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미세 이동 유닛을 이용한 마이크로 패터닝 장치와 방법

  • 기술번호 : KST2015128670
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압전 액츄에이터를 이용하여 미소 변위를 발생시키는 한편 이를 이용하여 마이크로 스케일의 패터닝을 수행하는 장치 및 방법에 관련된 것으로서 특히 미세 이동은 상기 압전 액츄에이터에 의하되 가공물은 종래의 이송 스테이지에 의해 이송하여 가공 속도와 가공 정밀도를 동시에 향상시킬 수 있는 마이크로 패터닝 장치와 방법에 관련된 것이다. 압전 액츄에이터, 마이크로 패터닝, 리사주
Int. CL H02N 2/02 (2006.01) H02N 2/00 (2006.01)
CPC H02N 2/001(2013.01) H02N 2/001(2013.01) H02N 2/001(2013.01) H02N 2/001(2013.01)
출원번호/일자 1020090132583 (2009.12.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1093077-0000 (2011.12.06)
공개번호/일자 10-2011-0075999 (2011.07.06) 문서열기
공고번호/일자 (20111213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신동식 대한민국 대전광역시 유성구
2 서정 대한민국 부산광역시 강서구
3 이제훈 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0810888-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.03.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0029991-59
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0214039-07
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0464573-61
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0464566-41
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0712674-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
가공물(W)을 이송하는 매크로 스테이지(130)와, 상기 스테이지(130)상에 배치되는 것으로서 전기력에 의해 미소 변위를 발생하는 압전 액츄에이터(190) 및 상기 압전 액츄에이터(190)에 의해 이송되는 마이크로 스테이지(140)를 포함하는 미세 이동 유닛(U)과, 상기 가공물(W)을 가공하기 위한 레이저를 조사하는 레이저 발진부(120)와, 상기 마이크로 스테이지(140)에 장치되어 상기 가공물(W)측으로 레이저를 조사하는 대물 렌즈(140)와, 상기 매크로 스테이지(130), 미세 이동 유닛(U) 그리고 레이저 발진부(120)를 제어하는 제어부(110)를 포함하되, 상기 마이크로 스테이지(140)의 이송에 상기 레이저가 추종할 수 있도록 하는 가변 미러 유닛(160)을 더 포함하며, 상기 가변 미러 유닛(160)은 상기 제어부(110)와 연결되는 압전 액츄에이터(162)와, 상기 압전 액츄에이터(162)가 수용되는 하우징(161)과, 미러(164)를 수용하는 미러 홀더(165)와, 상기 미러 홀더(165)가 상기 하우징(161)상에 회동가능하게 장착되도록 하는 피봇(163)과, 상기 미러 홀더(165) 일측에 형성되어 상기 압전 액츄에이터(162)에 접촉되는 접촉부(166)를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 이동 유닛을 이용한 마이크로 패터닝 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 레이저 발진부(120)로부터 상기 대물 렌즈(180)측으로 레이저를 조사되도록 상기 레이저의 방향을 바꾸는 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 이동 유닛을 이용한 마이크로 패터닝 장치
4 4
삭제
5 5
제2항에 기재된 마이크로 패터닝 장치를 이용하여 가공물을 가공하는 방법으로서, 상기 가공물(W)의 이송은 상기 매크로 스테이지(130)에 의하고, 상기 대물 렌즈(180)는 상기 미세 이동 유닛(U)에 의해 이송되는 것을 특징으로 하는 미세 이동 유닛을 이용한 마이크로 패터닝 방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 미세 이동 유닛(U)의 압전 액츄에이터(190)는 리사쥬 패터닝에 의해 미소 변위를 발생하는 것을 특징으로 하는 미세 이동 유닛을 이용한 마이크로 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 협동연구사업 TSV Via Laser Drilling 기술 개발