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공초점 현미경

  • 기술번호 : KST2015134492
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공초점 현미경을 제공하기 위한 것으로, 핀홀 구멍(16)이 형성된 핀홀(17)과; 상기 핀홀(17)의 핀홀 구멍(16)에 z-축으로 진행하는 광을 집속하는 렌즈(14)와; 상기 핀홀(17)의 위치를 주파수로 변조시키는 피에조 세라믹(18)과; 상기 렌즈(14)에 의해 상기 핀홀(17)을 통과한 광원 빔을 평행 시준하는 렌즈(19)와; 상기 평행 시준하는 렌즈(19)에서 광을 검출하는 고속 광 검출기(20)와; 상기 고속 광 검출기(20)의 신호를 전달받아 상기 핀홀(17)을 투과하는 광의 세기의 1차 미분 함수 검출을 위하여 위상 민감 검출을 수행하는 록인 증폭기(22);를 포함하여 구성함으로서, 광을 이용하여 생체(투과형) 및 나노구조체(반사형) 3차원 형상을 검출할 수 있게 되는 것이다. 공초점, 현미경, 형상측정기, 생체투과, 나노구조
Int. CL B82Y 20/00 (2011.01) G02B 21/00 (2011.01) G02B 21/36 (2011.01) G02B 21/18 (2011.01)
CPC G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01)
출원번호/일자 1020080092014 (2008.09.19)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1004800-0000 (2010.12.22)
공개번호/일자 10-2010-0033047 (2010.03.29) 문서열기
공고번호/일자 (20110104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.19)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤태현 대한민국 서울 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0659481-94
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0052723-11
5 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0764769-13
6 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0764767-11
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0764774-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0433196-47
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.11.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0733377-16
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0733369-51
12 등록결정서
Decision to grant		 2010.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0574829-68
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
핀홀 구멍(16)이 형성된 핀홀(17)과; 상기 핀홀(17)의 핀홀 구멍(16)에 z-축으로 진행하는 광을 집속하는 렌즈(14)와; 상기 핀홀(17)의 위치를 주파수로 변조시키는 피에조 세라믹(18)과; 상기 렌즈(14)에 의해 상기 핀홀(17)을 통과한 광원 빔을 평행 시준하는 렌즈(19)와; 상기 평행 시준하는 렌즈(19)에서 광을 검출하는 고속 광 검출기(20)와; 상기 고속 광 검출기(20)의 신호를 전달받아 상기 핀홀(17)을 투과하는 광의 세기의 거리 z에 대한 1차 미분 함수의 검출을 위하여 위상 민감 검출을 수행하는 록인 증폭기(22); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 검출기(20)와 상기 록인 검출기(22) 사이에 연결되어 고속 저노이즈의 전류-전압 변환을 수행하는 고속 저노이즈 전류-전압 변환 전치 증폭기(21)와; 주파수와 기준전압을 가진 사인파를 발생시키는 사인파 발생기(24)와; 상기 사인파 발생기(24)에서 발생된 신호의 위상을 조절하여 상기 록인 증폭기(22)로 전달하는 위상 조절기(23)와; 상기 사인파 발생기(24)와 연결되고 교류 통과용 전기용량을 갖는 컨덴서(25)와; 상기 컨덴서(25)를 통과한 신호를 고전압 증폭시켜 상기 피에조 세라믹(18)으로 전달하는 고전압 증폭기(26); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 레이저 또는 백색광 광원(1)과 연결되는 시준 렌즈(2)와; 상기 시준 렌즈(2)와 연결되어 환형 광원 빔을 만드는 아펙스 렌즈(3)와; 상기 아펙스 렌즈(3)와 연결되어 빔분할을 수행하는 빔분할기(4)와; 상기 빔분할기(4)와 연결된 사분의일 파장판(5)과; 상기 사분의일 파장판(5)을 통과하여 선형 또는 원형으로 편광되어 샘플에서 입사된 광원빔과 샘플에서 반사된 광원빔을 샘플로 조사하기 위해 광원빔의 방향을 z-축에 수직한 x-y축 양방향으로 조절하여 대물렌즈(9)로 전달되도록 광원빔의 방향을 조정하는 빔 방향 조정 거울(7); 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 록인 증폭기(22)의 결과를 전달받고, 부궤환을 위한 서보 증폭기(27)와; 상기 서보 증폭기(27)의 출력을 고전압 증폭시키는 고전압 증폭기(28)와; 상기 고전압 증폭기(28)에서 고전압 증폭된 신호를 전달받고 대물렌즈(9)의 이동을 조절하는 피에조 세라믹(8); 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
5 5
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 록인 증폭기(22)의 결과를 전달받아 저역통과 적분을 수행하는 저역통과 적분기(29)와; 상기 저역통과 적분기(29)의 출력을 입력받아 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환시키고 컴퓨터와의 인터페이스를 수행하는 디지털 신호 변환기 및 컴퓨터 인터페이스(30)와; 상기 디지털 신호 변환기 및 컴퓨터 인터페이스(30)의 신호를 전달받아 x-y 스캔 신호에 따른 3차원 영상 신호처리를 수행하는 3차원 영상 신호처리용 프로그램 및 컴퓨터(31); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
6 6
광 주파수 를 갖고 편광이 수직인 주파수 안정화 2모드 헬륨-네온 레이저 광원(32)의 광을 전달받아 환형 광원 빔을 만드는 원형 빔 어퍼춰(37)와; 핀홀 구멍(55)이 형성된 핀홀(56)과; 상기 원형 어퍼춰(37)를 통과한 광을 전달받고, 상기 핀홀(56)의 핀홀 구멍(55)에 z-축으로 진행하는 광을 집속하는 렌즈(53)와; 상기 핀홀(56)의 위치를 주파수로 변조시키는 피에조 세라믹(57)과; 상기 렌즈(53)에 의해 상기 핀홀(56)을 통과한 광원 빔을 평행 시준하는 렌즈(58)와; 상기 평행 시준하는 렌즈(58)에서 광을 검출하는 고속 광 검출기(59)와; 상기 고속 광 검출기(59)의 신호를 전달받아 상기 핀홀(56)을 투과하는 광의 세기의 1차 미분 함수 검출을 위하여 위상 민감 검출을 수행하는 록인 증폭기(61); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 검출기(59)와 상기 록인 검출기(61) 사이에 연결되어 고속 저노이즈의 전류-전압 변환을 수행하는 고속 저노이즈 전류-전압 변환 전치 증폭기(60)와; 주파수와 기준전압을 가진 사인파를 발생시키는 사인파 발생기(63)와; 상기 사인파 발생기(63)에서 발생된 신호의 위상을 조절하여 상기 록인 증폭기(61)로 전달하는 위상 조절기(62)와; 상기 사인파 발생기(63)와 연결되고 교류 통과용 전기용량을 갖는 컨덴서(64)와; 상기 컨덴서(64)를 통과한 신호를 고전압 증폭시켜 상기 피에조 세라믹(57)으로 전달하는 고전압 증폭기(65); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
8 8
청구항 6에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 광 주파수 를 갖고 편광이 수직인 주파수 안정화 2모드 헬륨-네온 레이저 광원(32)과 연결되는 시준 렌즈(33)와; 상기 시준 렌즈(33)와 연결되고 집광 렌즈(35)와 연결되어 빔 분할을 수행하여 상기 원형 빔 어퍼춰(37)로 전달하는 빔 분할기(34)와; 상기 원형 빔 어퍼춰(37)와 연결되어 편광 빔분할을 수행하는 편광 빔분할기(38)와; 상기 편광 빔분할기(38)와 연결된 사분의일 파장판(39)과; 상기 편광 빔분할기(38)와 연결된 전반사 거울(40)과; 상기 빔 분할기(34)에서 상기 집광 렌즈(35)로 전달된 빔에서 기준 맥놀이 주파수를 측정하는 기준 맥놀이 주파수 측정 고속 광검출기(36)와; 상기 편광 빔분할기(38)와 연결되어 빔을 분할하는 빔 분할기(51)와 상기 빔 분할기(51)의 광을 집속렌즈(50)에 의해 집속시켜 도플러 편이가 특정값으로 된 맥놀이 주파수를 측정하는 맥놀이 주파수 측정 고속 광검출기(49)와; 상기 기준 맥놀이 주파수 측정 고속 광검출기(36)에서 측정된 기준 맥놀이 주파수를 전달받고 상기 맥놀이 주파수 측정 고속 광검출기(35)에서 측정값을 전달받아 헤테로다인 변위 및 속도를 측정하는 모듈(48)과; 상기 편광 빔분할기(38)의 광을 전달받고, 선형 또는 원형으로 편광되어 샘플에서 입사된 광원빔과 샘플에서 반사된 광원빔을 샘플로 조사하기 위해 광원빔의 방향을 z-축에 수직한 x-y축 양방향으로 조절하여 대물렌즈(44)로 전달되도록 광원빔의 방향을 조정하는 빔 방향 조정 거울(42); 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
9 9
청구항 6에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 록인 증폭기(61)의 결과를 전달받고, 부궤환을 위한 서보 증폭기(67)와; 상기 서보 증폭기(67)의 출력을 고전압 증폭시키는 고전압 증폭기(66)와; 상기 고전압 증폭기(66)에서 고전압 증폭된 신호를 전달받고 대물렌즈(44)의 이동을 조절하는 피에조 세라믹(43); 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
10 10
청구항 6 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 록인 증폭기(61)의 결과를 전달받아 저역통과 적분을 수행하는 저역통과 적분기(68)와; 상기 저역통과 적분기(68)의 출력을 입력받아 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환시키고 컴퓨터와의 인터페이스를 수행하는 디지털 신호 변환기 및 컴퓨터 인터페이스(69)와; 상기 디지털 신호 변환기 및 컴퓨터 인터페이스(69)의 신호를 전달받아 x-y 스캔 신호에 따른 3차원 영상 신호처리를 수행하는 3차원 영상 신호처리용 프로그램 및 컴퓨터(70); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
11 11
초연속 스펙트럼을 갖는 반도체 레이저(71)를 광원으로 사용하는 투과형 회절격자(77)와; 상기 투과형 회절격자(77)에서 회절된 광이 대물렌즈(87)를 통과한 빔을 전달받는 선형 핀홀(89)과; 상기 선형 핀홀(89)의 위치를 주파수로 변조시키는 피에조 세라믹(90)과; 상기 선형 핀홀(89)을 통과한 광원 빔을 집속하는 집속렌즈(91)와; 상기 집속렌즈(91)에 의해 집속된 광원이 스펙트럼에 따라 선형 집속되도록 하는 선스캔 영상 카메라(93)와; 상기 선스캔 영상 카메라(93)의 신호를 전달받아 상기 선형 핀홀(89)의 광의 세기의 1차 미분 함수 검출을 위하여 위상 민감 검출을 수행하는 록인 증폭기(94); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
12 12
청구항 11에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 선스캔 영상 카메라(93)와 신호를 전달받고 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환시키는 디지털 신호 변환기 및 컴퓨터 인터페이스(102)와; 주파수와 기준전압을 가진 사인파를 발생시키는 사인파 발생기(96)와; 상기 사인파 발생기(96)에서 발생된 신호의 위상을 조절하여 상기 록인 증폭기(94)로 전달하는 위상 조절기(95)와; 상기 사인파 발생기(96)와 연결되고 교류 통과용 전기용량을 갖는 컨덴서(97)와; 상기 컨덴서(97)를 통과한 신호를 고전압 증폭시켜 상기 피에조 세라믹(90)으로 전달하는 고전압 증폭기(98); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
13 13
청구항 11에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 레이저광원 또는 온도조절기 또는 전류조절기(71)와 연결되는 광섬유 및 광섬유 홀더(72)와; 상기 광섬유 및 광섬유 홀더(72)와 연결되는 시준 렌즈(73)와; 상기 시준 렌즈(73)와 연결되어 광대역 편광 빔분할을 수행하는 광대역 편광 빔분할기(74)와; 상기 광대역 편광 빔분할기(74)와 연결된 광대역 사분의일 파장판(75)과; 상기 광대역 사분의일 파장판(75)과 연결된 투과형 회절격자(77)와; 상기 투과형 회절격자(77)와 연결된 대물렌즈(78)와; 상기 대물렌즈(78)를 통과한 레이저 빔(79)을 선형으로 집속하여 전압조절에 의해 x-y 평면에서 나노미터분해를 수행하는 x-y 나노 및 선형스테이지(80)와; 상기 광대역 편광 빔분할기(74)와 연결된 스펙트럼 휠터(83)와; 상기 스펙트럼 휠터(83)를 조절하는 스펙트럼 휠터 조절기(84)와; 상기 스펙트럼 휠터(83)의 빔을 상기 투과형 회절격자(86)로 전달하는 반사거울(85); 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
14 14
청구항 11 내지 청구항 13 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 공초점 현미경은, 상기 선스캔 영상 카메라(93)의 신호를 전달받아 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환시키고 컴퓨터 인터페이스를 수행하는 디지털 신호 변환기 및 컴퓨터 인터페이스(69)와; 상기 디지털 신호 변환기 및 컴퓨터 인터페이스(69)와 연결되어 부궤환을 위한 비례 적분을 수행하는 비례 적분 서보 컨트롤러(100)와; 상기 비례 적분 서보 컨트롤러(100)의 신호를 증폭시키는 고전압 증폭기(99)와; 상기 고전압 증폭기(99)의 신호를 전달받고, 상기 대물렌즈(87)를 제어하는 전압조절 피에조 세라믹(88); 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.