| 1 |
1
x방향을 축 방향으로 배치되는 제1 롤러;상기 x방향에 일정각도 기울기를 갖는 y방향을 축 방향으로 하며, 상기 제1 롤러의 상기 x방향 및 y방향에 직교하는 z방향 타측에 배치되는 제2 롤러;상기 제1 롤러의 외면에 부착되는 제1 박막;상기 제2 롤러의 외면에 부착되는 제2 박막; 및상기 제1 박막과, 상기 제2 박막이 접촉되도록 상기 제1 롤러 또는 상기 제2 롤러를 z방향으로 회동시키는 제1 회동수단; 을 포함하되,상기 제1 박막과, 상기 제2 박막은 상기 제1 회동수단을 통해 점접촉된 상태에서 점착 특성을 시뮬레이션하며,상기 제1 박막과, 상기 제2 박막은 서로 상이한 소재로 이루어진, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 제1 박막은, 상기 제1 롤러 상에 상기 x방향을 따라 복수 개가 이격 배치되며, 상기 제2 박막은, 상기 제2 롤러 상에 상기 y방향을 따라 복수 개가 이격 배치되고,상기 시뮬레이션 장치는,상기 제1 롤러를 상기 y방향으로 회동시키는 제2 회동수단; 및상기 제2 롤러를 상기 x방향으로 회동시키는 제3 회동수단;을 포함하는, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서,상기 제1 박막은, 상기 제1 롤러 상에 원주 방향을 따라 복수 개가 이격 배치되며, 상기 제2 박막은, 상기 제2 롤러 상에 원주 방향을 따라 복수 개가 이격 배치되고,상기 시뮬레이션 장치는,상기 제1 롤러를 상기 x방향을 회전축으로 회전시키는 제1 회전수단; 및상기 제2 롤러를 상기 y방향을 회전축으로 회전시키는 제2 회전수단;을 포함하는, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치
|
| 4 |
4
제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 복수 개의 제1 박막 또는 상기 복수 개의 제2 박막은, 각각 서로 다른 소재로 이루어진, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치
|
| 5 |
5
제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 복수 개의 제1 박막 또는 상기 복수 개의 제2 박막은, 각각 서로 다른 두께로 이루어진, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,상기 시뮬레이션 장치는,상기 제1 박막과 상기 제2 박막이 접촉되는 접촉부의 z방향 일측에 일정거리 이격 배치되어 상기 접촉부를 관찰하는 광학계; 및상기 접촉부의 z방향 타측에 일정거리 이격 배치되어 상기 접촉부에 가해지는 하중을 측정하는 로드셀; 을 포함하며,상기 광학계, 접촉부 및 로드셀은 일직선상에 배치되는, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치
|
| 7 |
7
제 1항의 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치의 시뮬레이션 방법에 있어서,제1 롤러의 z 방향 타측에 제2 롤러를 배치하는 단계;상기 제1 롤러에 제1 박막을 부착하고, 상기 제2 롤러에 제2 박막을 부착하는 단계;상기 제1 롤러 또는 제2 롤러의 z 방향 회동에 의해 상기 제1 박막과 상기 제2 박막을 접촉시키는 단계;광학계와 로드셀을 통해 상기 제1 박막과 상기 제2 박막의 점착 특성을 측정하는 단계; 를 포함하되,상기 제1 박막과, 상기 제2 박막은 상기 z 방향 회동을 통해 점접촉된 상태에서 점착 특성을 시뮬레이션하며,상기 제1 박막과, 상기 제2 박막은 서로 상이한 소재로 이루어진, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 방법
|
| 8 |
8
제 7항에 있어서,상기 시뮬레이션 방법은,상기 제1 롤러 상에 원주 방향을 따라 복수 개의 제1 박막을 이격 배치시키는 단계;상기 제2 롤러 상에 원주 방향을 따라 복수 개의 제2 박막을 이격 배치시키는 단계;상기 제1 롤러를 상기 y방향으로 회동시킨 후 상기 제1 박막에 이웃하는 제1-1 박막과 제2 박막을 접촉시키는 단계; 및상기 제2 롤러를 상기 x방향으로 회동시킨 후 상기 제1 박막과 상기 제2 박막에 이웃하는 제2-1 박막을 접촉시키는 단계;를 포함하는, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 방법
|
| 9 |
9
제 7항에 있어서,상기 시뮬레이션 방법은,상기 제1 롤러 상에 상기 x방향을 따라 복수 개의 제1 박막을 이격 배치시키는 단계;상기 제2 롤러 상에 상기 y방향을 따라 복수 개의 제2 박막을 이격 배치시키는 단계;상기 제1 롤러를 상기 x방향을 회전축으로 회전시킨 후 상기 제1 박막에 이웃하는 제1-1 박막과 제2 박막을 접촉시키는 단계; 및상기 제2 롤러를 상기 y방향을 회전축으로 회전시킨 후 상기 제1 박막과 상기 제2 박막에 이웃하는 제2-1 박막을 접촉시키는 단계;를 포함하는, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 방법
|
| 10 |
10
제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 복수 개의 제1 박막 또는 상기 복수 개의 제2 박막은, 각각 서로 다른 소재로 이루어진, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 방법
|
| 11 |
11
제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 복수 개의 제1 박막 또는 상기 복수 개의 제2 박막은, 각각 서로 다른 두께로 이루어진, 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 방법
|
