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태양전지 제조 장치 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015132988
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판의 일면 상에 반사 방지 그루브를 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 파우더를 포함하는 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 파우더 에어로졸을 공급하는 파우더 공급부를 구비하는 파우더 공급 유니트;를 구비하는 태양전지 제조 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/042 (2014.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020110060846 (2011.06.22)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1242299-0000 (2013.03.05)
공개번호/일자 10-2013-0000256 (2013.01.02) 문서열기
공고번호/일자 (20130318) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.22)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이민욱 대한민국 서울특별시 성북구
2 박정재 대한민국 서울특별시 성북구
3 김도연 대한민국 서울특별시 영등포구
4 윤석구 미국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍동우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, * 층 (역삼동, 혜천빌딩)(지혜안국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0476456-53
2 보정요구서
Request for Amendment		 2011.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0059283-29
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0552928-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0455827-33
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.10.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0809072-81
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0809082-37
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0101382-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판의 일면 상에 반사 방지 그루브를 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 파우더를 포함하는 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 파우더 에어로졸을 공급하는 파우더 공급부를 구비하는 파우더 공급 유니트;를 구비하고, 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 전압을 인가하는 전압 공급부; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되어 상기 노즐로부터 토출되는 파우더 에어로졸을 검측하는 에어로졸 분석기; 및 상기 에어로졸 분석기로부터의 신호 및 저장부에 사전 설정되어 저장되는 피닝 사전 저장 데이터에 기초하여, 상기 파우더 공급부에 파우더 에어로졸 공급 제어 신호를 그리고 상기 전압 공급부에 전압 공급 제어 신호를 인가하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 파우더는 무기물 파우더를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 파우더는 수용성 파우더를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 반사 방지 그루브는 태양전지 기판의 광흡수층에 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 반사 방지 그루브는 태양전지 기판의 반사 방지막에 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 장치
7 7
제 1항에 있어서,상기 반사 방지 그루브는 태양전지 기판의 투명 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 장치
8 8
챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판의 일면 상에 반사 방지 그루브를 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 파우더를 포함하는 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 파우더 에어로졸을 공급하는 파우더 공급부를 구비하는 파우더 공급 유니트;를 구비하는 태양전지 제조 장치를 제공하는 제공 단계와,상기 파우더가 상기 태양전지 기판에 반사 방지 그루브를 형성하기 위한 작동 모드를 선택하는 모드 설정 단계와,상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되는 에어로졸 분석기가 상기 노즐로부터 토출되는 상기 파우더 에어로졸의 유동 상태를 검측하는 모드 감지 단계와,상기 에어로졸 분석기로부터의 신호 및 저장부에 사전 설정되어 저장되는 피닝 사전 저장 데이터에 기초하여 제어부가 상기 파우더 에어로졸의 유동을 제어하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 모드 설정 단계는:지르코니아를 포함하는 무기물 파우더 그룹 및 NaCl를 포함하는 수용성 파우더 그룹 중에서 해당 파우더가 설정되는 파우더 설정 단계와,태양전지 기판의 광흡수층, 반사 방지막 및 투명 기판 중 하나 이상을 선택하는 그루브 기판 설정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.