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자석을 이용한 코팅 장치

  • 기술번호 : KST2015128852
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치는 코팅 대상물이 설치될 수 있도록 내부 공간을 갖는 진공 챔버와, 상기 코팅 대상물의 일측 단부를 지지하는 지그와 상기 지그와 연결 설치되며 진공 챔버에 대하여 회전 가능하게 설치된 제1 내부 마그네틱판과, 상기 진공 챔버의 벽면을 사이에 두고 상기 제1 내부 마그네틱판과 과 대향 배치된 제1 외부 마그네틱판과, 상기 제1 외부 마그네틱판으로 회전력을 전달하는 회전부재와, 상기 코팅 대상물로 코팅하고자 하는 물질을 공급하는 타겟을 포함하고, 상기 제1 외부 마그네틱판과 상기 제1 내부 마그네틱판에는 서로 다른 극성을 갖는 자석이 상기 제1 외부 마그네틱판과 상기 제1 내부 마그네틱판의 둘레 방향을 따라 교대로 배열될 수 있다.
Int. CL H01L 21/312 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020100060416 (2010.06.25)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1136536-0000 (2012.04.06)
공개번호/일자 10-2012-0000201 (2012.01.02) 문서열기
공고번호/일자 (20120417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.25)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재구 대한민국 대전광역시 유성구
2 조성학 대한민국 대전광역시 유성구
3 장성환 대한민국 대전광역시 유성구
4 제태진 대한민국 대전광역시 유성구
5 최두선 대한민국 대전광역시 유성구
6 황경현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0409576-39
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0484088-33
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0848911-07
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0848912-42
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0175369-33
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
코팅 대상물이 설치될 수 있도록 내부 공간을 갖는 진공 챔버;상기 코팅 대상물의 일측 단부를 지지하는 지그;상기 지그와 연결 설치되며 진공 챔버에 대하여 회전 가능하게 설치된 제1 내부 마그네틱판;상기 진공 챔버의 벽면을 사이에 두고 상기 제1 내부 마그네틱판과 대향 배치된 제1 외부 마그네틱판;상기 제1 외부 마그네틱판으로 회전력을 전달하는 회전부재;상기 코팅 대상물로 코팅하고자 하는 물질을 공급하는 타겟;을 포함하고,상기 제1 외부 마그네틱판과 상기 제1 내부 마그네틱판에는 서로 다른 극성을 갖는 자석이 상기 제1 외부 마그네틱판과 상기 제1 내부 마그네틱판의 둘레 방향을 따라 교대로 배열되며,상기 지그는 내부에 스프링이 설치되어 신축 가능한 구조로 이루어진 코팅 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 코팅 대상물은 회전체인 코팅 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 내부 마그네틱판과 연결되며 상기 챔버의 벽면에 고정된 지지구를 더 포함하고, 상기 제1 내부 마그네틱판은 상기 지지구에 대하여 회전 가능하도록 설치된 코팅 장치
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 지그는 제1 지그부와, 상기 제1 지그부에 형성된 홈에 삽입되어 슬라이딩 가능하게 결합되며 상기 코팅 대상물의 일단을 지지하는 제2 지그부, 및 상기 홈에 삽입되어 상기 제2 지그부의 일단을 가압 지지하는 스프링을 포함하는 코팅 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 코팅 대상물은 내부에 공간을 갖는 관 형상으로 이루어지고, 상기 지그는 상기 코팅 대상물을 관통하여 설치된 코팅 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 코팅 대상물의 타측 단부를 지지하는 지그와 상기 지그와 연결 설치되며 상기 진공 챔버에 대하여 회전 가능하게 설치된 제2 내부 마그네틱판과 상기 진공 챔버의 벽면을 사이에 두고 상기 제2 내부 마그네틱판과 대향 배치된 제2 외부 마그네틱판, 및 상기 제2 외부 마그네틱판을 지지하는 지지부재를 포함하고, 상기 제2 외부 마그네틱판은 상기 지지부재에 대하여 회전 가능한 구조로 설치된 코팅 장치
8 8
제1항에 있어서,상기 제1 외부 마그네틱판은 베이스와 베이스 상에 삽입 설치된 복수 개의 자석들과 상기 베이스를 덮는 덮개판을 포함하는 회전체 코팅 장치
9 9
제8항에 있어서,상기 자석은 부채꼴 형상으로 이루어지고, 서로 다른 극성을 갖는 자석이 접하도록 배치된 코팅 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부, 산업기술연구회 한국기계연구원 차세대신기술개발사업 (MM9880) 전자빔 응용 나노급 초소형 부품 제작 공정 기술 개발(3/3