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기판상에 상기 기판의 상면으로부터 돌출되는 마이크로 기둥 또는 상기 기판의 상면으로부터 함몰되는 마이크로 홀을 형성하는 패턴 형성단계;
상기 기판상에 액체층을 도포하는 액체층 도포단계;
상기 마이크로 기둥 또는 상기 마이크로 홀에 도포된 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 조정단계; 및
상기 액체층을 경화시키는 경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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2
제1항에 있어서,
상기 조정단계에서는,
상기 액체층이 도포된 기판을 회전시키면서 상기 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 조정단계에서는,
상기 기판의 회전속도를 변경시킴으로써, 상기 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 조정단계에서는,
상기 기판의 회전중심축과 상기 마이크로 기둥 또는 상기 마이크로 홀 사이의 거리를 변경시킴으로써, 상기 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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5
제1항에 있어서,
상기 조정단계에서는,
상기 액체층이 도포된 기판을 진동시키면서 상기 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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6
제5항에 있어서,
상기 조정단계에서는,
상기 기판의 진동주기를 변경시킴으로써, 상기 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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7
제5항에 있어서,
상기 조정단계에서는,
상기 기판의 진동폭을 변경시킴으로써, 상기 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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8
제1항에 있어서,
상기 조정단계에서는,
상기 액체층을 구성하는 구성성분들의 비율을 변경하고 상기 구성성분들 중 일부 구성성분을 증발시킴으로써, 상기 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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9
제1항에 있어서,
상기 마이크로 기둥의 측벽 또는 상기 마이크로 홀의 측벽은 상기 기판의 상면에 대하여 수직하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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10
제1항에 있어서,
상기 액체층은 포토 레지스터 또는 자외선 경화수지(UV resin)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 제조방법
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