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미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015129612
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 금속 제판에 형성되는 패턴의 종횡비를 종래보다 크게 향상시킬 수 있는, 미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법을 제공함에 있다. 특히 본 발명의 목적은, 전자 인쇄에 사용되는 금속 제판의 패턴 종횡비를 향상함으로써 패턴 내 수용되는 잉크 수용량을 증가시킬 수 있도록 하는, 미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법을 제공함에 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020130058625 (2013.05.23)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1464348-0000 (2014.11.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최영만 대한민국 대전광역시 유성구
2 이택민 대한민국 대전광역시 유성구
3 이승현 대한민국 대전광역시 서구
4 강동우 대한민국 대전광역시 서구
5 김광영 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0457570-39
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0943031-64
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0242861-79
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0203597-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0486500-68
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0486487-51
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0426940-95
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0796624-58
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0796604-45
10 등록결정서
Decision to grant
2014.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0587394-41
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0815484-88
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0815488-60
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속 재료로 된 제판(110) 상면에 포토레지스트(120)가 도포되는 단계;상기 포토레지스트(120) 일부가 제거되어 포토레지스트 패턴부(121)가 형성되는 단계;상기 제판(110)이 에칭 용액에 담가져서 상기 포토레지스트 패턴부(121)에 의해 노출된 상기 제판(110) 상면 일부가 에칭에 의해 제거되어 제판 패턴부(111)가 형성되는 단계;잔존하는 상기 포토레지스트(120)가 모두 제거되는 단계;상기 제판 패턴부(111)에 절연물질(130)이 충진되는 단계;상기 제판(110) 상면에 전기 도금이 수행되어, 상기 제판 패턴부(111)를 제외한 영역에 상기 제판 패턴부(115) 깊이(R)의 0
2 2
제 1항에 있어서, 상기 도금층(115)은상기 제판(110)을 이루는 금속 재료와 동일한 금속 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 포토레지스트 패턴부(121)는포토 리소그라피 또는 레이저 가공에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 금속 재료는구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 중 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 절연물질(130)은vinyl 계열, photoresist 계열, 산화 금속(metal oxide) 계열, vinyl 계열과 photoresist 계열을 혼합한 Composite 계열, vinyl 계열과 산화 금속(metal oxide) 계열을 혼합한 Composite 계열, photoresist 계열과 산화 금속(metal oxide) 계열을 혼합한 Composite 계열, vinyl 계열과 photoresist 계열과 산화 금속(metal oxide) 계열을 혼합한 Composite 계열 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세 패턴용 고종횡비 제판 제작 방법
6 6
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 LG 디스플레이 감성터치플랫폼개발 및 신산업화지원 Roll 방식 터치 스크린 기술개발 (1/4)