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연마입자; 및카르복실기 또는 수산화기, 및 아민기를 포함하는 분산제;를 포함하고,상기 연마입자는, 액상법에 의해 제조된 것이고,상기 분산제는, X-R1-COOH를 포함하고,X는 N+, NH, NH2 및 NH3로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고, R1는 -CH2, -CH2CH2, -CH2CH2O 또는 이들의 조합을 포함하는 것이고,연마 대상막은 산화막/폴리막인 것인,슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서,상기 카르복실기는, 상기 연마입자의 표면과 반응하여 상기 연마 슬러리의 분산 안정성을 유지시키는 것인, 슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서, 상기 수산화기는, 연마 속도를 증대시키는 것인, 슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서, 상기 아민기는, 폴리막의 연마 정지 효과를 증대시키는 것인, 슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서,상기 분산제는, 세린(serine), 글루타민(glutamine), 베타인(betaine), 프롤린(proline), 파이로글루타민산(pyroglutamic acid) 아르지닌(arginine), 아미노 부티르산(amino butyric acid), 피리딘 카르복시산(pyridine carboxylic acid), 폴리에틸렌 글라이콜 아미노 에테르 아세트산(polyethyleneglycol amino ether acetatic acid), 아스파라진(Asparagine), 아스파틱산(Aspartic acid), 시스테인(Cysteine), 글라이신(Glycine), 히스티딘(Histidine), 아이솔루신(Isoleucine), 라이신(Lysine), 페닐알라닌(Phenylalanine), 티로신(Tyrosine) 및 발린(Valine)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서,상기 분산제는, 상기 슬러리 조성물 중 0
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제 1 항에 있어서,상기 연마입자는, 세리아 입자, 실리카 입자, 알루미나 입자, 지르코니아 입자 및 티타니아 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 금속산화물 입자;스티렌계 중합체 입자, 아크릴계 중합체 입자, 폴리염화비닐 입자, 폴리아미드 입자, 폴리카보네이트 입자 및 폴리이미드 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 유기 입자; 및상기 금속산화물 입자와 상기 유기 입자를 복합하여 형성한 유기-무기 복합 입자;로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는, 슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서,상기 연마입자는, 상기 슬러리 조성물 중 0
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제 1 항에 있어서,상기 슬러리 조성물은, 비이온성 고분자 계면활성제를 더 포함하는 것인, 슬러리 조성물
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제 11 항에 있어서,상기 비이온성 고분자 계면활성제는, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드 및 폴리에틸렌옥사이드-프로필렌옥사이드 공중합체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
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제 11 항에 있어서,상기 비이온성 고분자 계면활성제는, 상기 슬러리 조성물 중 0
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제 1 항에 있어서,상기 슬러리 조성물은 1차 입자 및 2차 입자를 포함하고, 상기 1차 입자의 크기는 5 nm 내지 100 nm 이고, 상기 2차 입자의 크기는 50 nm 내지 300 nm인 것인, 슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서,상기 슬러리 조성물은, pH가 3 내지 8인 것인, 슬러리 조성물
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제 1 항에 있어서,상기 슬러리 조성물 표면의 제타전위가 +25 mV 내지 +80 mV인 것인, 슬러리 조성물
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제 1 항 내지 제 4 항, 제 6 항 내지 제 8 항, 제 10 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항의 슬러리 조성물을 이용하여 기판 또는 웨이퍼를 연마하는 방법
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