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저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015133895
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 관한 것으로, 화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있고, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 제공한다.
Int. CL C23C 4/12 (2006.01) C23C 4/04 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130002613 (2013.01.09)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1518545-0000 (2015.04.30)
공개번호/일자 10-2014-0090488 (2014.07.17) 문서열기
공고번호/일자 (20150507) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박정재 대한민국 서울 강북구
2 윤석구 미국 서울 강남구
3 김도연 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍동우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, * 층 (역삼동, 혜천빌딩)(지혜안국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2013-0024220-31
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0443788-94
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0816006-11
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0925800-81
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1030265-39
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1152804-77
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2014.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0213483-37
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1272981-10
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1272980-75
12 등록결정서
Decision to grant
2015.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0282614-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판을 향해 작동 가스를 초음속 상태로 분사하는 초음속 분사 노즐; 상기 초음속 분사 노즐에 공급되는 작동 가스를 가열하는 히팅부; 및 그래핀 입자와 휘발성 액체가 혼합된 상태의 혼합 용액이 저장되고, 상기 혼합 용액이 상기 초음속 분사 노즐을 통해 상기 작동 가스와 함께 분사되도록 상기 초음속 분사 노즐에 연결되는 용액 공급부를 포함하고, 상기 혼합 용액은 상기 그래핀 입자가 함유된 미립자 액적 상태로 상기 초음속 분사 노즐을 통해 분사되고, 분사되는 과정에서 상기 휘발성 액체가 증발되어 상기 그래핀 입자가 상기 기판에 증착 코팅되고,상기 초음속 분사 노즐은, 상기 작동 가스가 유동하도록 내부 공간에 가스 유로가 형성되는 노즐 하우징; 및 상기 노즐 하우징에 형성된 가스 유로의 중단부에 직각 방향으로 연통되도록 상기 노즐 하우징에 형성되는 용액 주입구를 포함하고, 상기 용액 공급부는 상기 가스 유로 내부로 상기 혼합 용액이 공급되도록 상기 용액 주입구에 연통되게 결합되고,상기 가스 유로는 양단에 유입구 및 배출구가 형성되고, 중단부에는 유동 단면적이 감소하는 교축부가 형성되며, 상기 교축부로부터 상기 배출구로 향하는 구간에는 상기 배출구로 갈수록 유동 단면적이 증가하는 방향으로 경사지도록 경사면이 형성되고, 상기 용액 주입구는 상기 경사면에 형성되고,상기 용액 주입구는 상기 경사면에 상기 작동 가스의 유동 방향에 대한 직각 방향으로 길게 형성되고,상기 히팅부가 상기 작동 가스를 가열시켜 상기 혼합 용액을 미립자 액적 상태로 유도하고 상기 휘발성 액체의 증발을 가속화시키고, 상기 그래핀 입자가 상기 기판에 증착 형성되는 과정에서 상기 기판이 안착되어 상기 기판을 가열하는 가열판이 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 가스 유로에 연통되는 상기 용액 주입구의 단면 형상은 상기 작동 가스의 유동 방향에 대한 직각 방향으로 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치
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삭제
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삭제
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삭제
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제 1 항 또는 제 3항에 있어서,상기 초음속 분사 노즐은 스틸, 스테인리스 스틸 및 텅스텐 카바이드 중 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치
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삭제
9 9
제 1 항에 있어서,상기 가열판은 일면에 상기 기판이 안착될 수 있도록 형성되어 열전도 방식으로 상기 기판을 가열하는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기판에 증착 코팅된 그래핀층에 레이저빔을 조사할 수 있도록 레이저 조사기가 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
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1 WO2014109542 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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