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기판; 상기 기판 상에 패터닝되어 형성된 CNT 네트워크 박막; 상기 CNT 네트워크 박막의 양 말단과 접촉하여 형성된 제1 및 제2 전극; 및상기 CNT 네트워크 박막 상에 제1 및 제2 전극과 접촉하도록 위치하고, 상기 CNT 네트워크 박막과 소정 두께의 갭(gap)이 존재하도록 형성된 버퍼막을 구비하는 CNT 네트워크 박막을 포함하는 압력 센서 소자
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제1항에 있어서,상기 기판은 소다 라임 재질의 유리 기판 또는 플라스틱 기판인 것인 압력 센서 소자
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제1항에 있어서,상기 CNT 네트워크 박막은 싱글-월(single-wall), 더블-월(double-wall) 또는 멀티-월(multi-wall) 구조를 가지는 것인 압력 센서 소자
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제1항에 있어서,상기 CNT 네트워크 박막은 두께가 10 nm 내지 40 nm인 것인 압력 센서 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 전극 또는 제2 전극은 Pt, Pd, Au, Ag, Ti, Co, Ni, Cu, W, Mo, V, 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 재질을 포함하는 것인 압력 센서 소자
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제1항에 있어서,상기 제1 전극 또는 제2 전극은 두께가 0
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제1항에 있어서,상기 버퍼막은 실리콘계 수지, 아크릴계 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리스티렌계 수지, 폴리카보네이트계 수지, 폴리에스테르계 수지, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 1종을 포함하는 것인 압력 센서 소자
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제1항에 있어서,상기 버퍼막은 두께가 0
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a) 기판 상에 패터닝된 CNT 네트워크 박막을 형성하는 단계;b) 상기 CNT 네트워크 박막의 양 말단과 접촉하여 형성된 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계; 및c) 상기 CNT 네트워크 박막 상에 제1 및 제2 전극과 접촉하도록 위치하고, 상기 CNT 네트워크 박막과 소정 두께의 갭(gap)이 존재하도록 버퍼막을 형성하는 단계를 포함하는 CNT 네트워크 박막이 구비된 압력 센서 소자의 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 CNT 네트워크 박막은 습식 방법 또는 건식 방법을 사용하여 형성하는 것인 압력 센서 소자의 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 CNT 네트워크 박막은 전사 기판의 일측 면에 점착층을 형성하고, 다공성 나노 템플레이트 필터를 이용하여 CNT 분말, 계면활성제 및 용매가 혼합된 CNT 분산용액을 여과하고 이를 건조하여 상기 다공성 나노 템플레이트 필터 상에 형성된 CNT 네트워크 박막을 형성하고,상기 전사 기판의 점착층 상에 소정의 패턴이 형성된 마스크를 배치하고,상기 마스크를 사이에 점착층과 CNT 네트워크 박막이 대향하도록 상기 다공성 나노 템플레이트 필터와 전사 기판을 대면시켜 상기 CNT 네트워크 박막을 점착층 상부로 전사시키는 단계를 포함하는압력 센서 소자의 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 제1 전극 또는 제2 전극은 증착 후 식각 공정을 수행하여 형성하는 것인 압력 센서 소자의 제작 방법
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제12항에 있어서,상기 증착은 스퍼터링, 이온빔 증착법, 화학적 증착법, 및 플라즈마 증착법으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 방법인 것인 압력 센서 소자의 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 버퍼막은 라미네이션 방식으로 형성하는 것인 압력 센서 소자의 제작 방법
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 압력 센서 소자가 구비된 압력 센서
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제15항에 있어서,상기 압력 센서는 외부로부터의 인가되는 압력 또는 힘에 따른 전기 전도도의 변화를 측정하는 것인 압력 센서
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