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고체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법

  • 기술번호 : KST2015130179
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마스크를 통해 기능성 잉크를 도포하여 기판상에 높은 종횡비를 갖는 미세패턴을 형성할 수 있고, 미세패턴 형성과정에서 기판과 마스크 사이의 미세틈으로 기능성 잉크가 침투되는 것을 방지할 수 있는 고체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법에 관한 것으로서, 상기 개구부로 충진용액을 주입하는 충진단계와, 상기 충진용액이 상기 기판과 상기 마스크 사이에 마련된 미세틈과, 마스크의 개구부와 미세틈의 경계면으로 스며든 후 충진용액이 증발함으로써 용해 혹은 분산되어있던 고형분에 의해 고체 필름 배리어를 형성하는 배리어 형성단계와, 상기 개구부로 기능성 잉크를 도포하는 잉크도포 단계와, 도포된 상기 기능성 잉크가 경화되어 미세패턴을 형성하도록 하는 경화단계와, 상기 기판으로부터 상기 마스크를 이탈시키는 마스크 제거단계와 고체 필름 배리어를 제거하는 배리어 제거단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020100084875 (2010.08.31)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1379901-0000 (2014.03.25)
공개번호/일자 10-2012-0020932 (2012.03.08) 문서열기
공고번호/일자 (20140401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신동윤 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0564980-18
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0483805-06
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0853840-71
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0853860-84
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0198808-69
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0371381-88
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.05.09 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2012-0371411-60
10 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2012.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0329568-35
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0329569-81
12 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2012.08.22 수리 (Accepted) 7-8-2012-0027579-99
13 등록결정서
Decision to grant
2014.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0027774-19
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
기판 상에 기능성 잉크를 도포하여 미세패턴을 형성하는 방법에 있어서,기판 상부에 패턴을 이루는 개구부가 형성된 마스크를 위치시키는 정렬단계;상기 기능성 잉크의 용매에 용해되지 않는 성질의 고형분이 용해 또는 분산되는 충진용액을 상기 개구부로 주입하는 충진단계;상기 충진용액이 상기 기판과 상기 마스크 사이의 미세틈과, 상기 마스크와 상기 개구부의 경계면에 스며들고, 상기 마스크와 상기 개구부의 경계면에 잔존하는 상기 충진용액이 증발되어 상기 충진용액에 용해 또는 분산되어 있는 고형분에 의해 고체 필름이 형성되는 배리어 형성단계;상기 개구부로 기능성 잉크를 도포하는 잉크도포 단계;도포된 상기 기능성 잉크가 경화되어 미세패턴을 형성하도록 하는 경화단계;상기 기판으로부터 상기 마스크를 이탈시키는 마스크 제거단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법
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제1항에 있어서,상기 마스크 제거단계를 수행한 후 상기 기판에 잔존하는 고체 필름 배리어를 제거하는 배리어 제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 필름 배리어를 이용한 기판상의 미세패턴 형성방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 삼익THK(주) 신재생에너지기술개발사업 결정질 실리콘 태양전지용 잉크젯 전극형성 기술적용사업