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물질의 특성 분석, 나노급 크기의 장치 제조 및 구조물 분석 등에 사용하는 원자간력 현미경에 있어서,상기 원자간력 현미경에서 캔틸레버의 위치를 확인하여 레이저 빔의 정렬을 용이하게 하고, 시료의 표면 상태를 확인할 수 있도록 영상 정보 획득부에서 필요한 광원을 조사시키는 조명부;상기 조명부를 구동시켜 광원을 조사시키기 위해 신호를 출력시키기 위한 구동부;상기 구동부에 신호를 출력하여 원활한 구동을 실시할 수 있도록 신호를 처리하기 위한 신호처리부;상기 조명부의 밝기를 제어하고 신호처리부의 신호를 제어하도록 하는 제어부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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제6항에 있어서,상기 조명부에 의해 캔틸레버에 조사하기 위한 광원 또는 샘플의 표면에 조사하기 위한 광원에 대한 효율을 높이기 위해 국부적으로 조명이 가능하도록 하는 반사경을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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제6항에 있어서,상기 제어부는 조명부에서 조사되는 광원의 밝기를 제어할 수 있도록 전압의 크기와 일정 전압에서 주파수의 변화를 주어 조명부의 조도를 조절하는 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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제6항에 있어서,상기 조명부는 반사경과 캔틸레버의 사이에 위치되어 광원을 조사시키도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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제6항에 있어서,상기 조명부는 대물렌즈의 하단부에 위치되어 광원을 조사시키도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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제6항에 있어서,상기 조명부는 AFM 헤드본체의 하단부에 위치되어 광원을 조사시키도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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제6항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 조명부는 소형 고휘도 발광 소자인 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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물질의 특성 분석, 나노급 크기의 장치 제조 및 구조물 분석 등에 사용하는 원자간력 현미경에 있어서,상기 원자간력 현미경에서 캔틸레버의 위치를 확인하여 레이저 빔의 정렬을 용이하게 하고 시료의 표면 상태를 확인할 수 있도록 영상 정보 획득부에서 필요한 광원을 조사시키는 조명부와, 상기 조명부를 구동시켜 광원을 조사시키기 위해 신호를 출력시키기 위한 구동부와, 상기 구동부에 신호를 출력하여 원활한 구동을 실시할 수 있도록 신호를 처리하기 위한 신호처리부와, 상기 조명부의 밝기를 제어하고 신호처리부의 신호를 제어하도록 하는 제어부와, 상기 조명부에 의해 캔틸레버에 조사하기 위한 광원 또는 샘플의 표면에 조사하기 위한 광원에 대한 효율을 높이기 위해 국부적으로 조명이 가능하도록 하는 반사경을 포함하여 이루어지되, 상기 제어부는 조명부에서 조사되는 광원의 밝기를 제어할 수 있도록 전압의 크기와 일정 전압에서 주파수의 변화를 주어 조명부의 조도를 조절하게 하고, 상기 조명부는 소형 고휘도 발광 소자인 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경용 조명장치
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원자간력 현미경을 통해 캔틸레버의 위치를 확인하여 레이저 빔의 정렬을 용이하게 하고 시료의 표면 상태를 확인할 수 있도록 영상 정보 획득부에서 필요한 광원을 조사시키기 위해서,상기의 광원을 조사시키는 조명부를 제어부에 의해 신호를 제어하도록 실행하는 단계;상기의 제어부를 통해 제어되는 신호에 의해 조명부의 밝기를 제어할 수 있도록 신호처리부에 의해 신호를 처리시키는 단계;상기 신호처리부를 통해 처리되는 신호에 의해 조명부가 해당 밝기로 광원을 조사시킬 수 있도록 구동부에 의해 조명부를 구동시키는 단계;를 실행하는 원자간력 현미경용 조명장치의 제어방법
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제14항에 있어서,상기 조명부에서 조사되는 광원의 밝기를 제어할 수 있도록 전압의 크기와 일정 전압에서 주파수의 변화를 주어 조명부의 조도를 제어부에 의해 조절시키도록 실행하는 원자간력 현미경용 조명장치의 제어방법
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제14항 또는 제15항에 있어서,상기 조명부는 소형 고휘도 발광 소자로 구성시켜 실행하는 원자간력 현미경용 조명장치의 제어방법
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