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콜로이드 광결정막 제조장치 및 이를 이용한 콜로이드 광결정막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015130869
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 콜로이드 광결정막 제조장치 및 이를 이용한 콜로이드 광결정막 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 콜로이드 광결정막 제조장치는 상부가 개방된 하우징; 하우징 내에 배치되는 기판거치대; 및 기판거치대와 결합하여 상기 기판거치대의 높낮이를 조절하는 높이조절부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020120096184 (2012.08.31)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1399909-0000 (2014.05.21)
공개번호/일자 10-2014-0030512 (2014.03.12) 문서열기
공고번호/일자 (20140530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.31)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최대근 대한민국 대전 유성구
2 이수한 대한민국 대전 서구
3 김한중 대한민국 대전 서구
4 이지혜 대한민국 대전 유성구
5 정주연 대한민국 대전 유성구
6 최준혁 대한민국 대전 유성구
7 정준호 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0703934-70
2 보정요구서
Request for Amendment
2012.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0113617-77
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0735189-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0670202-96
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0894581-14
6 등록결정서
Decision to grant
2014.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0218851-51
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
상부가 개방된 하우징;상기 하우징 내에 배치되는 기판거치대; 및상기 기판거치대와 결합하여 상기 기판거치대의 높낮이를 조절하는 높이조절부를 포함하는 콜로이드 광결정막 제조장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 높이조절부와 연결되어 상기 하우징 외측부에 형성되는 높이제어부를 더 포함하고, 상기 높이제어부의 조작에 따라 상기 높이조절부가 작동하여 상기 기판거치대의 높낮이를 조절하는 콜로이드 광결정막 제조장치
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 기판거치대와 결합하여 상기 기판거치대의 기울기를 조절하는 기울기조절부를 더 포함하는 콜로이드 광결정막 제조장치
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 기울기조절부와 연결되어 상기 하우징 외측부에 형성되는 기울기제어부를 더 포함하고, 상기 기울기제어부의 조작에 따라 상기 기울기조절부가 작동하여 상기 기판거치대의 기울기를 조절하는 콜로이드 광결정막 제조장치
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 하우징에는 적어도 하나의 개폐가능한 배수구가 형성되는 콜로이드 광결정막 제조장치
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 하우징 하부에 형성되는 적어도 하나의 다리부를 더 포함하고, 상기 다리부는 높이조절이 가능하도록 형성되는 콜로이드 광결정막 제조장치
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 하우징은 투명한 재질로 형성되는 콜로이드 광결정막 제조장치
8 8
청구항 1에 따른 콜로이드 광결정막 제조장치를 이용하는 콜로이드 광결정막 제조방법에 있어서, 상기 기판거치대에 기판을 거치하고 상기 기판이 잠기도록 상기 하우징 내부에 액체를 채우는 1단계;상기 액체 계면에 콜로이드 광결정을 형성하는 2단계; 및 상기 기판거치대를 상승시켜 상기 콜로이드 광결정막을 상기 액체 계면으로부터 분리하는 3단계를 포함하는 콜로이드 광결정막 제조방법
9 9
청구항 3에 따른 콜로이드 광결정막 제조장치를 이용하는 콜로이드 광결정막 제조방법에 있어서,상기 기판거치대에 기판을 거치하고 상기 기판이 잠기도록 상기 하우징 내부에 액체를 채우는 1단계;상기 액체 계면에 콜로이드 광결정을 형성하는 2단계; 및 상기 기판거치대의 기울기를 조절하여 상기 콜로이드 광결정의 적어도 일부를 상기 액체 계면으로부터 분리하는 3단계를 포함하는 콜로이드 광결정막 제조방법
10 10
청구항 5에 따른 콜로이드 광결정막 제조장치를 이용하는 콜로이드 광결정막 제조방법에 있어서,상기 기판거치대에 기판을 거치하고 상기 기판이 잠기도록 상기 하우징 내부에 액체를 채우는 1단계;상기 액체 계면에 콜로이드 광결정을 형성하는 2단계; 및상기 배수구를 개방하여 상기 액체의 수위를 상기 기판의 높이보다 낮도록 낮추는 3단계를 포함하는 콜로이드 광결정막 제조방법
11 11
청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 상기 2단계는,나노입자를 분산매에 분산시켜 콜로이드를 제조하는 2-1단계; 및상기 콜로이드를 상기 액체 계면상에 배열하여 자기조립에 의해 콜로이드 광결정막을 형성하는 2-2단계를 포함하는 콜로이드 광결정막 제조방법
12 12
청구항 11에 있어서, 상기 나노입자는 나노크기의 고분자 입자, 반도체 입자, 금속입자 또는 금속산화물 입자이고,상기 고분자 입자는 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리알파메틸스티렌,폴리아크릴레이트, 폴리벤질메타크릴레이트, 폴리페닐메타크릴레이트, 폴리-1-메틸시클로헥실메타크릴레이트, 폴리시클로헥실메타크릴레이트, 폴리클로로벤질메타크릴레이트, 폴리-1-페닐에틸메타크릴레이트, 폴리-1,2-디페닐에틸메타크릴레이트, 폴리디페닐메틸메타크릴레이트, 폴리퍼퓨릴메타크릴레이트, 폴리-1-페닐시클로헥실메타크릴레이트, 폴리펜타클로로페닐메타크릴레이트, 폴리펜터브로모페닐메타크릴레이트, 폴리디메틸실록산 및 폴리-N-이소프로필아크릴아미드로 구성되는 군에서 1종 이상 선택되는 것이고,상기 반도체 입자는 Si, CdS, CdSe, GaAs 및 GaN으로 구성되는 군에서 1종 이상 선택되는 것이고,상기 금속 입자는 Ag, Au, Al, Pt, Pd 및 Ni로 구성되는 군에서 1종 이상 선택되는 것이고,상기 금속산화물 입자는 실리콘 옥사이드, 철 옥사이드, 티타늄 옥사이드, 징크 옥사이드, 세륨 옥사이드, 틴 옥사이드, 탈륨 옥사이드, 바륨 티타네이트, 알루미늄 옥사이드, 이트륨 옥사이드, 지르코늄 옥사이드 및 쿠퍼 옥사이드로 구성되는 군에서 1종 이상 선택되는 콜로이드 광결정막 제조방법
13 13
청구항 11에 있어서, 상기 분산매는 물, 메탄올, 에탄올, 아세톤, 톨루엔, 자이렌, 에틸렌글리콜, 글리세롤, 퍼플루오로데칼린, 퍼플루오르메틸데칼린, 퍼플루오르노난, 퍼플루오르이소산, 퍼플루오르시클로헥산, 퍼플루오르1,2-디메틸시클로헥산, 퍼플루오르2-메틸2-펜텐 및 퍼플루오르케로센으로 구성되는 군에서 선택되는 콜로이드 광결정막 제조방법
14 14
청구항 11에 있어서, 상기 2-2단계는 상기 콜로이드를 상기 액체 계면상에 배열한 후에 추가적으로 계면활성제 및 염기액 중 적어도 1 이상을 첨가하는 단계를 더 포함하는 콜로이드 광결정막 제조방법
15 15
청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 따른 콜로이드 광결정막 제조방법에 의해 제조되는 콜로이드 광결정막
16 16
청구항 15에 있어서, 상기 콜로이드 광결정막은 레이저, 센서, 압전센서, 액츄에이터, 크로마토그라피 분리막, 촉매 담지체, 광학집적회로, 광학필터, 액정배향막, 초친수막, 초발수막, 포토마스크, 반사방지막, 디스플레이 소자, 바이오센서, 또는 자성 메모리 소자에 적용되는 콜로이드 광결정막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 주요사업 나노/마이크로 복합구조 공정 및 응용 기술개발 (1/3)