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진공 척

  • 기술번호 : KST2015130714
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공 척에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 대상물을 강하게 흡착하면서도 흡착압력에 대한 변형을 최소화할 수 있는 진공 척을 제공하고자 한다. 본 발명의 주요 특징은, 진공포트를 포함하는 메인 챔버와, 상기 메인 챔버와 연통되는 적어도 하나 이상의 주변 챔버를 갖는 바디; 상기 바디와 결합된 채 상기 메인 챔버 및 주변 챔버와 연통되는 다수의 포러스를 갖는 흡착판으로 구성된 것이다.
Int. CL B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01) B23Q 3/06 (2006.01)
CPC H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01)
출원번호/일자 1020110050066 (2011.05.26)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1059434-0000 (2011.08.19)
공개번호/일자 10-2011-0080132 (2011.07.12) 문서열기
공고번호/일자 (20110825) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2009-0046414 (2009.05.27)
관련 출원번호 1020090046414
심사청구여부/일자 Y (2011.05.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이창우 대한민국 대전광역시 서구
2 이재학 대한민국 대전광역시 유성구
3 송준엽 대한민국 대전광역시 서구
4 하태호 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 최성숙 경기도 고양시 덕양구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0395217-25
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0422824-53
3 등록결정서
Decision to grant		 2011.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0454511-19
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공포트를 포함하는 바닥부와, 상기 바닥부의 가장자리를 따라 형성되는 테두리부와, 상기 진공포트의 주변을 따라 형성되는 소용돌이형의 격벽을 형성하여 격벽의 사이사이에 진공압이 통과하는 챔버를 갖는 바디;상기 바디와 결합된 채 상기 챔버와 연통되는 다수의 포러스를 갖는 흡착판; 및연결관에 의해 상기 진공포트와 연통되게 연결되는 진공발생장치를 포함하는 진공 척
2 2
제1항에 있어서,상기 흡착판은 구리 또는 세라믹 재질로 된 것을 특징으로 하는 진공 척
3 3
제1항에 있어서,상기 흡착판의 흡착면 상에 설치되는 다공형의 마찰판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 척
4 4
제3항에 있어서,상기 마찰판은 러버 또는 실리콘으로 된 것을 특징으로 하는 진공 척
5 5
제1항에 있어서,상기 진공포트 및 연결관 중 어느 한 곳에 설치되어, 진공발생장치의 가동중에는 개방되고 진공발생장치가 정지되었을 때는 차폐되는 체크밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 척
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020100128015 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 협동연구사업 차세대 반도체 MCP 핵심기술 개발(1/3)