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진공 기체 헬륨 주입기 및 이를 이용한 반도체 소자 저온측정 프루브 제어 장치

  • 기술번호 : KST2015133996
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공 기체 헬륨 주입기 및 이를 이용한 반도체 소자 저온 측정 프루브 제어 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소량의 헬륨 기체를 정확하게 계량하여 프루브 내부로 주입할 수 있고, 액체 헬륨의 소모를 최소화 하면서 간단하게 헬륨 듀어 내부의 온도를 측정하고 자동으로 프루브의 높낮이를 조절하여 원하는 온도조건에서 보다 편리하게 반도체 소자의 저온 특성 및 온도 변화에 따른 특성 변화를 측정할 수 있는 진공 기체 헬륨 주입기 및 이를 이용한 반도체 소자 저온 측정 프루브 제어 장치에 관한 것이다. 헬륨, 주입기, 프루브, 반도체 소자, 저온
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 21/54(2013.01) H01L 21/54(2013.01) H01L 21/54(2013.01) H01L 21/54(2013.01)
출원번호/일자 1020070089578 (2007.09.04)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0907628-0000 (2009.07.07)
공개번호/일자 10-2009-0024517 (2009.03.09) 문서열기
공고번호/일자 (20090715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.09.04)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황성우 대한민국 서울 성북구
2 홍병학 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2007-0643517-96
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
3 선행기술조사의뢰서(내부)
Request for Prior Art Search (Inside)
2008.06.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2008-0019295-89
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0045809-78
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2009-0194530-49
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0194529-03
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
9 등록결정서
Decision to grant
2009.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0279024-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기체 헬륨이 투입되는 헬륨 제공 부재(110)와; 상기 헬륨제공부재(110)와 연결어 주입되는 헬륨의 양을 조절하는 피스톤 부재(120)와; 상기 피스톤 부재(120)가 삽입되도록 연결되어 헬륨을 프루브 내부로 주입하는 헬륨 주입 부재(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체 헬륨 주입기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 피스톤 부재(120)는 상기 헬륨 제공 부재와 결합되는 제 1 연결부(121)와; 상기 제 1 연결부와 결합되어 헬륨의 이동 통로가 되는 헬륨 이동부(122)와; 상기 헬륨 이동부와 연결되고 기체를 한쪽 방향으로만 통과시키는 제 1 단방향 밸브(123)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체 헬륨 주입기
3 3
제 2항에 있어서, 상기 헬륨 주입부재(130)는 일단에서 상기 피스톤부재(120)가 삽입 결합되어 헬륨이 저장 및 공급되는 헬륨 공급부(131)와; 타단에서 상기 헬륨 공급부(131)와 프루브가 연결되는 제 2 연결부(132)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체 헬륨 주입기
4 4
제 3항에 있어서, 상기 제 2 연결부(132)는, 상기 헬륨공급부(130)과 연통되는 내부공간을 구비하며, 상기 내부공간과 제2단방향밸브의 한쪽 말단이 연통되도록 연결되며 다른쪽 말단은 제2단방향밸브(133)로 형성되며, 상기 제2단방향 밸브(133)는 상기 헬륨 공급부(131) 내부의 기체를 외부의 한방향으로 배출하는 것을 특징으로 하는 기체 헬륨 주입기
5 5
제 4항에 있어서, 상기 제 1 및 2 단방향 밸브는 밸브 마개에 용수철이 장착되어 한쪽 방향으로만 기체를 통과시키는 것을 특징으로 하는 기체 헬륨 주입기
6 6
제 3항에 있어서, 상기 헬륨 공급부는 표면에 헬륨의 정확한 주입량 제어를 위한 눈금이 형성된 것을 특징으로 하는 기체 헬륨 주입기
7 7
상기의 청구항 1 내지 7 중 어느 한항에 기술된 기체헬륨주입기를 포함하여 형성되며, 헬륨 듀어 내부에 삽입되는 반도체 소자 저온 측정 프루브와; 상기 프루브 상단에 형성되어 상기 프루브를 상하로 이동시키는 제 1 구동모터와; 상기 프루브 측면에 형성되어 상기 프루브의 상하 이동을 위한 풀림과 고정을 위한 조임을 조절하기 위해 좌우로 이동시키는 제 2 구동 모터와; 프루브의 하부에 형성되어 온도를 측정하는 온도 측정 수단 및; 상기 제 1 구동 모터와 제 2 구동 모터를 제어하여 온도에 따라 상기 프루브의 위치를 자동 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 저온 측정 프루브 제어 장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 제어부는 원하는 조건의 온도(TS)와 허용 오차(Er)를 설정하는 온도 설정 모듈과; 상기 온도 측정 수단에 의해 측정된 온도(T)가 상기 온도설정모듈에서 설정된 설정범위(TS-Er 003c# T 003c# TS + Er)에 해당하는지 여부를 판단하는 온도 판단 모듈과; 상기 측정된 온도(T)가 설정범위보다 높은 경우(TS + Er 003c# T) 상기 프루브가 하부로 이동하도록 상기 제 1 구동모터를 제어하고, 상기 측정된 온도(T)가 설정범위보다 낮은 경우(TS + Er 003e# T) 상기 프루브가 상부로 이동하도록 상기 제 1 구동모터를 제어하는 구동모터 드라이버을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 저온 측정 프루브 제어 장치
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.