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자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법

  • 기술번호 : KST2015129624
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 임프린트 리소그래피 공정 시, 스탬프와 기판 척에 고정된 기판이 접촉될 때, 기판 전 면적에 동일한 압력 분포로 힘이 가해질 수 있도록 스탬프와의 접촉면에 평행하게 기판의 위치가 정렬될 수 있는 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법에 관한 것입니다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020130040151 (2013.04.11)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1471185-0000 (2014.12.03)
공개번호/일자 10-2014-0122983 (2014.10.21) 문서열기
공고번호/일자 (20141211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.11)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
4 임형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0317520-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2013-0101292-01
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0422429-82
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.07.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0649065-21
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0649078-14
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0640334-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하측면에 패턴이 형성되며, 외부프레임에 장착되어 고정된 스탬프;상기 스탬프와 접한 다음, 일정압력으로 가압됨으로써, 표면에 도포된 레지스트에 상기 스탬프의 패턴이 전사되는 기판;상기 기판이 장착되어 고정되는 기판 척;상기 기판 척의 위치를 정렬하는 기판 스테이지;상기 기판 스테이지와 탄성 수단으로 연결되어 상기 기판 스테이지 하부에 배치되며, 모터 구동에 의해 상기 기판 스테이지를 z축 방향으로 직선 이동시키는 슬라이더;상기 슬라이더가 z축 방향으로 직선 이동되도록 안내하는 선형가이드; 및상기 기판 스테이지의 하측면 중앙부에 반구 형태로 함입 형성된 제1조인트 홀에 상단부가 삽입되며, 상기 슬라이더의 내측면 중앙부에 반구 형태로 함입 형성된 제2조인트 홀에 하단부가 삽입되고, 상단 및 하단에 상기 제1조인트 홀 및 제2조인트 홀에 대응되는 형태로 제1조인트 및 제2조인트가 형성되는 선형 액추에이터; 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 선형 액추에이터는복수개의 압전 필름이 적층되어 형성되는 압전 액추에이터인 것을 특징으로 하는 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 탄성 수단은얇은 판 형태의 판스프링(leaf spring)으로 이루어진 탄성 힌지인 것을 특징으로 하는 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 탄성 수단은일측 단부가 스프링 블록에 연결되고 타측 단부가 상기 슬라이더에 연결되는 제1탄성 힌지와, 일측 단부가 스프링 블록에 연결되고 타측 단부가 상기 기판 스테이지에 연결되는 제2탄성 힌지를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 제1조인트 및 제2조인트는구조인트(spherical joint)인 것을 특징으로 하는 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치
6 6
제 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 의한 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치를 이용한 임프린트 리소그래피 방법은
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (2/5)