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펄스파 레이저 박막 증착장치 및 이를 이용한혼성금속나노점배열 형성방법

  • 기술번호 : KST2015131207
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 펄스파 레이저 박막 증착장치가 제공된다.본 발명에 따른 펄스파 레이저 박막 증착장치는 박막형성의 대상이 되는 기판; 상기 기판상에 형성될 박막의 재료를 포함하는 타겟; 상기 타겟을 장착하는 타겟 홀더; 상기 기판, 상기 타겟 및 상기 타겟 홀더를 내부에 수용하는 진공 챔버; 및 상기 타겟의 물질을 기화시키는 레이저빔을 방출하는 광원을 포함하며, 상기 타겟의 표면에는 동일 평면에 다른 종류의 복수개의 금속층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 펄스파 레이저 박막장치는 타겟의 교체 없이 단일타겟으로 다양한 성분과 혼합비를 갖는 혼성금속박막형성을 가능하게 하며, 이를 이용한 혼성금속나노점배열 형성방법은 다양한 성분과 혼합비를 갖는 백나노미터 이하의 나노점배열을 형성할 수 있다는 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/24(2013.01) C23C 14/24(2013.01)
출원번호/일자 1020060130473 (2006.12.19)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0839222-0000 (2008.06.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.19)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성찬 대한민국 서울 동대문구
2 하정숙 대한민국 서울 노원구
3 박승민 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 현종철 대한민국 서울특별시 중구 다산로 **, *층 특허법인충현 (신당동, 두지빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0942308-06
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.03.22 수리 (Accepted) 4-1-2007-5043540-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.08.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.09.17 수리 (Accepted) 9-1-2007-0056963-86
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0032452-33
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0206297-97
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.03.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0206307-66
9 등록결정서
Decision to grant
2008.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0280101-28
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
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번호 청구항
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나노점 배열 패턴이 형성된 블록공중합체 템플레이트인 기판;상기 기판상에 형성될 박막의 재료를 포함하는 타겟;상기 타겟을 장착하는 타겟 홀더;상기 기판, 상기 타겟 및 상기 타겟 홀더를 내부에 수용하는 진공 챔버; 및상기 타겟의 물질을 기화시키는 레이저빔을 방출하는 광원을 포함하며,상기 타겟의 표면에는 동일 평면에 다른 종류의 복수개의 금속층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펄스파 레이저 박막 증착장치
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(a) 패턴화를 요하는 기판의 표면에 블록공중합체를 자기조립시키는 단계;(b) 상기 블록공중합체중 서로 다른 블록들간의 식각에 대한 선택성을 이용하여 하나의 블록을 제거하여 나노점배열 패턴을 형성하는 단계;(c) 제 7항의 복수 개의 금속층이 표면에 형성된 타겟을 포함하는 펄스파 레이저 박막증착 장치로 혼성금속 나노점을 증착하는 단계; 및(d) 상기 제거되지 않은 블록을 제거하는 단계를 포함하는 혼성금속나노점배열 형성방법
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제 8항에 있어서, 상기 (a)단계에서 블록공중합체는 실린더형인 것을 특징으로 하는 혼성금속나노점배열 형성방법
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제 8항에 있어서, 상기 (a)단계는(a1) 상기 패턴화를 요하는 기판의 표면에 랜덤 공중합체층을 형성하는 단계;(a2) 상기 랜덤 공중합체층이 형성된 기판을 진공상태에서 열처리한 후 세척하는 단계;(a3) 상기 랜덤 공중합체층 표면에 블록 공중합체층을 형성하는 단계; 및(a4) 진공상태에서 열처리하여 상기 블록 공중합체를 각 블록으로 상분리시키는 단계를 거치는 것을 특징으로 하는 혼성금속나노점배열 형성방법
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제 8항에 있어서, 상기 블록공중합체중 하나의 블록이 아크릴레이트류 또는 주쇄에 이중결합을 갖는 고분자인 것을 특징으로 하는 혼성금속나노점배열 형성방법
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제 11항에 있어서, 상기 고분자는 폴리스티렌-폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리스티렌-폴리부틸메타아크릴레이트, 폴리스티렌-폴리소디움메타아크릴레이트, 폴리에틸렌옥사이드-폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리바이닐피리딘-폴리메틸메타아크릴레이트 또는 폴리스티렌-폴리부타디엔인 것을 특징으로 하는 혼성금속나노점배열 형성방법
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제 8항에 있어서, 상기 (b)단계의 블록을 제거하는 방법은 UV조사법 또는 오존을 이용한 이중결합을 가진 고분자의 에칭법인 것을 특징으로 하는 혼성금속나노점배열 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.