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복수 개의 유도 결합형 안테나; 및복수 개의 용량 결합형 안테나;가 서로 교번하여 설치된 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 소스
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제1항에 있어서,상기 유도 결합형 안테나는 선형이며, 상기 용량 결합형 안테나는 판형인 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 소스
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제2항에 있어서,상기 유도 결합형 안테나와 상기 용량 결합형 안테나는 동일 평면상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 소스
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제3항에 있어서,상기 복수 개의 유도 결합형 안테나와 상기 복수 개의 용량 결합형 안테나는 서로 동일 간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 소스
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제4항에 있어서,상기 유도 결합형 안테나와 상기 용량 결합형 안테나에는 서로 다른 전력이 인가될 수 있는 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 소스
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제5항에 있어서,상기 복수 개의 유도 결합형 안테나 및 상기 복수 개의 용량 결합형 안테나 각각에 서로 다른 전력이 인가될 수 있는 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 소스
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7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 하이브리드 플라즈마 소스를 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 발생장치
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8
제7항에 있어서,상기 반응 챔버 외부에 구비되어 상기 안테나에 인가되는 전력을 제어하는 제어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 플라즈마 발생장치
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