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(a) 구형 템플레이트 표면에 제1 금속성 물질을 제1 금속 코팅하여 금속성 마이크로 쉘을 제조하는 단계, (b) 모세관의 내벽에 전도성 물질을 전도성 코팅하여 전도성 모세관을 제조하는 단계, (c) 상기 전도성 모세관의 한 끝단에 상기 금속성 마이크로 쉘을 트랩하는 단계, (d) 상기 금속성 마이크로 쉘이 트랩된 전도성 모세관 내벽에 제2 금속성 물질을 제2 금속 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 템플레이트는 폴리스티렌, 폴리(메틸 메타크릴레이트), 실리카, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되고; 상기 제1 금속성 물질은 Au, Ag, Pt, Pd, Cu, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되며; 상기 전도성 물질은 Ru, Pt, Cu, Co, Ni, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되고; 상기 제2 금속성 물질은 상기 제1 금속성 물질과 동일하거나 상이할 수도 있고 Au, Ag, Pt,Pd, Cu, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속성 마이크로 쉘의 직경은 1-3 ㎛이고; 상기 모세관의 상기 한 끝단의 직경은 상기 금속성 마이크로 쉘 직경의 50-99% 크기인 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a)단계는 (i) 포타슘 테트라클로로아우레이트 하이드레이트, 소듐 테트라클로로아우레이트 하이드레이트, 클로로아우르산, 하이드로젠 헥사클로로플라티네이트(IV) 하이드레이트, 실버 나이트레이트, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택된 상기 제1 금속성 물질의 전구체 및 (ii) 포름알데하이드, 아스코르브산, 하이드로퀴논, 암모늄 하이드록사이드, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택된 제1 환원제를 사용하여 무전해 도금법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 (a)단계는 상기 금속성 마이크로 쉘에 SERS 활성 및 라만 효과가 발현될 수 있도록 무전해 도금법으로 2-20회 반복해서 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (b)단계는 비스(에틸시클로펜타디에닐)류테늄, 상기 전도성 물질의 할라이드 화합물, 또는 상기 전도성 물질의 알킬 또는 알콕사이드 화합물, 또는 시클로펜타디에닐 복합체나 알킬 또는 실릴아미드와 같은 유기금속 화합물, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택된 전구체를 이용하여 250-350 ℃의 온도 및 1-5 Torr의 압력 하에서 원자층 증착법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (c)단계는 상기 모세관에 음압을 적용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 (c)단계는 포타슘 테트라클로로아우레이트 하이드레이트, 소듐 테트라클로로아우레이트 하이드레이트, 클로로아우르산(chloroauric acid), 하이드로젠 헥사클로로플라티네이트(IV) 하이드레이트, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택된 제2 금속성 물질의 전구체 용액 내에서 수행되고, 그 과정에 상기 제2 금속성 물질의 전구체 용액 중 일부가 상기 모세관 내로 빨려 들어가도록 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (d)단계는 (i) 포타슘 테트라클로로아우레이트 하이드레이트, 소듐 테트라클로로아우레이트 하이드레이트, 클로로아우르산, 하이드로젠 헥사클로로플라티네이트(IV) 하이드레이트, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택된 제2 금속성 물질의 전구체 및 (ii) 포타슘 페로시아나이드(K4[Fe(CN)6]), 루테늄(II) 헥사아민 클로라이드, 이리듐(III) 클로라이드, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택된 제2 환원제를 사용하여 무전해 도금법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 (d)단계는 상기 제2 환원제 용액 내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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제7항 또는 제9항에 있어서, 상기 (c)단계와 상기 (d)단계 사이에, (c-1) 상기 제1 금속성 물질의 전구체 용액을 희석하는 단계, 및 (c-2) 상기 희석된 제1 금속성 물질의 전구체 용액에 제2 환원제 또는 이의 용액을 첨가하는 단계를 추가로 포함하고;상기 (c)단계, (c-1)단계, (c-2)단계, (d)단계는 모두 상기 모세관이 용액 내에 위치시킨 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 제조방법
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(i) 모세관, 및 (ii) 상기 모세관의 한 끝단에 부착되어 있는 금속성 마이크로 쉘을 포함하는 탐침으로서;상기 모세관의 내벽에는 전도성 물질이 코팅되어 있고; 상기 금속성 마이크로 쉘은 구형 템플레이트의 표면에 제1 금속성 물질이 코팅되어 있으며;상기 금속성 마이크로 쉘이 부착되어 있는 상기 모세관 끝단의 내부 영역에 노출되어 있는 상기 금속성 마이크로 쉘의 제1 금속성 물질층 위에 제2 금속성 물질이 코팅되어 있으며;상기 전도성 물질과 제1 금속성 물질은 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 탐침
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제12항에 있어서, 상기 템플레이트는 폴리스티렌, 폴리(메틸 메타크릴레이트), 실리카, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되고; 상기 제1 금속성 물질은 Au, Ag, Pt, Pd, Cu, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되며; 상기 전도성 물질은 Ru, Pt, Cu, Co, Ni, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되고; 상기 제2 금속성 물질은 Au, Ag, Pt, Pd, Cu, 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 탐침
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제12항에 있어서, 상기 금속성 마이크로 쉘의 직경은 1-3 ㎛이고;상기 모세관의 상기 한 끝단의 직경은 상기 금속성 마이크로 쉘 직경의 50-99% 크기인 것을 특징으로 하는 탐침
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제12항에 있어서, 상기 금속성 마이크로 쉘에 SERS 활성 및 라만 효과가 발현될 수 있도록 상기 제1 금속성 물질이 상기 구형 템플레이트 상에 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 탐침
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제13항에 있어서, 상기 제1 금속성 물질은 상기 금속성 마이크로 쉘에 SERS 활성 및 라만 효과가 발현될 수 있도록 무전해 도금법으로 2-10회 반복해서 수행함으로써 상기 구형 템플레이트 상에 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 탐침
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(i) 내부에 전도성 물질이 포함되어 있는 모세관,(ii) 구형 템플레이트 표면에 제1 금속성 물질이 코팅되어 있는 구조를 가지고 상기 모세관의 한 끝단에 부착되어 있는 금속성 마이크로 쉘,(iii) 상기 모세관과 상기 금속성 마이크로 쉘 사이에 위치하는 제2 금속성 물질을 포함하는 탐침으로서;상기 전도성 물질과 제1 금속성 물질은 상기 제2 금속성 물질을 통하여 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 탐침
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제17항에 있어서, 상기 내부에 전도성 물질이 포함되어 있는 모세관은 금속 와이어가 포함된 유리관을 연신하여 제조되는 것을 특징으로 하는 탐침
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(a) 구형 템플레이트 표면에 제1 금속성 물질을 제1 금속 코팅하여 금속성 마이크로 쉘을 제조하는 단계,(b) 내부에 전도성 물질이 포함되어 있는 모세관을 제조하는 단계,(c) 상기 모세관의 한 끝단에 제2 금속성 물질을 바르는 단계,(d) 상기 제2 금속성 물질에 상기 금속성 마이크로 쉘을 부착하는 단계를 포함하는 탐침 제조방법
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