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아래 화학식 1 로 표시되는 유무기 혼성 박막 [화학식 1] -[M-X-R1-Y-]m- (상기 화학식 1에서 m 은 1 내지 1000 이고, R1 은 치환 또는 비치환된 C1~20 알킬, C5~20 시클로알킬, 핵원자수 5 ~ 60 의 아릴 또는 헤테로아릴이고, M 은 Zn, Sn, In, Cd, Ga, Al, Ti, Si, V, Mn, Fe, Co, Cu, Zr, Ru, Mo, Nb, 및 W 로 이루어진 그룹에서 선택되고, X 또는 Y 는 각각 O, S, N, NH 및 CO 로 이루어진 그룹에서 선택되고, X 또는 Y 중 어느 하나는 S 임)
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제 1 항에 의한 유무기 혼성 박막; 및 Zn, Sn, In, Cd, Ga, Al, Ti, Si, V, Mn, Fe, Co, Cu, Zr, Ru, Mo, Nb, 및 W 로 이루어진 그룹에서 선택되는 금속의 산화물층; 을 포함하는 유무기 혼성 박막 을 포함하는 기능성 박막
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제 2 항에 있어서,상기 기능성 박막은 초격자 박막을 포함하는 유무기 혼성 박막 을 포함하는 기능성 박막
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제 2 항에 있어서,상기 기능성 박막은 패시베이션 용인 것을 특징으로 하는 유무기 혼성 박막 을 포함하는 기능성 박막
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(1)기판 표면에 아래 화학식 2 로 표시되는 제 1 전구체 화합물을 이용하여 무기 분자층을 형성하는 단계; 및[화학식 2] M(R21)(R22)…(R2n)(상기 화학식 2 에서 상기 M 은 Zn, Sn, Cd, Ti, Si, V, Mn, Fe, Co, Cu, Zr, Ru, Mo, Nb, W, In, Ga, Al 및 Tl으로 이루어진 그룹에서 선택되고, n 은 상기 금속 M 의 산화수 상태에 따라 결정되고, R21 내지 R2n 은 각각 독립적으로 C1~20 알킬, C1~20알콕사이드, 염화기, 하이드록시기, 옥시수산화기, 질산기, 탄산기, 초산기, 또는 옥살산기임)(2)아래 화학식 3 으로 표시되는 제 2 전구체 화합물과 상기 무기 분자층을 반응시켜 상기 무기 분자층 상부에 유기 분자층을 형성하는 단계; [화학식 3] R3-S-R4-R5(상기 화학식 3 에서 R3는 수소, COR6, C1~20 알킬, C5~20 시클로알킬, 핵원자수 5 ~ 60 의 아릴 또는 헤테로아릴이고,R4 는 C1~20 알킬, C5~20 시클로알킬, 핵원자수 5 ~ 60 의 아릴 또는 헤테로아릴이고, R5 는 하이드록시기, C1~20알콕시기, 에테르기, 카르복실기, COR6, 티올기 및 아민기로 이루어진 그룹에서 선택된 1종 이상이며,R6은 수소, 알콕시기, 에테르기, 카르복실기, 티올기 및 아민기로 이루어진 그룹에서 선택된 1종 이상임)를 포함하는 제 1 항에 의한 유무기 혼성 박막의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 제 2 전구체 화합물은 하기 화학식 4 로 표시되는 것을 특징으로 하는 유무기 혼성 박막의 제조 방법[화학식 4](상기 화학식 4 에서 Z 는 티올기이며, Q 는 티올기 또는 하이드록시기에서 선택된 어느 하나이고, Z 와 Q 는 ortho, meta 또는 para 위치임)
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제 5 항에 있어서, 상기 제 2 전구체 화합물은 하기 화학식 5 로 표시되는 것을 특징으로 하는 유무기 혼성 박막의 제조 방법[화학식 5]
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제 7 항에 있어서, 상기 제 2 전구체 화합물은 하기 화학식 6 으로 표시되는 것을 특징으로 하는 유무기 혼성 박막의 제조 방법[화학식 6]
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제 5 항에 있어서, 상기 (1) 단계 및 (2) 단계를 반복 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유무기 혼성 박막의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 기판이 유리, 실리콘 및 플라스틱으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 유무기 혼성 박막의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 (1) 단계 이전에 기판 표면에 산화층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유무기 혼성 박막의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, (3) 원자층 증착에 의하여 Zn, Sn, In, Cd, Ga, Al, Ti, Si, V, Mn, Fe, Co, Cu, Zr, Ru, Mo, Nb, 및 W 로 이루어진 그룹에서 선택되는 금속의 산화물층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 제 2 항에 의한 유무기 혼성 박막을 포함하는 기능성 박막의 제조 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 (1) 단계 및 (2) 단계를 n1 회(n1 은 1 이상) 반복 수행한 후 (3) 단계를 n2 회 (n2 는 1 이상) 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막의 제조 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 (1) 단계 내지 (3) 단계를 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 다층의 기능성 박막의 제조 방법
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