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헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015143447
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 제1, 2 헤테로다인 레이저 간섭계, 각각의 헤테로다인 레이저 간섭계가 측정한 신호를 이용하여 물체의 이동 거리를 측정하는 제1, 2 거리 측정부 및 제1, 2 거리 측정부가 측정한 물체의 이동 거리를 이용하여 오차를 보정하는 데이터 융합부를 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치 및 그 방법을 제공함으로써 환경적 요인에 따른 오차와 비선형성 오차를 제거할 수 있다. 이를 통해 수 나노미터 단위의 헤테로다인 레이저 간섭계의 정밀도 구현이 가능케 된다. 헤테로다인, 레이저, 간섭계, 오차 보정, 데이터 융합
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01B 9/00 (2011.01) G01B 7/02 (2011.01) G01B 9/02 (2011.01)
CPC G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01) G01B 9/02007(2013.01)
출원번호/일자 1020090000822 (2009.01.06)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0081535 (2010.07.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.06)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유관호 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 이우람 대한민국 경기도 안양시 동안구
3 허건행 대한민국 경기도 안성시
4 이상철 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김인철 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 에이치앤에이치 H&H 국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0006075-67
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2010.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0360275-19
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.06.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0036677-57
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0091699-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0265583-50
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.04.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0265582-15
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0629768-84
9 [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2011.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0857501-02
10 [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2011.11.11 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2011-0890726-86
11 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2011.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0105440-15
12 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2011.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0117891-18
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0019334-21
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치에 있어서, 제1, 2 헤테로다인 레이저 간섭계; 제1 헤테로다인 레이저 간섭계가 측정한 신호를 이용하여 물체의 이동 거리를 측정하는 제1 거리 측정부; 제2 헤테로다인 레이저 간섭계가 측정한 신호를 이용하여 상기 물체의 이동 거리를 측정하는 제2 거리 측정부; 및 상기 제1 거리 측정부가 측정한 물체의 이동 거리와 상기 제2 거리 측정부가 다수 회 측정한 물체의 이동 거리의 데이터 집합을 이용하여 오차를 보정하는 데이터 융합부를 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계의 물체 이동 기준 방향과 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계가 측정하는 물체의 기준 이동 방향이 소정의 각도를 이루는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계의 물체 이동 기준 방향과 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계의 물체 기준 이동 방향이 180°의 각을 형성하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 데이터 융합부는, 상기 제1 거리 측정부가 측정한 물체의 이동 거리와 상기 제2 거리 측정부가 측정한 물체의 이동 거리 데이터 집합을 이용하여 상기 데이터 집합의 자취를 생성하고, 상기 데이터 집합의 자취를 이상 직선에 투영함으로써 오차를 보정하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 이상 직선은 y = - x인 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 데이터 융합부는, 상기 다수의 물체의 이동 거리 데이터 집합을 이용하여 생성한 데이터 집합 의 자취는 타원인 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 데이터 융합부는, 아래 수학식을 이용하여 상기 타원을 생성하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 데이터 융합부는, 다수의 데이터 집합 중 데이터 집합의 표준 편차가 가장 작은 데이터 집합을 이용하여 타원을 생성하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
9 9
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 데이터 융합부는, 아래 수학식을 이용하여 상기 생성된 타원을 상기 이상 직선에 투영하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
10 10
헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법에 있어서, 제1 헤테로다인 레이저 간섭계가 측정한 신호를 이용하여 물체의 이동 거리를 측정하는 제1 거리 측정 단계; 제2 헤테로다인 레이저 간섭계가 측정한 신호를 이용하여 상기 물체의 이동 거리를 측정하는 제2 거리 측정 단계; 및 상기 제1 거리 측정부가 측정한 물체의 이동 거리와 상기 제2 거리 측정부가 다수 회 측정한 물체의 이동 거리의 데이터 집합을 이용하여 오차를 보정하는 단계를 포함하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
11 11
제10항에 있어서, 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계의 물체 이동 기준 방향과 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계가 측정하는 물체의 기준 이동 방향이 소정의 각도를 이루는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계의 물체 이동 기준 방향과 상기 제1 헤테로다인 레이저 간섭계의 물체 기준 이동 방향이 180°의 각을 형성하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 다수 회 측정한 물체의 이동 거리의 데이터 집합을 이용하여 오차를 보정하는 단계는, 상기 제1 거리 측정부가 측정한 물체의 이동 거리와 상기 제2 거리 측정부가 측정한 물체의 이동 거리 데이터 집합을 이용하여 상기 데이터 집합의 자취를 생성하고, 상기 데이터 집합의 자취를 이상 직선에 투영함으로써 오차를 보정하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
14 14
제13항에 있어서, 상기 이상 직선은 y = - x인 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
15 15
제14항에 있어서, 상기 다수 회 측정한 물체의 이동 거리의 데이터 집합을 이용하여 오차를 보정하는 단계는, 상기 다수의 물체의 이동 거리 데이터 집합을 이용하여 생성한 데이터 집합의 자취는 타원인 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 다수 회 측정한 물체의 이동 거리의 데이터 집합을 이용하여 오차를 보정하는 단계는, 아래 수학식을 이용하여 상기 타원을 생성하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
17 17
제16항에 있어서, 상기 다수 회 측정한 물체의 이동 거리의 데이터 집합을 이용하여 오차를 보정하는 단계는, 다수의 데이터 집합 중 데이터 집합의 표준 편차가 가장 작은 데이터 집합을 이용하여 타원을 생성하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
18 18
제16항 또는 제17항에 있어서, 상기 다수 회 측정한 물체의 이동 거리의 데이터 집합을 이용하여 오차를 보정하는 단계는, 아래 수학식을 이용하여 상기 생성된 타원을 상기 이상 직선에 투영하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육인적자원부 성균관대학교 산학협력단 신진교수연구과제 하이브리드 데이터 기반의 적응형 최적화 기법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계 측정 정밀도 향상