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임프린트 리소그래피 공정을 통해 기판(100) 위에 나노 및 마이크로 패턴이 복합된 3차원의 미세 형상을 제작하는 롤 임프린트 장치에 있어서,평면기판(110) 및 유연기판(120) 중 어느 하나인 기판(100):회전 가능하게 설치되어 일부 외주면이 상기 기판(100)에 수직한 방향으로 상기 기판(100)을 가압하는 롤러스탬프(210)와, 유연한 재질의 필름으로 제작되며 상기 기판(100)에 전사될 패턴이 형성된 유연스탬프(220)와, 상기 유연스탬프(220)가 상기 롤러스탬프(210) 및 상기 기판(100) 사이로 이동되도록 상기 유연스탬프(220)를 공급 및 회수시키는 유연스탬프 공급롤(221) 및 유연스탬프 회수롤(222)을 포함하여 형성되는 스탬프부(200);상기 롤러스탬프(210)와 상기 기판(100) 및 유연스탬프(220)를 사이에 두고 마주하도록 위치하며, 상기 롤러스탬프(210)에 의해 상기 기판(100)에 가해지는 가압력에 반대되는 방향으로 상기 기판(100) 및 유연스탬프(220)를 지지하고, 상기 기판(100)을 경화시키는 경화부(300); 를 포함하여 형성되되,상기 롤러스탬프(210)에는 외주면을 따라 패턴이 형성되고,상기 롤러스탬프(210)의 패턴 및 상기 유연스탬프(220)의 패턴이 중첩되어 형성되는 3차원의 미세 패턴의 형상이 상기 기판(100) 또는 상기 기판(100) 위에 도포된 레지스트(500)에 전사되며,상기 롤러스탬프(210)에 형성되는 패턴의 단면적이 상기 유연스탬프(220)에 형성되는 패턴의 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치(1)는상기 기판(100)이 유연한 필름 재질로 제작되는 유연기판(120)이며,상기 유연기판(120)이 상기 경화부(300) 및 상기 유연스탬프(220) 사이로 이동되도록 상기 유연기판(120)을 공급 및 회수시키는 유연기판 공급롤(121) 및 유연기판 회수롤(122)을 더 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치
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제 3항에 있어서,상기 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치(1)는상기 경화부(300)가 상기 롤러스탬프(210)가 회전되는 방향과 반대되는 방향으로 회전되도록 롤 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치(1)는상기 기판(100)이 평평하게 형성되는 평면기판(110)이며,상기 평면기판(110)이 상기 경화부(300)에 고정되는 것을 특징으로 하는 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치
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제 1항, 3항, 4항 및 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치(1)는상기 경화부(300)가 상기 기판(100)을 가열하는 가열장치(310)를 포함하여 형성되며,상기 가열장치(310)에 의해 가열된 기판(100)을 냉각시키는 냉각장치(330)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치
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제 1항, 3항, 4항 및 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치(1)는상기 경화부(300)가 자외선 조사장치(320)를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치
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