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압착가공을 이용한 나노홀 제작방법

  • 기술번호 : KST2015130166
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법에 관한 것이며, 본 발명의 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법은 기판 상에 이격공간이 구비되는 복수개의 마이크로 패턴을 형성하는 패턴 형성단계; 상기 마이크로 패턴이 변형을 일으켜 상기 이격공간 측으로 확장됨으로써 나노홀을 형성하도록 상기 마이크로 패턴을 압착하는 압착단계;를 포함하되, 압착되는 마이크로 패턴이 상호 연결되는 것이 방지되도록 이웃하는 마이크로 패턴 사이의 이격공간 내에 완충유체를 충진하는 유체 충진단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.따라서, 본 발명에 의하면, 마이크로 스케일의 패턴을 압착하여 나노 스케일의 홀을 용이하게 제작할 수 있는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법이 제공된다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020120136317 (2012.11.28)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1399459-0000 (2014.05.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140627) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤재성 대한민국 대전광역시 유성구
2 유영은 대한민국 서울 강남구
3 최두선 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0987181-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.06.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0058093-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0719522-73
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-1064892-42
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.11.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1064897-70
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0220813-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 이격공간이 구비되는 복수개의 마이크로 패턴을 형성하는 패턴 형성단계;상기 마이크로 패턴이 변형을 일으켜 상기 이격공간 측으로 확장됨으로써 나노홀을 형성하도록 상기 마이크로 패턴을 압착하는 압착단계;를 포함하되,압착되는 마이크로 패턴이 상호 연결되는 것이 방지되도록 이웃하는 마이크로 패턴 사이의 이격공간 내에 완충유체를 충진하는 유체 충진단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 유체 충진단계는 상기 마이크로 패턴이 형성되는 기판을 상기 완충유체 내에 침지(沈漬)하는 것을 특징으로 하는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법
4 4
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 압착단계에서 상기 마이크로 패턴은 가압롤러에 의하여 압착가공되는 것을 특징으로 하는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법
5 5
제4항에 있어서,상기 나노홀의 크기는 상기 가압롤러의 하중에 의하여 조절되는 것을 특징으로 하는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법
6 6
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 나노홀의 크기는 상기 완충유체의 점도에 의하여 조절되는 것을 특징으로 하는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법
7 7
제6항에 있어서,상기 완충유체은 실리콘 오일과 이소프로필 알콜(IPA:Isopropyl Alcohol)의 혼합액인 것을 특징으로 하는 압착가공을 이용한 나노홀 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 주요사업 나노복합구조 소자화를 위한 통합화 성형 기술(1/3)
2 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(I) 나노채널기반 고효율 물분자 이송 융합시스템 기술 (1/3)