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나노 와이어에 있어서,
상기 나노 와이어는 코어 영역 및 쉘 영역을 포함하며, 상기 쉘 영역에는 요철 구조가 형성된 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어
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제 1항에 있어서,
상기 요철 구조는 쉘 영역의 표면 및 그 내부에 다수 형성된 공동 또는 상기 쉘 영역의 표면에 돌출된 돌출 영역인 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어
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제 1항에 있어서,
상기 코어 영역 또는 상기 쉘 영역은 IV족 반도체, Ⅲ-Ⅴ족 반도체, Ⅱ-Ⅵ족 반도체, 산화물 반도체, 질화물 반도체 또는 IV족과 Ⅴ족 원소 중 적어도 하나와 Ⅵ족 원소를 포함하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어
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제 1항에 있어서,
상기 코어 영역은 p형 또는 n형 도펀트를 포함하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어
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5
코어 영역 및 쉘 영역을 포함하는 나노 와이어의 제조 방법에 있어서,
상기 쉘 영역 표면에 나노 입자를 부착시키는 단계;
상기 쉘 표면을 산화시켜 상기 쉘 표면에 산화물을 형성하는 단계; 및
상기 산화물 및 상기 나노 입자를 제거하여 요철 구조를 형성하는 단계;를 포함하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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제 5항에 있어서,
상기 나노 입자는 상기 쉘 영역 물질보다 전기 음성도가 큰 금속 물질인 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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제 5항에 있어서,
상기 쉘 영역은 실리콘으로 형성된 것이며, 상기 나노 입자는 Ag, Au, Pt 또는 Cu로 형성된 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,
상기 쉘 영역은 실리콘으로 형성된 것이며, 상기 나노 와이어는 H2O2, K2Cr2O7 또는 KMnO4 에 의해 산화시키는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 쉘 영역 표면에 나노 입자를 부착시키는 단계는,
상기 나노 입자의 전구체와 불산계가 혼합된 수용액에 상기 나노 와이어를 담그어 상기 쉘 영역 표면에 상기 나노 입자를 형성하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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10
제 5항에 있어서, 상기 쉘 영역 표면에 나노 입자를 부착시키는 단계는,
상기 쉘 영역 표면의 산화막을 제거하는 단계;
상기 쉘 영역 표면에 상기 쉘 영역 물질과 화합물을 형성하는 나노 입자를 부착시키는 단계;를 포함하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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제 10항에 있어서,
상기 쉘 영역은 H2O 가스를 이용하는 습식 산화 또는 O2를 이용한 건식 산화 공정에 의해 섭씨 600도 내지 1100도에서 산화시키는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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제 11항에 있어서,
상기 쉘 영역의 습식 산화 또는 건식 산화 공정에 의해 산화된 부분을 에칭에 의해 제거하며, 상기 나노 입자도 제거하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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제 10항에 있어서,
상기 쉘 영역은 실리콘으로 형성되며, 상기 나노 입자는 상기 쉘 영역 물질과 금속 실리사이드를 형성하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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14
제 5항에 있어서,
상기 코어 영역 또는 상기 쉘 영역은 IV족 반도체, Ⅲ-Ⅴ족 반도체, Ⅱ-Ⅵ족 반도체, 산화물 반도체, 질화물 반도체 또는 IV족과 Ⅴ족 원소 중 적어도 하나와 Ⅵ족 원소를 포함하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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15
제 5항에 있어서,
상기 코어 영역은 p형 또는 n형 도펀트를 포함하는 요철 구조를 지닌 코어-쉘 나노 와이어의 제조 방법
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16
코어 영역 및 쉘 영역을 포함하며, 상기 쉘 영역에는 요철 구조가 형성된 요철 구조를 지닌 나노 와이어를 포함하는 열전소자 또는 냉각소자
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17
제 16항에 있어서,
상기 요철 구조는 쉘 영역의 표면 및 그 내부에 다수 형성된 공동 또는 상기 쉘 영역의 표면에 돌출된 돌출 영역인 요철 구조를 지닌 나노 와이어를 포함하는 열전소자
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18
제 16항에 있어서,
상기 코어 영역 또는 상기 쉘 영역은 IV족 반도체, Ⅲ-Ⅴ족 반도체, Ⅱ-Ⅵ족 반도체, 산화물 반도체, 질화물 반도체 또는 IV족과 Ⅴ족 원소 중 적어도 하나와 Ⅵ족 원소를 포함하는 요철 구조를 지닌 나노 와이어를 포함하는 열전소자
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제 16항에 있어서,
상기 코어 영역은 p형 또는 n형 도펀트를 포함하는 요철 구조를 지닌 나노 와이어를 포함하는 열전소자
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