요약 | 본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 전자회로 패턴을 형성시키는 패턴인쇄유닛; 및 펄스형 레이저를 이용하여 상기 기판에 형성된 전자회로 패턴을 건조 및/또는 경화시키는 건조/경화유닛을 포함할 수 있다. 이에 의하면, 건조 및/또는 경화 과정에서 기판이 손상되지 않으며, 따라서, 기판의 손상에 의한 불량을 줄일 수 있다. |
---|---|
Int. CL | B05D 3/06 (2006.01) H05K 3/00 (2006.01) H05K 3/12 (2006.01) |
CPC | H05K 3/1283(2013.01)H05K 3/1283(2013.01)H05K 3/1283(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020110021688 (2011.03.11) |
출원인 | 한국기계연구원 |
등록번호/일자 | 10-1076305-0000 (2011.10.18) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20111026) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2011.03.11) |
심사청구항수 | 9 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이승현 | 대한민국 | 대전광역시 서구 |
2 | 윤덕균 | 대한민국 | 인천광역시 부평구 |
3 | 김동수 | 대한민국 | 대전광역시 서구 |
4 | 고승환 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
5 | 성형진 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
6 | 강현욱 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
7 | 여준엽 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
8 | 홍석준 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김동진 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 *** (역삼동, 신명빌딩 *층)(청우특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.03.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0176927-08 |
2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2011.03.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0184392-14 |
3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2011.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0190203-90 |
4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2011.03.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0221258-17 |
5 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2011.03.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0235782-92 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
8 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.04.26 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
9 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0038621-93 |
10 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.05.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0267959-17 |
11 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.07.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0556457-53 |
12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0640539-03 |
13 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.08.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0640540-49 |
14 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.10.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0573179-55 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 기판에 다계층으로 구성된 전자회로 패턴을 형성시키는 패턴인쇄유닛; 및 복수의 레이저들을 발생시켜, 상기 전자회로 패턴을 향해 조사하여 상기 전자회로 패턴을 건조 및 경화시키는 건조/경화유닛;을 포함하며,상기 전자회로 패턴을 향해 조사되는 복수의 레이저들은 펄스형 레이저로서 상기 다계층을 구성하는 각각의 계층에 반응하는 파장 대역을 각각 가지고 있으며, 상기 기판을 손상시키지 않도록 상기 펄스형 레이저들 각각의 펄스 주기가 조절된 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조 장치 |
2 |
2 제1항에 있어서,상기 건조/경화유닛은,상기 복수의 레이저들을 발생시키는 가변 파장 레이저 발생기; 및상기 가변 파장 레이저 발생기에 의해 발생되는 복수의 레이저들 중에서 어느 하나의 레이저를 펄스형 레이저로 만들어 상기 기판의 전자회로 패턴에 조사하는 제1 펄스 발생기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조장치 |
3 |
3 제2항에 있어서,상기 건조/경화유닛은,상기 가변 파장 레이저 발생기에 의해 발생되는 복수의 레이저들 중에서 다른 하나의 레이저를 펄스형 레이저로 만들어 상기 기판의 전자회로 패턴에 조사하는 제2 펄스 발생기; 및상기 가변 파장 레이저 발생기에 의해 발생되는 레이저를 상기 제1 펄스 발생기와 상기 제2 펄스 발생기로 분배하기 위한 스플리터; 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조장치 |
4 |
4 제2항에 있어서,상기 건조/경화유닛은,상기 가변 파장 레이저가 발생되는 레이저들이 각각 가지는 파장 대역을 상기 다계층을 구성하는 각각의 계층에 반응하도록 조절하는 제어기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조장치 |
5 |
5 제4항에 있어서,상기 제어기는, 또한, 상기 제1 펄스 발생기가 만드는 펄스형 레이저의 펄스 주기를 조절하여, 상기 기판을 손상시키지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조장치 |
6 |
6 기판에 다계층으로 구성된 전자회로 패턴을 형성시키는 단계; 상기 다계층을 구성하는 각각의 계층에 반응하는 파장 대역을 가진 복수의 레이저들을 발생시키는 단계;상기 복수의 레이저들을 상기 전자회로 패턴을 향해 조사하여 상기 전자회로 패턴을 건조 및 경화시키는 단계;를 포함하며,상기 전자회로 패턴을 향해 조사되는 복수의 레이저들은 모두 펄스형 레이저이고, 상기 기판을 손상시키지 않도록 상기 펄스형 레이저들 각각의 주기가 조절된 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조방법 |
7 |
7 제6항에 있어서,상기 복수의 레이저들을 발생시키는 단계에서 발생된 복수의 레이저들은 가변 파장 레이저 발생기에 의해서 만들어진 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조 방법 |
8 |
8 제6항에 있어서,상기 건조 및 경화시키는 단계는 상기 다계층을 구성하는 계층들 중에서 제1 레이어에 제1 펄스형 레이저를 조사하고 난 후에, 상기 다계층을 구성하는 계층들 중에서 제2 레이어에 제2 펄스형 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조 방법 |
9 |
9 제6항에 있어서,상기 건조 및 경화시키는 단계는 상기 다계층을 구성하는 계층들 중에서 제1 레이어에 상기 펄스형 레이저들 중의 하나인 제1 펄스형 레이저를 조사하며, 이와 동시에 상기 다계층을 구성하는 계층들 중에서 제2 레이어에 상기 펄스형 레이저들 중의 다른 하나인 제2 펄스형 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 소자 제조 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 지식경제부 | 한국기계연구원 | 산업기술연구회-협동연구사업 | 나노잉크를 이용한 박막형 슈퍼캐패시터 연속 생산공정 및 시스템 개발 |
공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-1076305-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20110311 출원 번호 : 1020110021688 공고 연월일 : 20111026 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20111005 청구범위의 항수 : 9 유별 : H05K 3/12 발명의 명칭 : 인쇄 전자 소자 제조 장치 및 방법 존속기간(예정)만료일 : 20181019 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국기계연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 198,000 원 | 2011년 10월 18일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 238,000 원 | 2014년 09월 17일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 238,000 원 | 2015년 09월 09일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 238,000 원 | 2016년 09월 07일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 309,400 원 | 2017년 09월 07일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.03.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0176927-08 |
2 | [출원서등 보정]보정서 | 2011.03.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0184392-14 |
3 | [출원서등 보정]보정서 | 2011.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0190203-90 |
4 | [출원서등 보정]보정서 | 2011.03.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0221258-17 |
5 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 | 2011.03.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0235782-92 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
8 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.04.26 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
9 | 선행기술조사보고서 | 2011.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0038621-93 |
10 | 의견제출통지서 | 2011.05.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0267959-17 |
11 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.07.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0556457-53 |
12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0640539-03 |
13 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.08.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0640540-49 |
14 | 등록결정서 | 2011.10.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0573179-55 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345158224 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0081572 |
연구과제명 | 옵토-유체-연성체 상호작용 연구단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200904~201802 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
과제고유번호 | 1345154581 |
---|---|
세부과제번호 | 2010-0003973 |
연구과제명 | 액상환경 내에서 광 에너지를 이용한 기능성 나노구조물의 선택적 합성 및 집적기술 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 201005~201304 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345158224 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0081572 |
연구과제명 | 옵토-유체-연성체 상호작용 연구단 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200904~201802 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
과제고유번호 | 1345159861 |
---|---|
세부과제번호 | 2011-0028662 |
연구과제명 | 나노공정을 이용한 대규모 다중이용시설물의 자립형 스마트 피난유도시스템 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 201109~201608 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345165199 |
---|---|
세부과제번호 | R31-2011-000-10045-0 |
연구과제명 | 해양 인프라시스템 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200812~201308 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | 기타 |
과제고유번호 | 1415110582 |
---|---|
세부과제번호 | B551179-10-01-00 |
연구과제명 | 나노잉크를 이용한 박막형 슈퍼캐패시터 연속 생산공정 및 시스템 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 산업기술연구회 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 201007~201306 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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