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1
방사용액을 수용하는 시린지, 상기 시린지에 연결되고 상기 방사용액을 방사하는 노즐 및 상기 노즐에 제1 전압을 인가하는 제1 전압발생장치를 구비하는 용액방사부;상기 노즐과 소정 간격 이격되게 배치된 스테이지 및 상기 스테이지에 상기 제1 전압과 다른 제2 전압을 인가하는 제2 전압발생장치를 구비하는 스테이지부; 및상기 노즐을 사이에 두고 서로 이격되게 배치되고 서로 전기적으로 분리된 제1 가이드 전극과 제2 가이드 전극, 상기 제1 전압과 다른 제3 전압을 생성하는 제3 전압발생장치 및 상기 제3 전압을 상기 제1 가이드 전극과 상기 제2 가이드 전극에 교대로 인가하는 스위칭 장치를 구비하는 가이드 전극부를 포함하는 패턴 형성 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 가이드 전극 각각은 단면이 사각형 또는 원형인 막대 형상을 갖거나 상기 노즐을 사이에 두고 서로 마주보는 판 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치
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제1항에 있어서, 상기 스위칭 장치는 1 내지 100 ms의 시간 간격으로 상기 제3 전압을 상기 제1 가이드 전극과 상기 제2 가이드 전극에 교대로 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치
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4
제3항에 있어서, 상기 제3 전압은 접지 전압이거나 상기 제1 전압보다 작은 크기를 갖는 전압인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치
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5
방사용액을 수용하는 시린지, 상기 시린지에 연결되고 상기 방사용액을 방사하는 노즐 및 상기 노즐에 제1 전압을 인가하는 제1 전압발생장치를 구비하는 용액방사부;상기 노즐과 소정 간격 이격되게 배치된 스테이지 및 상기 스테이지에 상기 제1 전압과 다른 제2 전압을 인가하는 제2 전압발생장치를 구비하는 스테이지부; 상기 노즐을 사이에 두고 서로 이격되게 배치되고 서로 전기적으로 분리된 제1 가이드 전극과 제2 가이드 전극, 상기 제1 전압과 다른 제3 전압을 생성하는 제3 전압발생장치 및 상기 제3 전압을 상기 제1 가이드 전극과 상기 제2 가이드 전극에 교대로 인가하는 스위칭 장치를 구비하는 가이드 전극부; 및상기 제1 및 제2 가이드 전극들과 상기 스테이지 사이에 위치하고 선형 개구부를 구비한 전도성 마스크 및 상기 마스크에 상기 제1 전압과 다른 제4 전압을 인가하는 제4 전압발생장치를 구비하는 마스크부를 포함하는 패턴 형성 장치
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제5항에 있어서, 상기 제4 전압은 상기 제1 전압과 동일한 극성을 갖는 전압인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치
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7
제5항에 있어서, 상기 개구부는 상기 제1 및 제2 가이드 전극과 교차하는 방향 또는 평행한 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치
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