| 1 |
1
레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부,상기 레이저 빔을 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 할로우 레이저 빔 형성부,상기 할로우 레이저 빔이 조사되는 가공물이 탑재되는 스테이지를 포함하고,상기 할로우 레이저 빔은 가장자리부에 에너지 밀도의 70% 내지 90%가 집중되어있는 레이저 빔이고,상기 할로우 레이저 빔 형성부는상기 레이저 빔을 확대 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 할로우 레이저 빔 변환부,상기 할로우 레이저 빔 변환부와 이격되어 있으며 상기 확대 할로우 레이저 빔이 회절된 회절 레이저 빔을 집속시켜 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 집속 레이저 빔 변환부를 포함하고,상기 확대 할로우 레이저 빔의 직경은 상기 할로우 레이저 빔의 직경보다 큰 레이저 가공 시스템
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에서,상기 할로우 레이저 빔 변환부는 MDT 결정을 포함하는 레이저 가공 시스템
|
| 4 |
4
제1항에서,상기 할로우 레이저 빔 변환부는 할로우 코어 광섬유를 포함하는 레이저 가공 시스템
|
| 5 |
5
제1항에서,상기 집속 레이저 빔 변환부는 집속 렌즈를 포함하는 레이저 가공 시스템
|
| 6 |
6
제1항에서,상기 회절 레이저 빔은 가장자리부부터 중심부까지 에너지 고밀도부와 에너지 저밀도부가 반복되는 레이저 가공 시스템
|
| 7 |
7
레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부,상기 레이저 빔을 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 할로우 레이저 빔 형성부,상기 할로우 레이저 빔이 조사되는 가공물이 탑재되는 스테이지를 포함하고,상기 할로우 레이저 빔은 가장자리부에 에너지 밀도의 70% 내지 90%가 집중되어있는 레이저 빔이고,상기 할로우 레이저 빔 형성부는 상기 레이저 빔을 회절 레이저 빔으로 변환시키는 회절 레이저 빔 변환부,상기 회절 레이저 빔을 집속시켜 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 집속 레이저 빔 변환부를 포함하는 레이저 가공 시스템
|
| 8 |
8
제7항에서,상기 회절 레이저 빔 변환부는 회절 광학 소자를 포함하는 레이저 가공 시스템
|
| 9 |
9
제7항에서,상기 집속 레이저 빔 변환부는 집속 렌즈를 포함하는 레이저 가공 시스템
|
| 10 |
10
제7항에서,상기 회절 레이저 빔은 가장자리부부터 중심부까지 에너지 고밀도부와 에너지 저밀도부가 반복되는 레이저 가공 시스템
|
| 11 |
11
레이저 가공 시스템에서 가장자리부에 에너지 밀도의 70% 내지 90%가 집중되어있는 할로우 레이저 빔을 발생시키는 단계,상기 할로우 레이저 빔을 코팅층이 형성된 가공물에 조사하여 코팅층 및 가공물에 미세 홀을 형성하는 단계를 포함하고,상기 레이저 가공 시스템은 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부,상기 레이저 빔을 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 할로우 레이저 빔 형성부,상기 할로우 레이저 빔이 조사되는 가공물이 탑재되는 스테이지를 포함하고,상기 할로우 레이저 빔은 가장자리부에 에너지 밀도의 70% 내지 90%가 집중되어있는 레이저 빔이고,상기 할로우 레이저 빔 형성부는상기 레이저 빔을 확대 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 할로우 레이저 빔 변환부,상기 할로우 레이저 빔 변환부와 이격되어 있으며 상기 확대 할로우 레이저 빔이 회절된 회절 레이저 빔을 집속시켜 할로우 레이저 빔으로 변환시키는 집속 레이저 빔 변환부를 포함하고,상기 확대 할로우 레이저 빔의 직경은 상기 할로우 레이저 빔의 직경보다 큰 레이저 가공 방법
|
| 12 |
12
제11항에서,상기 미세 홀이 형성된 가공물에 세척 공정을 진행하는 단계를 더 포함하는 레이저 가공 방법
|
