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무기막을 이용한 수분 투과 방지막의 제조 방법, 무기막을 이용한 수분 투과 방지막 및 전기, 전자 봉지 소자

  • 기술번호 : KST2015143720
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 복수의 무기막을 단위 구조로 적층된 수분 투과 방지막에 관한 것으로서, 상기 수분 투과 방지막은 수분 투과률이 낮아지면서, 안정적으로 구부러질 수 있어서, 전기, 전자 소자의 기능 저하를 방지하고 안정성을 높일 수 있는 밀봉 재료로서 적합하게 이용될 수 있다.
Int. CL H01L 51/52 (2006.01) H05B 33/04 (2006.01) H05B 33/10 (2006.01)
CPC H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01)
출원번호/일자 1020120040319 (2012.04.18)
출원인 가부시키가이샤 가네카, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0117510 (2013.10.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.14)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 가부시키가이샤 가네카 일본 일본국 오사카후 오사카시 기타쿠 나카노시마 *쵸메 *반
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조 성민 대한민국 경기 군포시 산본로***번길 **, **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 박보현 대한민국 서울특별시 중구 정동길 **-**, **층 (정동, 정동빌딩)(김.장 법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0307751-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0366727-47
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0058191-65
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0231248-92
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0505031-96
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0504986-94
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0662552-01
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-1190625-29
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1190614-27
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0212664-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수분 투과 방지막의 제조 방법에서, 상기 수분 투과 방지막은, 제1 사이클 및 제2 사이클을 순차적으로 복수회 반복하여 제조되며, 상기 제1 사이클은, 증착 챔버에 수증기, 오존, 산소 라디칼중 적어도 하나를 제1 압력으로 주입하는 단계 및 금속 원소를 포함하는 제1 화학 반응물 가스를, 제1 주입 압력으로 상기 증착 챔버에 주입하는 단계를 포함하고, 상기 제2 사이클은 상기 증착 챔버에 수증기, 오존, 산소 라디칼중 적어도 하나를 제2 압력으로 주입하는 단계 및 금속 원소를 포함하는 제2 화학 반응물 가스를, 제2 주입 압력으로 상기 증착 챔버에 주입하는 단계를 포함하며, 상기 제1 사이클 및 상기 제2 사이클로 형성되는 막은 아몰퍼스 상태인, 수분 투과 방지막의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 사이클 및 상기 제2 사이클은, 원자층 증착법(atomic layer deposition) 방식으로 수행되는 수분 투과 방지막의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 사이클 및 상기 제2 사이클은 각각 배기하는 단계를 더 포함하는 수분 투과 방지막의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 화학 반응물 가스는, TMA(Tri-methyl Aluminum)을 포함하는 수분 투과 방지막의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제2 화학 반응물 가스는, TEMAZ(tetra ethyl methyl amino zirconium)을 포함하는 수분 투과 방지막의 제조 방법
6 6
제4항에 있어서, 상기 제1 주입 압력은 240mtorr 이상 360mtorr 이하인 수분 투과 방지막의 제조 방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 제2 주입 압력은 260mtorr 이상 380mtorr 인, 수분 투과 방지막의 제조 방법
8 8
제4항에 있어서, 상기 제1 사이클 동안 성막된 막의 두께는 0
9 9
제5항에 있어서, 상기 제2 사이클 동안 성막된 막의 두께는 0
10 10
제1항에 있어서, 상기 제1 압력 및 상기 제2 압력은 130mtorr 이상 210mtorr이하인, 수분 투과 방지막의 제조 방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 제1 사이클 및 상기 제2 사이클 수행으로 형성되는 막은 알루미늄(Al), 지르코늄(Zr), 티나늄(Ti), 탄탈(Ta) 및 아연(Zn)으로 이루어진 군에서 선택되는 2개 이상의 원소를 포함하는 균질의 산화물을 포함하는 수분 투과 방지막의 제조 방법
12 12
제1항 내지 제11항의 제조 방법을 이용해 제조된 수분 투과 방지막
13 13
수분 투과 방지막에서, 아몰퍼스 상태인 제1 무기막 및 아몰퍼스 상태인 제2 무기막을 교호로 적층한 구조를 포함하는 수분 투과 방지막
14 14
제13항에 있어서, 상기 제2 무기막은 지르코늄(Zr) 산화막을 포함하는 수분 투과 방지막
15 15
제14항에 있어서, 상기 지르코늄(Zr) 산화막의 두께는 0
16 16
제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 무기막은, 알루미늄(Al) 산화막을 포함하는 수분 투과 방지막
17 17
제16항에 있어서, 상기 알루미늄 산화막의 두께는 0
18 18
수분 투과 방지막에서, 아몰퍼스 상태인 제1 무기막 및 아몰퍼스 상태인 제2 무기막을 교호로 적층한 구조를 포함하고상기 제1 무기막은 제12항의 수분 투과 방지막을 포함하는 수분 투과 방지막
19 19
제18항에 있어서, 상기 제2 무기막은 지르코늄(Zr) 산화막을 포함하는 수분 투과 방지막
20 20
제19항에 있어서, 상기 지르코늄(Zr) 산화막의 두께는 0
21 21
제18항에 있어서, 상기 제1 무기막은, 알루미늄(Al) 산화막을 포함하는 수분 투과 방지막
22 22
제12항의 수분 투과 방지막을 포함하는 전기, 전자 봉지 소자
23 23
제13항의 수분 투과 방지막을 포함하는 전기, 전자 봉지 소자
24 24
제18항의 수분 투과 방지막을 포함하는 전기, 전자 봉지 소자
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2013157770 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2013157770 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.