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유연한 물질로 이루어지는 기판; 및 상기 기판상에 위치하는 하나 이상의 미세 전극을 포함하되,상기 기판은, 상기 기판의 일 부분에 위치하는 패턴을 포함하며, 3차원 곡면을 따라 밀착되도록 변형 가능하고,상기 패턴은, 상기 기판을 부분적으로 제거함으로써 상기 기판의 두께를 감소시키거나 또는 상기 기판을 관통하도록 형성되며,상기 기판에서 상기 하나 이상의 미세 전극이 위치하는 영역과 상기 패턴이 형성된 영역은 서로 중첩되지 않는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 패턴은 상기 기판을 관통하는 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 패턴은 상기 기판의 표면상에 형성된 함몰 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 패턴은, 하나 이상의 직선, 하나 이상의 꺾인 선, 또는 하나 이상의 곡선 중 하나 이상을 포함하는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 기판 내에 위치하며 상기 하나 이상의 미세 전극과 전기적으로 연결되는 배선부를 더 포함하되,상기 패턴은 상기 기판에서 상기 배선부 및 상기 하나 이상의 미세 전극이 위치하지 않는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 기판은, 폴리디메틸실록세인, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 사이클로올레핀공중합체, 폴리이미드, 파릴린, 젤라틴, 콜라겐, 폴리에틸렌글리콜, 폴리비닐피롤리돈, 폴리-카프로락톤, L-폴리-락타이드, 폴리-글리콜산, 폴리-D-락타이드, 폴리-락트산, 폴리-락틱-코-글리콜산, 및 이들의 2 이상의 조합으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서, 상기 미세 전극은, 금, 백금, 니켈, 알루미늄, 구리, 이리듐, 이리듐 옥사이드, 인듐주석산화물, 폴리피롤, 불순물이 도핑된 다결정 실리콘 및 이들의 2 이상의 조합으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이
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유연한 물질로 이루어지는 기판상에 하나 이상의 미세 전극을 형성하는 단계; 및상기 기판의 일 부분상에 패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 패턴은, 상기 기판을 부분적으로 제거하여 상기 기판의 두께를 감소시키거나 또는 상기 기판을 관통하도록 형성되며,상기 패턴이 형성된 상기 기판은 3차원 곡면을 따라 밀착되도록 변형 가능하고,상기 기판에서 상기 하나 이상의 미세 전극이 형성된 영역과 상기 패턴이 형성된 영역은 서로 중첩되지 않는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 패턴을 형성하는 단계는, 상기 기판을 관통하는 홀을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 패턴을 형성하는 단계는, 상기 기판의 표면상에 함몰 영역을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 패턴은, 하나 이상의 직선, 하나 이상의 꺾인 선, 또는 하나 이상의 곡선 중 하나 이상을 포함하는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 기판상에 하나 이상의 미세 전극을 형성하는 단계는,하부 기판상에 배선부를 형성하는 단계; 상기 배선부와 전기적으로 연결된 상기 하나 이상의 미세 전극을 형성하는 단계; 및상기 배선부 및 상기 하나 이상의 미세 전극이 위치하는 상기 하부 기판상에 상부 기판을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 패턴을 형성하는 단계는, 상기 하부 기판 또는 상기 상부 기판에서 상기 배선부 및 상기 하나 이상의 미세 전극이 위치하지 않는 영역에 상기 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 패턴이 형성된 상기 기판을 미리 결정된 형상에 따라 변형시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 패턴을 형성하는 단계는, 상기 미리 결정된 형상에 의해 결정되는 곡률에 기초하여 상기 패턴의 형상을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 어레이의 제조 방법
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