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측정팁이 장착된 원통형 금형 및 이를 이용한 코팅 두께 측정방법

  • 기술번호 : KST2015128686
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원통형 금형에 관한 것으로서, 원통형 금형에 있어서, 인쇄 대상 패턴이 형성되는 패턴영역부와, 상기 패턴영역부의 양측에 위치하고 홈이 형성되며 패턴이 형성되지 않는 패턴외측부와, 상기 원통형 금형의 측면에 형성되고 코팅장치에 축 결합되는 회전축부 및 상기 패턴외측부의 홈에 결합되고 상기 패턴외측부와 동일한 면을 이루는 측정팁을 포함함으로써, 간단한 방법으로 감광제가 원하는 두께로 균일하게 코팅되었는지 측정할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020100065701 (2010.07.08)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1084315-0000 (2011.11.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20111116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승우 대한민국 대전광역시 유성구
2 김정오 대한민국 대전광역시 중구
3 서정 대한민국 부산광역시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0440741-49
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0043081-55
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0418783-76
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0732157-45
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0732156-00
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0629701-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원통형 금형(100)에 있어서,인쇄 대상 패턴(11)이 형성되는 패턴영역부(10);상기 패턴영역부(10)의 양측에 위치하고 홈이 형성되며 패턴(11)이 형성되지 않는 패턴외측부(20);상기 원통형 금형(100)의 측면에 형성되고 코팅장치에 축 결합되는 회전축부(30);상기 패턴외측부(20)의 홈에 결합되고 상기 패턴외측부(20)와 동일한 면을 이루는 측정팁(40)을 포함하는 원통형 금형
2 2
제1항에 있어서,상기 측정팁(40)은 양측의 패턴외측부(20)에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 원통형 금형
3 3
제1항에 있어서,상기 측정팁(40)은 나사(41)에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 원통형 금형
4 4
제1항에 있어서,상기 측정팁(40)은 걸림결합에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 원통형 금형
5 5
롤 코팅장치에 제1항 내지 제4항의 어느 한 항의 원통형 금형(100)을 장착하는 단계;상기 롤 코팅장치의 코팅박스(110)에 채워진 감광제(140)에 상기 원통형 금형(100)을 접촉시킨 상태에서 상기 원통형 금형(100)을 회전시켜 상기 원통형 금형(100)에 코팅막(50)을 형성하는 단계;상기 원통형 금형(100)에서 측정팁(40)을 분리하는 단계; 및상기 측정팁(40)을 SEM(Scanning Electron Microscope)으로 관찰하여 코팅막(50)의 두께(b)를 직접 측정하는 방식 또는 상기 코팅막(50)의 두께(b)와 홈의 깊이(a')를 합한 값을 AFM(Atomic Force Microscope)으로 측정하고 상기 측정값에서 미리 측정한 홈의 깊이(a')를 빼는 방식을 통해 상기 코팅막(50)의 두께를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 두께 측정방법
6 6
제5항에 있어서,상기 원통형 금형(100)에 코팅막(50)을 형성하는 단계를 수행한 후 상기 원통형 금형(100)을 원통형 금형(100)의 반경과 원하는 코팅막(50) 두께를 합한 값의 내경을 갖는 원통관에 통과시켜 형성된 코팅막(50)을 두께를 원하는 두께로 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 두께 측정방법
7 7
삭제
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국기계연구원 기관고유(주요)연구사업 프린팅 롤 광응용 미세 패터닝 기술