플라즈마 스크러버
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP04724736 JP 일본 FAMILY
2 JP21226391 JP 일본 FAMILY
3 US08574504 US 미국 FAMILY
4 US20090238728 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2009226391 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP4724736 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 TW200940154 TW 대만 DOCDBFAMILY
4 TWI401114 TW 대만 DOCDBFAMILY
5 US2009238728 US 미국 DOCDBFAMILY
6 US8574504 US 미국 DOCDBFAMILY
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