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기판이 마련된 챔버의 유출구를 닫은 상태에서, 소스 가스를 제공함으로써, 상기 챔버 내의 압력을 증가시켜, 상기 소스 가스를 상기 기판에 흡착시키는 소스 가스 가압 도징(dosing) 단계:상기 소스 가스 가압 도징 단계 이후, 퍼지시키는 제1 메인 퍼징(main purging) 단계;상기 제1 메인 퍼징 단계 후에, 반응 가스를 제공하는 반응 가스 도징 단계; 및상기 반응 가스 도징 단계 이후, 퍼지시키는 제2 메인 퍼징 단계;를 포함하는 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 도징 단계는, 상기 소스 가스를 제공하여, 상기 챔버 내의 압력을 소정 압력으로 증가시키는 단계; 및상기 챔버의 유입구를 밀폐시켜, 상기 소정 압력으로 증가된 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 도징 단계는, 적어도 두 번의 서브 가압 도징 단계들 및 상기 적어도 두 번의 서브 가압 단계 사이의 서브 퍼징 단계를 포함하는, 막 제조방법
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제3 항에 있어서,상기 서브 가압 도징 단계와 상기 서브 퍼징 단계 사이에,상기 서브 가압 도징 단계에 의하여 증가된 챔버 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 반응 가스 가압 도징 단계는, 상기 반응 가스를 제공하여, 상기 챔버 내의 압력을 소정 압력으로 증가시키는 단계; 및상기 챔버의 유입구를 밀폐시켜, 상기 소정 압력으로 증가된 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 반응 가스 도징 단계는, 적어도 두 번의 서브 가압 도징 단계들 및 상기 적어도 두 번의 서브 가압 단계 사이의 서브 퍼징 단계를 포함하는, 막 제조방법
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제6 항에 있어서,상기 서브 가압 도징 단계와 상기 서브 퍼징 단계 사이에,상기 서브 가압 도징 단계에 의하여 증가된 챔버 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스는 금속 산화물 막 증착 제조를 위한 금속 전구체를 포함하는, 막 제조방법
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제8 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 도징 단계, 상기 제1 메인 퍼징 단계, 상기 반응 가스 도징 단계 및 상기 제2 메인 퍼징 단계에 의하여 제조된 상기 금속 산화물 막은 표면 거철기 RMS 4
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제8 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 도징 단계, 상기 제1 메인 퍼징 단계, 상기 반응 가스 도징 단계 및 상기 제2 메인 퍼징 단계에 의하여 제조된 상기 금속 산화물 막은 복수의 결정질 영역 및 상기 결정질 영역들을 둘러싸는 비정질 영역을 포함하는, 막 제조방법
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제10 항에 있어서, 상기 결정질 영역은 나노 사이즈인, 막 제조방법
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소스 가스, 불활성 가스, 및 반응 가스를 제공되는 유입구; 상기 유입구와 연통하고 기판이 수용되는 챔버;상기 챔버로 유입된 가스가 배출되는 유출구; 및 상기 소스 가스가 상기 챔버 내로 제공되는 경우, 상기 유출구를 닫아서 상기 챔버 내의 압력을 증가시켜, 상기 소스 가스를 상기 기판에 흡착시키는 제어부를 포함하는 막 제조장치
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제12 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 챔버 내의 압력이 소정 압력에 이른 경우, 상기 챔버의 유입구를 닫아서, 소정 시간 유지하는, 막 제조장치
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제12 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 소스 가스를 상기 챔버 내로 제공하는 경우, 적어도 두 번의 서브 가압 도징 압력과 상기 적어도 두 번의 서브 가압 도징 압력 사이에 서브 퍼징 압력을 제공하는, 막 제조장치
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제12 항에 있어서,상기 소스 가스는 금속 산화물 증착을 위한 금속 전구체를 포함하는, 가압식 막 제조장치
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