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실리콘-실리콘 결합을 갖는 신규의 실리콘 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015140292
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 실리콘 아미노알콕사이드 화합물에 관한 것이다.[화학식1][상기 화학식 1에서 A1 및 A2 는 서로 독립적으로 하나이상의 C1 -C5의 선형 또는 분지형 알킬기로 치환되거나 치환되지 않는 C2 -C5의 알킬렌이고;R1 내지 R6는 서로 독립적으로 C1 -C5의 선형 또는 분지형 알킬기이며;a,b, m 및 n은 서로 독립적으로 0 내지 2의 정수이며; a+b 및 m+n은 서로 독립적으로 1 또는 2이다.]본 발명에 따른 실리콘 아미노알콕사이드 화합물은 상온에서 액체 상태로 존재하며 낮은 온도에서 휘발되는 특성을 나타냄으로 실리콘을 포함하는 물질의 박막 증착 또는 여러 가지 합금 제조에 실리콘 원료 물질로 유용하게 사용될 수 있다.실리콘, 실리콘 산화물 전구체, 실리콘 산화물, 박막, 유기금속 화학기상 증착법(MOCVD), 원자층 증착법(ALD)
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C07F 7/18 (2006.01) C23C 16/42 (2006.01)
CPC C07F 7/1804(2013.01) C07F 7/1804(2013.01) C07F 7/1804(2013.01) C07F 7/1804(2013.01) C07F 7/1804(2013.01)
출원번호/일자 1020090048255 (2009.06.01)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1116246-0000 (2012.02.07)
공개번호/일자 10-2010-0129608 (2010.12.09) 문서열기
공고번호/일자 (20120309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.01)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
3 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
4 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
5 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
6 정인경 대한민국 대구광역시 달서구
7 윤혜정 대한민국 부산광역시 동래구
8 채원묵 대한민국 전라남도 순천시
9 황광택 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0330813-12
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0137315-64
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0343024-68
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0439156-59
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0531113-33
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0623260-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0623261-62
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0053747-61
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 2로 표시되는 실리콘 알콕사이드 화합물:[화학식 2][R6]3-a[R5R4N-(CH2)yR10R9C-O]aSi-Si[O-CR7R8(CH2)x-NR1R2]n[R3]3-n상기 화학식 2에서, R1 내지 R10는 서로 독립적으로 메틸 또는 에틸이고; a및 n은 서로 독립적으로 1 또는 2의 정수이고; x 및 y는 서로 독립적으로 1 내지 3의 정수이다
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
하기 화학식 3의 실리콘 화합물과 하기 화학식 4 및 화학식 5의 알칼리 금속염을 반응시켜 하기 화학식 1의 실리콘 아미노알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
5 5
제 1항에 따른 실리콘 아미노알콕사이드 화합물을 전구체로 사용하는 것을 특징으로 하는 실리콘 함유 박막의 제조방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 실리콘 함유 박막은 화학기상 증착법(MOCVD) 또는 원자층 증착법(ALD)으로 형성되는 실리콘 함유 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 요업기술원 부품소재기술개발사업 Preceramics 융합공정용 선구 물질 개발